Установка для выращивания монокристаллов антимонида индия (InSb) и галлия (GaSb) методом Чохральского CZ

Для выращиваниямонокристаллов антимонида индия (InSb) и галлия (GaSb) широко применяется метод Чохральского. Выращивание происходит в среде водорода. Для этого в установках предусмотрены генератор водорода и фильтр для водорода на основе палладиевой мембраны с максимальным протоком до 100 л/час.

В камере сделаны отдельные вводы для инертного газа (снизу) и водорода (сверху).На каждую линию устанавливаются регуляторы расхода газа с расходом: 1-100 л/час.

Для освещения камеры изнутри, установлены светодиодные лампочки (сверху и снизу).Предусмотрен ввод для термопары и окно для инфракрасного пирометра по центру нагревателя.

Газовая система предусматривает автоматический сброс (стравливание) газа из камеры в вентиляционную систему, при росте давления выше рабочего (1,0 кгс/см2). Также в камере предусмотрена разрывная мембрана, на случай резкого повышения давления в камере.

Диаметр растущего монокристалла определяется по телекамере. Для контроля массы растущего кристалла установлен датчик веса.

В установке предусмотрена герметичная система отвода газов из камеры перед каждым ее открытием.

Оборудование изготавливается под заказ, по согласованному ТЗ. Любые параметры могут быть изменены по Вашим требованиям.

Преимущества установки для выращивания монокристаллов антимонида индия (InSb) и галлия (GaSb) методом Чохральского CZ производства ООО "НПО "ГКМП"

• Автоматический сброс (стравливание) газа из камеры в вентиляционную систему, при росте давления выше рабочего.
• Разрывная мембрана, на случай резкого повышения давления в камере.
• Генератор водорода и фильтр для водорода на основе палладиевой мембраны.
• Герметичная система отвода газов из камеры перед каждым ее открытием.