Камера вакуумная с системой перемещения образцов

Установка состоит из вакуумной камеры прямоугольного сечения, которая имеет два шлюза (двери) для доступа во внутренний объём с целью загрузки/выгрузки образцов и выполнения сервисных работ. В нижней части вакуумной камеры расположен фланец с установленным на него дельта-манипулятором. Вакуумная камера с манипулятором размещаются на каркасе из алюминиевого профиля. Конструкция каркаса позволяет регулировать положение камеры вакуумной по трём координатам для удобства стыковки со смежными системами.

Вакуум в камере обеспечивается с помощью двухступенчатой системы откачки, состоящей из спирального форвакуумного насоса, турбомолекулярного насоса, клапанной развязки и системы гибких трубопроводов. Контроль давления в камере и в трубопроводах осуществляется с помощью датчиков Пирани.

Конструкция установки позволяет загружать один или несколько исследуемых объектов во внутренний объем вакуумной камеры и перемещать исследуемые образцы по трём координатам с помощью дельта-манипулятора. Манипулятор имеет несколько крепежных отверстий для установки диагностического оборудования для регистрации параметров эксперимента.

Управление перемещением объектов производится в автоматическом режиме. Система управления реализована на базе контроллера Siemens S7-1200 и смонтирована внутри промышленного шкафа навесного исполнения. По согласованию элементы системы управления могут быть установлены внутри шкафа для монтажа в 19-дюймовую стойку.

Наша вакуумная система – уникальная разработка, готовая к использованию. Она состоит из вакуумной камеры (емкости, в которую помещают материал для дегазации), вакуумного насоса и соединительного шланга. Вакуумные системы нашего производства оснащены общими техническими вакуумметрами для контроля глубины вакуума.

Наши специалисты будут рады ответить на Ваши вопросы. Заказать нужную вам установку можно уже сегодня, связавшись с нами удобным вам способом.