Турбомолекулярные насосы с интегрированным контроллером и на магнитном подвесе STP-iXA4506C
Модель насоса
Входной фланец
Быстрота откачки N2, л/с
Быстрота откачки H2, л/с
Быстрота откачки Ar, л/с
Степерь сжатия N2
Степерь сжатия H2
Max. газовый поток N2, sccm
Max. газовый поток Ar, sccm
Предельное остаточное давление, Па (Торр)
STP-iX455
ISO100-K
300
-
>1*108
>1*104
6.5×10-6 (5×10-8)
DN100CF
1×10-8 (7.5×10-11)
ISO160-K
450
460
DN160CF
STP-iXR1606
ISO160-F
900
600
1*103
4700
1800
1×10-7 (7.5×10-10)
VG150
ISO200-F/
ISO250-F
1600
1200
VG200
STP-iXA2206C
2200
1900
1*104
3000
1400
DN250CF
STP-iXA3306C
2650
2300
2*103
4000
2100
ISO320-F
3200
2800
DN320CF
STP-iXA4506C
2700
4300
2600
Турбомоле-кулярные насосы на магнитном подвесе с вынесенным контроллером STP-iXA3306C
Быстрота откачки (N2), л/с
Быстрота откачки (H2), л/с
STP301 / STP301C
>2*104
2500
STPH451 / STPH451C
480
103
STP603 / STP603C
650
550
>1*105
130
STP1003 / STP1003C
ISO200-F
1000
800
DN200CF
STPA803C
520
1500
STPA1303C
1300
STPA1603C
>7*103
STPA2203C
1700
>2,5*104
1×10-6 (7.5×10-9)
STP-XA2703C
2050
>6*103
STP-XA3203C
STP-XA4503C
2150
Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии HiPace M (HiPace 800 M)
Модель
HiPace 300 M
HiPace 700 M
HiPace 800 M
Фланец - всасывания, ISO-K, ISO-F, CF - выхлопа, ISO-KF - напуска атмосферы
DN100 DN16 G1/8"
DN160 DN25 G1/8"
DN200 DN25 G1/8"
Скорость откачки, л/с - по Азоту (N2) - по Гелию (Не) - по Водороду (Н2) - по Аргону (Ar)
255 215 170 250
685 600 480 660
790 625 500 775
Степень сжатия - по Азоту (N2) - по Гелию (Не) - по Водороду (Н2) - по Аргону (Ar)
>1*1011 >1*108 5*105 >1*1011
>1*1011 >1*107 2*105 >1*1011
Предельное разряжение, Па (Торр)
< 1*10-5 (7.5*10-8)
Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр)
2000 (15)
800 (6)
Скорость вращения ротора, об/мин
60 000
49 200
Тип охладения
водяное
Питание/потребляемая мощность
48В/300Вт
Масса, кг
13.1 - 17.2
15.7 - 20.8
17.1 - 21.5
Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии ATH-M (ATH2300M)
Хар-ка
ATH 500M
ATH 1300M
ATH 1300MT*
ATH 1603M
ATH 1600MT*
ATH 2303M
ATH 2300MT*
ATH 2800M
ATH 2800MТ*
ATH 3200M
ATH 3200MТ*
50 000
39 000
31 000
25 000
DN 100
DN 160
DN 200
DN 250
DN 320
Скорость откачки, л/с
N2
340
500
920
1250
1220
1230
1270
1850
Ar
270
1100
1150
1130
1180
1750
2000
2400
He
810
850
960
H2
170
190
490
580
Степень сжатия
2*107
107
6*107
>108
8*106
104
8*103
>3*104
2*102
102
3*102
>103
>2*103
Предельное давление, Па (Торр)
<10-6 (7,5 *10-10)
<6*10-7 (4,5 *10-9)
Макс. давление на всасыван., Па (Торр)
130 (1)
50 (0,4)
40 (0,3)
2 (1,5 *10-2)
30 (0,2)
14 (0,1)
26 (0,2)
1 (7,5 *10-3)
Макс. давление на выхлопе, Па (Торр)
270 (2)
150 (1,1)
100 (0,8)
200 (1,5)
Макс. откачи-ваемый поток, ст.см3/ мин.
5000
Охлажден.
