Главная Продукция Промышленное термическое оборудование Термодиффузионные и термокомпрессионные печи Термодиффузионные установки

Термодиффузионные установки

Термическая диффузия - физико-химический процесс, изменяющий структуру поверхности обрабатываемого изделия в условиях термостабилизации и контролируемой атмосферы.

Подробнее

*Под заказ

Подробно расскажем о наших товарах, видах и стоимости доставки, подготовим индивидуальное предложение и разработаем ТЗ

Оформить заказ Получить консультацию

Описание

Характеристики

В настоящее время ООО «НПО «ГКМП» является единственным отечественным производителем термодиффузионных установок типа СД.ОМ, предназначенных для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 100 мм. Возможно изготовление установок для обработки пластин диаметром до 150 мм, а так же в процессе разработки установки для термодиффузии пластин диаметром 200 мм и 300 мм.

В зависимости от требований заказчика, в термодиффузионных установках возможна реализация процессов окисления (в том числе и пирогенного) и диффузии с применением различных окислителей и диффузантов (азота, хлора, мышьяка, фосфора, бора и пр.)

Нагревательные элементы, применяемые в установках типа СД.ОМ имеют уникальную конструкцию и наматываются из проволоки специальных марок высокотемпературных сплавов (еврофехраль, фехраль). Намотка производится в горячем состоянии по специально разработанному технологическому циклу, что значительно уменьшает остаточную деформацию полученного нагревателя и продлевает срок его службы.

Особенности установок типа СД.ОМ:

Количество нагревательных камер: 2 или 3
Максимальная температура процесса: 1250°С
Длина рабочей тепловой зоны: 600 мм
Погрешность распределения температурного поля: ±1°С
Погрешность воспроизведения температуры: ±1°С
Материал нагревательных элементов: Kanthal или еврофехраль
Загрузка и выгрузка: ручная или с помощью встроенных загрузчиков
Современная автоматизированная система управления процессом
Независимая работа каждого реактора
Энергоэффективная система силового питания нагревателей
Точная система регулирования расхода окислителей и диффузантов

Свойство	Значение
Количество камер в установке	1, 2, 3 или 4
Форма рабочей камеры	цилиндрическая
Габариты рабочей зоны камеры: диаметр, мм высота, мм	100, 150 (200 и 300 в разработке) 600* (по требованию заказчика)
Диапазон рабочих температур в камере нагрева, оС	100-1250
Способ нагрева	резистивный
Допустимая масса садки с деталями, кг	1-15
Диапазон скоростей нагрева/охлаждения, ^оС/мин	1-20
Проводимые процессы	диффузия, окисление (в т.ч. пирогенное)
Количество входов для рабочих газов	2-8
Доступные операции с рабочими газами	смешение, увлажнение
Минимальное процентное содержание каждого газа при смешении, %	5
Диапазон автоматической регулировки расхода каждого газа, л/мин	20-600
Возможность установки дополнительных барбатёров с жидким диффузантом	имеется
Возможность установки системы загрузки-выгрузки с возможностью встряхивания	имеется
Равномерность температуры в рабочем пространстве без загрузки электропечи при автоматическом контроле поддержания температуры в установившемся режиме, ^оС, не хуже	±1±0,0005t
Стабильность поддержания рабочей температуры в рабочей зоне при управлении нагревом в автоматическом режиме, оС, не хуже	±1±0,0005t
Потребляемая нагревателями мощность, кВА	20-50
Предельные габаритные размеры, мм, не более: длина ширина (глубина) высота	2200 1800 2400
Масса (без тары), кг, не более	2850

Другая продукция

Термокомпрессионные установки

Получите каталог промышленного термического оборудования

Оставьте ваш номер и наш инженер свяжестся с вами

Почему мы?

Единичное производство «под заказ». Разрабатываем и производим оборудование по техническому заданию заказчика и соответствующее техническим нормам и требованиям.

Широкий ассортимент продукции. Благодаря многолетнему опыту и налаженному сотрудничеству с предприятиями, мы регулярно расширяем спектр решенных задач.

Полный спектр услуг. Мы не только производим оборудование, но и предоставляем дополнительные услуги: от пуско-наладочных работ до последующего сервисного обслуживания.

Высокое качество. Работаем только с качественным сырьем, соблюдаем установленные технологии.

Квалифицированный персонал. Опытные специалисты выполнят заказ любой сложности.

Доступный ценовой сегмент. Стоимость рассчитывается в зависимости от требований, указанных в техническом задании.