Сухие форвакуумные насосы

Вакуумные насосы

Сухие форвакуумные насосы

Сухие форвакуумные спиральные насосы Anest Iwata (Япония)
ISP

Серия ISP

Модель насоса

ISP-50

ISP-90

ISP-250С

ISP-500С

ISP-1000

Быстрота действия при 50 Гц/60 Гц, л/мин (м3/час)

50/60 (3/3,6)

90/108 (5,4/6,5)

250/300 (15/18)

500/600 (30/36)

1 000/1 200 (60/72)

Предельный вакуум, Па (Торр)

20 (0,15)

5 (3,8*10-2)

1,6 (1,2*10-2)

1 (7,5*10-3)

1 (7,5*10-3)

Потребляемая мощность, Вт

100

150

400

600

1 400

Напряжение питания, В

100, 1ф

220, 1ф

220, 1ф / 380, 3ф

220, 1ф / 380, 3ф

380, 3ф

Входной фланец

KF16

KF25

KF25

KF40

KF40

Выходной фланец

KF16

KF16

KF16

KF25

KF40

Охлаждение

воздушное

воздушное

воздушное

воздушное

воздушное

Габаритные размеры, мм

317 x 155 x 227

308 x 182 x 225

252 x 400 x 336

372 x 328 x 372

467 x 390 x 421

Масса, кг

12

13

25

38

60

DVSL

Серия DVSL-предназначены для откачки сред с большим содержанием паров воды.

Модель насоса

DVSL-100C

DVSL-500C

DVSL-501C

Быстрота действия при 50 Гц, л/мин (м3/час)

100 (6)

430 (25,8)

Предельный вакуум, Па (Торр)

50 (0,38)

30 (0,23)

100 (0,75)

Потребляемая мощность , кВт

0,3

1,1

Напряжение питания, В

220, 1ф

380, 3ф

Входной фланец

KF25

KF25

Выходной фланец

KF16

KF25

Охлаждение

воздушное

Габаритные размеры, мм

358х210х215

491х317х280

Масса, кг

15

36

test

Насосы серии NeoDry производительностью от 250 до 1000 л/мин используются для откачки некоррозионных и химически неактивных газов.

Насосы серии MU производительностью от 1660 до 20000 л/мин используются для откачки некоррозионных и химически неактивных газов.

Насосы серии SDL — это агрегаты на основе бустерного насоса Рутса высокой производительности.

Коррозионно-стойкие насосы серии SDE

Насос NeoDry 15CНасосы серии NeoDry производительностью от 250 до 1000 л/мин используются для откачки некоррозионных и химически неактивных газов.

Параметры

SDL25K

SDL40K

Быстрота действия, л/мин (м3/час)

25 000 (1 500)

40 000 (2 400)

Предельное давление, Па (Торр)

0,8 (6*10-3)

0,5 (3,75*10-3)

Входной фланец

NW100

NW160

Выходной фланец

NW50

Номинальная мощность двигателя, кВт

11,2

15,0

Напряжение, В

380-480 3 фазы, 50-60Гц

Габаритные размеры ДхШхВ, мм

1 000х520х1130

1 200х700х1354

Масса, кг

610

740

Насосы Kashiyama серии MUНасосы серии MU производительностью от 1660 до 20000 л/мин используются для откачки некоррозионных и химически неактивных газов.

Параметры

SDE90X*

SDE603X*

SDE1203X*

SDE2003

Быстрота действия, л/мин (м3/час)

1 300 (78)

10 000 (600)

20 000 (1 200)

30 000 (1 800)

Предельное давление, Па (Торр)

1,3 (0,01)

0,5 (3,75*10-3)

0,5 (3,75*10-3)

0,5 (3,75*10-3)

Входной фланец

NW40

NW80

NW100

NW160

Выходной фланец

NW40

NW40

NW40

NW40

Мощность блока питания, кВА

6,5

10,5

13,0

16,6

Потребляемая мощность, кВт

1,3

1,5

2,0

4,0

Минимальный расход охлаждающей воды (5 – 25 С)

3,0

3,0

3,0

6,0

Расход азота, ст. л/мин

0-60

Разъем для охлаждающей воды

3/8″ быстроразъемная муфта

Соединение для азота

1/4″ резьбовое

Габаритные размеры ДхШхВ, мм

690*370*551

760*400*906

900*400*906

1 000*500*1 090

Масса, кг

150

260

310

495

Винтовые насосы без бустераВинтовые насосы без бустера

ПАРАМЕТРЫ

МОДЕЛЬ НАСОСА

GXS160

GXS250

GXS450

GXS750

Производительность, л/мин (м3/ч)

2 667 (160)

4 167 (250)

7 500 (450)

12 333 (740)

