Турбомолекулярные насосы с ротором на подшипниках

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки (N₂), л/с

Быстрота откачки (He), л/с

Быстрота откачки (H₂), л/с

Степерь сжатия (N₂)

Степерь сжатия (He)

Степерь сжатия (H₂)

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

EXT75Dx

NW40

42

49

48

>1*10¹¹

1*10⁶

5*10⁴

5×10^-6 (3.7×10^-8)

ISO63-K

61

57

53

5×10^-6 (3.7×10^-8)

ISO100-K

66

59

54

5×10^-6 (3.7×10^-8)

DN63CF

61

57

53

5×10^-7 (3.7×10^-9)

EXT556H

ISO160-K

540

580

500

>1*10¹⁰

1*10⁸

1*10⁶

2×10^-7 (1.5×10^-9)

DN160CF

1×10^-8 (7.5×10^-11)

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки (N₂), л/с

Быстрота откачки (He), л/с

Быстрота откачки (H₂), л/с

Степерь сжатия (N₂)

Степерь сжатия (He)

Степерь сжатия (H₂)

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

nEXT240

ISO100-K

240

230

165

>1*10¹¹

3*10⁵

1*10⁴

6×10^-6 (4.5×10^-8)

DN100CF

5×10^-8 (3.7×10^-10)

nEXT300

ISO100-K

300

340

280

>1*10¹¹

1*10⁶

5*10⁴

6×10^-6 (4.5×10^-8)

DN100CF

5×10^-8 (3.7×10^-10)

nEXT400

ISO160-K

400

390

325

>1*10¹¹

1*10⁸

5*10⁵

1×10^-6 (7.5×10^-9)

DN160CF

1×10^-8 (7.5×10^-11)

Гибридные ТМН

PT-150

PT-300

PT-500

Размеры фланца

Вход

JIS VG 100

JIS VG 100

JIS VG 150

Выход

NW 25

NW 25

NW 40

Скорость откачки, л/с

Азот

190

300

550

Гелий

160

260

500

Max. коэффициент сжатия

Азот

10⁸

10⁸

10⁸

Гелий

10⁴

10⁴

10⁵

Предельное давление, Па (Торр)

10^-8 (7,5*10^-11)

10^-8 (7,5*10^-11)

10^-8 (7,5*10^-11)

Max давление, вход/выход, Па (Торр)

0,13/13 (9,8*10^-4 / 9,8*10^-2)

0,13/13 (9,8*10^-4 / 9,8*10^-2)

0,13/13 (9,8*10^-4 / 9,8*10^-2)

Скорость вращения, об/мин

72,000

54,000

40,200

Время разгона/торможения, мин

3/4

4/7

8/8

Смазка, объем

фтор, 10 мл

фтор, 10 мл

фтор, 10 мл

Охлаждение

воздушное/
водяное

воздушное/
водяное

воздушное/
водяное

Масса, кг

6

10

16

Модель

HiPace 10

HiPace 60P

HiPace 80

HiPace 300

HiPace 400

HiPace 700

HiPace 800

Фланец
- всасывания, ISO-K, ISO-F, CF
- выхлопа, ISO-KF
- напуска атмосферы

DN25
DN16

DN63
DN16
G1/8"

DN63
DN16
G1/8"

DN100
DN16
G1/8"

DN100
DN25
G1/8"

DN160
DN25
G1/8"

DN200
DN25
G1/8"

Скорость откачки, л/с
- по Азоту (N₂)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н₂)
- по Аргону (Ar)

10
6
3,7
11,5

64
48
28
63

67
58
48
66

260
255
220
255

355
470
445
320

685
655
555
665

790
700
580
780

Степень сжатия
- по Азоту (N₂)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н₂)
- по Аргону (Ar)

3*10⁶
3*10³
3*10²
2,5*10⁷

10⁶
3,5*10²
2*10²
2*10⁶

>1*10¹¹
1,3*10⁷
1,4*10⁵
>1*10¹¹

>1*10¹¹
1*10⁸
9*10⁵
>1*10¹¹

>1*10¹¹
3*10⁷
4*10⁵
>1*10¹¹

>1*10¹¹
3*10⁷
4*10⁵
>1*10¹¹

>1*10¹¹
3*10⁷
4*10⁵
>1*10¹¹

Предельное разряжение, Па (Торр)

< 10^-3 (7,5*10^-6)

< 10^-6 (7,5*10^-9)

< 10^-6 (7,5*10^-9)

< 10^-6 (7,5*10^-9)

< 10^-6 (7,5*10^-9)

< 10^-6 (7,5*10^-9)

< 10^-6 (7,5*10^-9)

Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр)

2500 (18,8)

400 (3)

2200 (16,5)

2000 (15)

1100 (8,3)

1100 (8,3)

1100 (8,3)

