Установки вакуумного напыления
Установки вакуумного напыления используются в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также в оптическом и электронном приборостроении. Они применяются для нанесения тонких пленок различных материалов на подложки. Это позволяет создавать слои с различными свойствами, такими как проводимость, оптическая прозрачность или отражающая способность.
Преимущества установок вакуумного напыления производства ООО "НПО "ГКМП"
Индивидуальное производство: производим установки вакуумного напыления по ТЗ заказчика, с учетом индивидуальных требований заказчика. Подбор основных комплектующих согласованно с заказчиком
Преимущество установки вакуумного напыления заключается в разнообразии подколпачной и внутрикамерной механики, что позволяет создавать слои с различными свойствами, такими как проводимость, оптическая прозрачность или отражающая способность.
Это позволяет обеспечивать чистоту и качество наносимых плёнок, а также работать с различными материалами и типами подложек.
Возможность создания гибридных установок
Уникальная культура производства, расположенного на территории Российской Федерации.
ООО "НПО "ГКМП" гарантирует соответствие продукции стандартам безопасности, ремонт или замену установок в случае дефектов.
Установки вакуумного напыления используются в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также в оптическом и электронном приборостроении. Они применяются для нанесения тонких пленок различных материалов на подложки. Это позволяет создавать слои с различными свойствами, такими как проводимость, оптическая прозрачность или отражающая способность.
Процесс вакуумного напыления происходит в условиях глубокого вакуума, что обеспечивает чистоту и качество наносимых пленок. Установки состоят из следующих основных компонентов:
- Источник материалов - это могут быть катушки с проволокой, лотки с порошком или другие источники материалов для напыления.
- Система подачи материалов - включает в себя механизмы для перемещения материалов от источника к подложке.
- Камера для напыления - представляет собой вакуумный сосуд, оборудованный напылительными головками и подложкодержателями.
- Напылительные головки - это устройства, которые создают поток напыляемого материала и направляют его на подложку.
- Система управления - контролирует все параметры процесса напыления, такие как температура подложки, давление в камере, скорость напыления и другие.
- Вакуумная система - обеспечивает создание и поддержание глубокого вакуума в камере для напыления. Она включает в себя насосы, клапаны, датчики давления и другие элементы.
Установки вакуумного напыления могут быть различных размеров и конфигураций, в зависимости от требуемой производительности и типа наносимых материалов. Некоторые из них способны работать с несколькими подложками одновременно, что позволяет увеличить производительность и снизить стоимость процесса.
ООО «НПО «ГКМП» производит установки вакуумного напыления преимущественно резистивного и магнетронного типов. По предварительному согласованию с заказчиком возможно изготовление УВН с электронно-лучевым испарением. Благодаря собственному производству нагревательных элементов, магнетронов, вакуумных камер, герметичных вводов, транспортных боксов, механизмов передачи усилия и прочих высокотехнологичных элементов, заказчик имеет возможность получить установку вакуумного напыления необходимой ему конфигурации.
Процессы нанесения тонких плёнок в вакууме лежат в основе большинства технологий современной микроэлектроники, авиастроения, приборостроения, металлообработки, медицины, атомной энергетики. Подавляющее большинство передовых конструкционных материалов, используемых в самых ответственных изделиях, созданы при помощи установок вакуумного напыления.
Почему мы? Промышленное термическое оборудование
Получите каталог промышленного термического оборудования