Предельное давление (c продувкой), мбар

1,2x10-2

9x10-3

1x10-2

8x10-3

Предельное давление (без продувки), мбар

7x10-3

4x10-3

5x10-3

3x10-3

Рабочая температура, °С

5-40

Максимальное давление на выхлопе, мбар

1400

Мощность электродвигателя, кВт

7,5

11

22

Потребляемая мощность, кВт

Предельная

Пиковая

 

3,8

5,0

 

4

9

 

7,2

17,3

 

10

37

Входной фланец, легкий/норм.режим*

Входной фланец, тяжелый режим*

ISO63

ISO100

ISO100

Выходной фланец

NW40

NW50

Степень IP

31

Винтовые насосы с бустером

ПАРАМЕТРЫ

МОДЕЛЬ НАСОСА С БУСТЕРОМ

GXS160

/1750

GXS250

/2600

GXS450

/2600

GXS450 /4200

GXS750 /2600

GXS750 /4200

Производительность, л/мин (м3/ч)

20 000 (1200 )

31 667 (1900)

36 667 (2200)

50 433 (3026)

38 333 (2300)

57 500 (3450)

Предельное давление (c продувкой), мбар

7x10-4

5x10-4

5,4x10-4

 

 

Предельное давление (без продувки), мбар

7x10-4

5x10-4

5x10-4

5x10-4

5x10-4

Рабочая температура, °С

5-40

Максимальное давление на выхлопе, мбар

1400

Мощность электродвигателя, кВт

7,5

11

22

Мощность электродвигателя бустера, кВт

5,5

7,5

Потребляемая мощность, кВт

Предельная

Пиковая

 

5,1

7,4

 

5,3

9,7

 

8,8

20

 

9,4

21,1

 

11,1

40

 

11,5

40

Входной фланец

ISO100

ISO160

Выходной фланец

NW40

NW50

Степень IP

31

Маслянные форвакуумные насосы

Вакуумные насосы

Маслянные форвакуумные насосы

Масляные роторно-пластинчатые форвакуумные насосы Pfeiffer (Германия)

Двухступенчатый форвакуумный насос серии DuoLineДвухступенчатый форвакуумный насос серии DuoLine (скорость откачки от 1,25 до 250 м3/ч)

* Тип охлаждения-воздушное

Модель

DUO 1.6
DUO 1.6 M

DUO 3
DUO 3 M

DUO 5 M
DUO 5 МС

DUO 6
DUO 6 M

DUO 10 M
DUO 10 МС

DUO 11
DUO 11 М

DUO 20 M
DUO 20 МС

DUO 35
DUO 35 М
DUO 35 MС

DUO 65
DUO 65 М
DUO 65 MС

DUO 125
DUO 125 М

DUO 255
DUO 255 М

Фланец
- всасывания, ISO-K(KF)
- выхлопа, ISO-K(KF)


DN16
DN16


DN16
DN16


DN16
DN16


DN16
DN16


DN25
DN25


DN16
DN16


DN25
DN25


DN40
DN40


DN40
DN40


DN63
DN63


DN100
DN100

Скорость откачки, м3/ч

1,25

2,5

5

5

10

9

20

32

62

120

250

Предельное давление, без газового балласта, мбар

3*10-3

3*10-3

4*10-3

3*10-3

3*10-3

3*10-3

2*10-3

2*10-3

2*10-3

2*10-3

3*10-3

Предельное давление, с газовым балластом, мбар

3*10-3

3*10-3

7*10-3

3*10-3

6*10-3

3*10-3

4*10-3

3*10-3

3*10-3

4*10-3

4*10-3

Объем масла, л

0.4

0.4

0.75

0.5

1.0

0.6

1.1

3.2

4.2

14

25

Уровень шума, дБА

48

53

55 / 57

53

55 / 57

55

55 / 57

61

61

75

75

Произво-дительность по парам воды, г/ч

15

30

90

90

210

210

400

500

1000

1800

4350

Скорость вращения ротора, об/мин, при 50 Гц

1500

1500

1500

3000

1500

3000

1500

1500

1500

1500

1500

Питание

1ф 220-240 В

1ф 220-240 В

3ф 380-420 В/
1ф 220-240 В

1ф 230-240 В

3ф 380-420 В/
1ф 220-240 В

1ф 208-240 В

3ф 380-420 В/
1ф 220-240 В

3ф 380- 420 В

3ф 380- 420 В

3ф 380- 420 В

3ф 380- 420 В

Потреб-ляемая мощность, кВт

0.075

0.15

0.25 / 0.37

0.2

0.37 / 0.45

0.25

0.55 / 0.75

1.1

1.5

4.0

7.5

Масса, кг

9.6

11.3

19 / 25

16 / 17.5

24 / 30

17 / 19

33 / 44

68

75

225

360

Одноступенчатые и двухступенчатые форвакуумные насосы серии PascalОдноступенчатые и двухступенчатые форвакуумные насосы серии Pascal (скорость откачки от 1,25 до 60 м3/ч)