Скорость вращения ротора, об/мин

90 000

90 000

90 000

60 000

49 200

49 200

49 200

Тип охлаждения
- стандартный
- опционально

естественное
воздушное

естественное
воздушное

воздушное
водяное

водяное
воздушное

водяное
воздушное

водяное
воздушное

водяное
воздушное

Питание/потребляемая мощность

24В/28,8 Вт

24В/110Вт

24В/110Вт

24В/300Вт

48В/420Вт

48В/420Вт

48В/420Вт

Масса, кг

1,8

2,2

2,4

5,8 - 8,7

11,6 - 17,5

11,5 - 17,4

12,8 - 19,1

Модель

HiPace 1200

HiPace 1500

HiPace 1800

HiPace 2300

Фланец
- всасывания, ISO-K, ISO-F, CF
- выхлопа, ISO-KF
- напуска атмосферы

DN200
DN40
G1/8"

DN250
DN40
G1/8"

DN200
DN40
G1/8"

DN250
DN40
G1/8"

Скорость откачки, л/с
- по Азоту (N₂)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н₂)
- по Аргону (Ar)
- по Тетрахлорометану (CF₄)

1 250
1 300
1 100
1 200
950

1 450
1 350
1 150
1 400
1 100

1 450
1 650
1 700
1 370
1 050

1 900
2 050
1 850
1 850
1 850

Степень сжатия
- по Азоту (N₂)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н₂)
- по Аргону (Ar)
- по Тетрахлорометану (CF₄)

>1*10⁸
2*10⁵
6*10³
>1*10⁸
>1*10⁸

>1*10⁸
2*10⁵
6*10³
>1*10⁸
>1*10⁸

>1*10⁸
3*10⁵
2*10⁴
>1*10⁸
>1*10⁸

>1*10⁸
3*10⁵
2*10⁴
>1*10⁸
>1*10⁸

Предельное разряжение, Па (Торр)

< 10^-6 (7,5*10^-9)

< 10^-6 (7,5*10^-9)

< 10^-6 (7,5*10^-9)

< 10^-6 (7,5*10^-9)

Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр)

200 (1,5)

200 (1,5)

180 (1,4)

180 (1,4)

Скорость вращения ротора, об/мин

37 800

37 800

31 500

31 500

Тип охлаждения

водяное

водяное

водяное

водяное

Питание/потребляемая мощность

220В/1,3кВт

220В/1,3кВт

220В/1,3кВт

220В/1,3кВт

Масса, кг

27 - 40

29 - 41

33 - 34

34 - 47

Характеристика

MDP 5011

MDP 5011СР
(хим. стойкий)

Скорость откачки, л/с

N₂

7,5

He

4

H₂

3

Степень сжатия

N₂

1∙10⁹

1∙10⁶

Hе

2∙10⁴

250

H₂

1∙10³

50

Минимальное остаточное давление, 
при работе без азотной продувки 
(Pneurop), Па (Торр)

При любом типе охлаждения насоса

1∙10^-4

Максимальное давление на входе N₂, Па (Торр)

Естественное охлаждение

10

Принудительное воздушное охлаждение

1000

Водяное охлаждение

1000

Максимальное давление на выхлопе, Па (Торр)

При любом типе охлаждения насоса

4000 (30)

500 (3,8)

Время запуска, мин

<1

Скорость ротора, об/мин.

27 000

Выхлопной фланец

DN16

Совместимый контроллер

ACT100

Масса насоса, кг

Естественное охлаждение

2,3

Принудительное воздушное охлаждение

3

Водяное охлаждение

2,5

Масса контроллера, кг

2

Эл. питание, В / Гц

220/50

Потребляемая мощность, Вт

75

Характеристики

FF-100/110E

FF-160/700E

FF-160/700FE

FF-200/1300E

FF-200/1300FE

FF-250/2000E

Быстрота действия, л/с

150

700

700

1300

1300

2000

Степень сжатия

N₂

10⁸

10⁹

10⁹

10⁹

10⁹

10⁹

H₂

5х10²

6х10⁶

6х10⁶

6х10³

6х10³

6х10³

Предельный вакуум, не хуже, Па (Торр)

ISO

4.5х10^-7 (3,4*10^-9)

6х10^-7 (4,5*10^-9)

6х10^-7 (4,5*10^-9)

6х10^-6 (4,5*10^-8)

6х10^-6 (4,5*10^-8)

6х10^-6 (4,5*10^-8)

CF

4.5х10^-8 (3,4*10^-10)

6х10^-8 (4,5*10^-10)

6х10^-8 (4,5*10^-10)

6х10^-7 (4,5*10^-9)

6х10^-7 (4,5*10^-9)

-

Вх. фланец, Ду, мм.

ISO100

ISO160

ISO160

ISO200

ISO200

ISO250

Вых. фланец, Ду, мм.

KF25

KF40

KF40

KF40

KF40

KF50

Положение монтажа

любое

Охлаждение

вода-воздух

вода

вода-воздух

вода

вода-воздух

вода