Установка для выращивания монокристаллов антимонида индия (InSb) и галлия (GaSb) методом Чохральского CZ

Установка предназначена для плавления, синтезирования и выращивания методом Чохральского монокристаллов антимонида индия (InSb) и галлия (GaSb) с последующим отжигом выращенного кристалла.

Подробнее
*Под заказ
Подробно расскажем о наших товарах, видах и стоимости доставки, подготовим индивидуальное предложение и разработаем ТЗ
Описание
Характеристики

Для выращиваниямонокристаллов антимонида индия (InSb) и галлия (GaSb) широко применяется метод Чохральского. Выращивание происходит в среде водорода. Для этого в установках предусмотрены генератор водорода и фильтр для водорода на основе палладиевой мембраны с максимальным протоком до 100 л/час.


В камере сделаны отдельные вводы для инертного газа (снизу) и водорода (сверху).На каждую линию устанавливаются регуляторы расхода газа с расходом: 1-100 л/час.


Для освещения камеры изнутри, установлены светодиодные лампочки (сверху и снизу).Предусмотрен ввод для термопары и окно для инфракрасного пирометра по центру нагревателя.


Газовая система предусматривает автоматический сброс (стравливание) газа из камеры в вентиляционную систему, при росте давления выше рабочего (1,0 кгс/см2). Также в камере предусмотрена разрывная мембрана, на случай резкого повышения давления в камере.


Диаметр растущего монокристалла определяется по телекамере. Для контроля массы растущего кристалла установлен датчик веса.


В установке предусмотрена герметичная система отвода газов из камеры перед каждым ее открытием.


Оборудование изготавливается под заказ, по согласованному ТЗ. Любые параметры могут быть изменены по Вашим требованиям.


Преимущества установки для выращивания монокристаллов антимонида индия (InSb) и галлия (GaSb) методом Чохральского CZ производства ООО "НПО "ГКМП"

  • Автоматический сброс (стравливание) газа из камеры в вентиляционную систему, при росте давления выше рабочего.
  • Разрывная мембрана, на случай резкого повышения давления в камере.
  • Генератор водорода и фильтр для водорода на основе палладиевой мембраны.
  • Герметичная система отвода газов из камеры перед каждым ее открытием.
Свойство Значение

Диаметр кристалла, мм, не более

150

Длина кристалла, мм, не более

250

Диаметр тигля, мм, не более

230

Загрузка тигля, кг, не более

15

Скорость перемещения затравки, мм/час, ростовая

1.0-50.0

Скорость перемещения затравки, мм/мин, установочная

100

Частота вращения затравки, об/мин

1-50

Погрешность поддержания скорости перемещения и частоты вращения затравки, %

± 0.1

Рабочий ход штока, мм

650

Ход тигля, мм

200

Скорость перемещения тигля, мм/мин, установочная

70

Частота вращения тигля, об/мин

1-20

Предельное остаточное давление, мм.рт.ст. (вакуум)

5,0 •10-3

Расход охлаждающей воды, м3/ч, не более

5

Давление охлаждающей воды на входе, МПа, не менее

0.2

Расход аргона, л/мин, не более

100

Расход водорода, л/мин, не более

100

Автоматизированная система управления

Есть

Способ нагрева

Резистивный

Материал нагревателя

Графит

Максимальная температура на нагревателе, ˚С

1200

Питание:

напряжение, В

частота, Гц

трехфазное,

380/220

50

Максимальная мощность нагревателя, кВА, не более

40

Диаметр * Высота ростовой камеры, мм

410*850

Получить каталог

Оставьте ваш номер и наш инженер свяжестся с вами
Картинка
Отправляя форму обратной связи, Вы даете согласие на обработку своих персональных данных

Почему мы?

Единичное производство «под заказ». Разрабатываем и производим оборудование по техническому заданию заказчика и соответствующее техническим нормам и требованиям.
Широкий ассортимент продукции. Благодаря многолетнему опыту и налаженному сотрудничеству с предприятиями, мы регулярно расширяем спектр решенных задач.
Полный спектр услуг. Мы не только производим оборудование, но и предоставляем дополнительные услуги: от пуско-наладочных работ до последующего сервисного обслуживания.
Высокое качество. Работаем только с качественным сырьем, соблюдаем установленные технологии.
Квалифицированный персонал. Опытные специалисты выполнят заказ любой сложности.
Доступный ценовой сегмент. Стоимость рассчитывается в зависимости от требований, указанных в техническом задании.
Заказ продукции/услуги/консультации
Заказать обратный звонок
Подробно расскажем о наших товарах, видах и стоимости доставки, подготовим индивидуальное предложение для оптовых клиентов!