Водяное
Рабочее положение
Любое
Выхлопной / Фланец продувки
DN40 / продувка - DN16
Время запуска, мин
<2,5
<5
6
8
10
Масса турбины, кг
17
34
60
85
Контрол- лер
Integrated
ACT1300M
Mag- power/ OBC
ACT1300M/ OBC
Mag- power
Масса контрол- лера, кг
8,7
Питание контрол.
От 100 до 240В - 50/60Гц – однофазное
*MT - прогреваемая версия. Для особо химически активных сред применяются насосы ATH-MT, которые имеют встроенную нагревательную рубашку, предотварщающую осаждение на внутренней поверхности насосов.
Гибридный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе серии ATP-M для откачки легких газов
Двухступенчатый форвакуумный насос серии PentaLine (скорость откачки от 22 до 34 м3/ч)
Характеристика
ATP 2300M
Присоединительный фланец
DN200, ISO F, CF
DN250, ISO F, CF
1650
108
105
7*103
Частота вращения, об/мин
Минимальное остаточное давление, Па (Торр)
10-7 (7,5*10-10)
Макс. давление на входе, Па (Торр)
5 (0,04)
150 (1,13)
Габаритные размеры, мм
Высота
290
Диаметр
315
52
Стандартная линейка ТМН с магнитным подвесом
TMP-203
TMP-303
TMP-403
TMP-803
TMP-1003
TMP-2003
TMP-3203
Охлаждение
водяное / возд.
Предельный вакуум, Па (Торр)
1,3*10-8 (10-10)
1,3*10-9 (10-11)
Максимальное давление на входе (вода/воздух), Па (Торр)
200/1,3 (1,5/0,01)
400/1,3 (3/0,01)
67/0,4 (0,5/ 0,003)
40/0,4 (0,3/ 0,003)
Максимальное давление на выходе (вода/воздух), Па (Торр)
400/40 (3/0,3)
667/40 (5/0,3)
267/40 (2/0,3)
Быстрота действия, л/с :
по азоту
320
420
1080
по гелию
140
360
930
по водороду
120
700
790
Степень сжатия:
1*109
>1*109
6*104
8*104
7*105
3*105
4*103
1,4*104
Время выхода на режим, мин
Не более 5
Не более 9
Не более 13
Рабочая ориентация
Любая
Температура прогрева на входном фланце, оС
<120
Входной фланец стандартов ISO, ConFlat
Ду100
Ду160
Ду200
Ду250
Ду320
Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса, л/мин (м3/ч)
>200 (>12)
>500 (>30)
>1500 (>90)
9
14
31
32
55
70
Насосы с высокой степенью сжатия для откачки легких газов
TMP-1103MP
TMP-1103LMP
TMP-1103LMPC
TMP-W2403LMC
FT-3500D
H3153LMC
воздушное
1,3*10-7 (10-9)
1.3*10-5 (10-7)
Максималь- ное давлен. на входе, Па (Торр)
1,3 (0,01)
6,7 (0,05)
66,7 (0,5)
По Ar: 2,1 (1,6*10-2)
1,33 (10-2)
Максим. давление на выходе, Па (Торр)
267 (2)
По Ar: 1330 (10)
3270
2950
по аргону
1040
1770
2240
>109
1*1011
5*109
>107
По He: 4*106
106
1*105
1*106
105 (по H2 и He)
менее 5
менее 12
менее 18
любая
Темпера- тура прогрева на входном фланце, оС
40
Ду 200
Ду 250
JIS VG250
JIS VG350
ДУ 320
72
88
80
Насосы с интегрированным контроллером (LM – водяное охлаждение, LMC – водяное охлаждение, коррозионная стойкость)
TMP-V1704LM
TMP-V2304LM
TMP-V3304LM (F)
TMP-V3304LMC (F)
10-7 (10-9)
10-6 (10-8)
Максимальное давление на входе, Па (Торр)
4,5 (0,03)
7 (0,05)
Максимальное давление на выходе, Па (Торр)
270 (2,0)
Быстрота действия, л/с
1350
3100
109
Номинальная скорость, об/мин
33700
27600
менее 9
менее 16
Максимальный поток аргона, sccm
Максимальная температура на входном фланце, oС
< 120
ISO200B
ISO250B
ISO320B
Выходной фланец
KF40
56
94
Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса в случае продувки, л/мин (м3/ч)
>1500 (90)
Ваше письмо отправлено!
