Установки для выращивания кристалла кремния методом Чохральского
Назад
Онлайн заявка
Ростовое оборудование
Оформить заказ
Назначение: Предназначена для производства в автоматическом режиме (кроме затравления) монокристаллов кремния диаметром до 250 мм общей длиной до 1600 мм методом Чохральского из тигля ø 508 мм. | Наименование параметра |
Значение |
| Диаметр кристалла, мм, не более | 250 |
| Длина кристалла, мм, не более | 1600 |
| Скорость перемещения затравки, мм/мин | 0,1 - 8,0 |
| Частота вращения затравки, об/мин | 1,0- 30,0 |
| Погрешность поддержания скорости перемещения и частоты вращения затравки, % | > ±1 |
| Рабочий ход тигля, мм | 400 |
| Скорость перемещения тигля, мм/мин | 0,01- 2,0 |
| Частота вращения тигля, об/мин | 1,0- 20,0 |
| Диаметр тигля, мм | 508 |
| Предельное остаточное давление, мм рт.ст. | 5х10-3 |
| Максимальная скорость откачки, л/с | 150 |
| Расход охлаждающей воды, м3/ч | 10 |
| Давление охлаждающей воды на входе, МПа, не менее |
0,3 |
| Расход аргона, л/ч, не более | 3600 |
| Рекомендуемое давление на входе в газовую систему, М | 0,25 |
| Рекомендуемое давление сжатого воздуха, МПа | 0,6 |
| Расход сжатого воздуха на процесс, м3, не более | 0,1 |
|
Питание: напряжение,В частота, Гц |
3х380+N 50 |
| Максимальная мощность на нагревателе, кВА | 150 |
| Напряжение питания нагревателя , В | 0 - 60 |
| Габаритные размеры, мм |
4000х2700х6200 |
| Масса, кг | 6000 |
Сертификат Соответствия на Гильзы защитные
Санитарно-эпидемиологическое заключение на использование источников ионизирующего излучения
Санитарно-эпидемиологическое заключение на использование источников ионизирующего излучения стр. 2