Модель

1005SD

1015SD

Фланец
- всасывания, ISO-KF
- выхлопа, ISO-KF


DN25
DN25


DN25
DN25

Скорость откачки, л/мин (м3/ч)

83.3 (5)

233 (14)

Предельное давление, без газобалласта, Па (Торр)

5 (0.04)

5 (0.04)

Предельное давление, с газобалластом, Па (Торр)

400 (3)

700 (5.3)

Объем масла, л

0.8

1.0

Уровень шума, дБА

57

57

Производительность по парам воды, г/ч

120

330

Тип охлаждения

воздушное

воздушное

Питание

3ф 380-420 В/
1ф 220-240 В

3ф 380-420 В/
1ф 220-240 В

Потребляемая мощность, кВт

0.55 / 0.45

0.55 / 0.45

Масса, кг

21

24.5

Двухступенчатый форвакуумный насос серии PentaLineДвухступенчатый форвакуумный насос серии PentaLine (скорость откачки от 22 до 34 м3/ч)

Модель

Penta 25

Penta 35

Фланец
всасывания, ISO-KF
выхлопа, ISO-KF


DN25
DN25


DN25
DN25

Скорость откачки, л/мин (м3/ч)

367 (22)

567 (34)

Предельное давление, без газобалласта, Па (Торр)

0.3 (2.25*10-3)

0.3 (2.25*10-3)

Предельное давление, с газобалластом, Па (Торр)

0.5 (3.75*10-3)

0.5 (3.75*10-3)

Объем масла, л

1.8

1.5

Уровень шума, дБА

58

58

Производительность по парам воды, г/ч

300

370

Скорость вращения ротора, об/мин, при 50 Гц

1800

1800

Тип охлаждения

воздушное

воздушное

Питание

1ф 220-240 В

1ф 220-240 В

Потребляемая мощность, кВт

0.41

0.41

Масса, кг

43

45

Одноступенчатые форвакуумные насосы серии HenaLineОдноступенчатые форвакуумные насосы серии HenaLine (скорость откачки от 25 до 1600 м3/ч)

* Тип охлаждения-воздушное

Модель

Hena 25

Hena 40

Hena 60

Hena 100

Hena 200

Hena 300

Hena 400

Hena 630

Hena 1000

Hena 1600

Фланец
- всасывания, ISO-K(KF)
- выхлопа, ISO-K(KF)


DN40
DN40


DN40
DN40


DN40
DN40


DN40
DN40


DN100
DN100


DN100
DN100


DN100
DN100


DN100
DN100


DN100
DN100


DN160
DN100

Скорость откачки, л/мин (м3/ч)

417 (25)

667 (40)

1050 (63)

1667 (100)

3333 (200)

5000 (300)

6667 (400)

10500 (630)

16670 (1000)

26667 (1600)

Предельное давление, без газобалласта, Па (Торр) мбар

20 (0.15)

20 (0.15)

20 (0.15)

30 (0.23)

30 (0.23)

30 (0.23)

30 (0.23)

30 (0.23)

100 (0.75)

70 (0.53)

Предельное давление, с газобал-ластом, Па (Торр)_мбар

150 (1.13)

30 (0.23)

150 (1.13)

150 (1.13)

70 (0.53)

70 (0.53)

70 (0.53)

70 (0.53)

120 (0.9)

120 (0.9)

Объем масла, л

1

1

2

2

6,5

6,5

12

15

30

36

Уровень шума, дБА

60

63

64 / 65

65

72

74

77

77

82

82

Производите-льность по парам воды, г/ч

900

1200

1800

2800

4000

5000

9000

18000

19000

24000

Скорость вращения ротора, об/мин, при 50 Гц

1500

1500

1500

1500

1500

1500

1000

1000

1000

1000

Питание

3ф 380-420В/ 
1ф 220-240 В

3ф 380-420 В/ 
1ф 220-240 В

3ф 380-420 В/ 
1ф 220-240 В

3ф 380- 420 В

3ф 380- 420 В

3ф 380- 420 В

3ф 380- 420 В

3ф 380- 420 В

3ф 380- 420 В

3ф 380- 420 В

Потребляе- мая мощность, кВт

0.9 / 1.1

1.4 / 1.8

2.0 / 1.8

2.5

5.5

7.5

13.5

15

22

30

Масса, кг

35 / 42

48 / 40

68 / 60

77

182

227

535

650

1200

1474

Одноступенчатые форвакуумные насосы серии UnoLine PlusОдноступенчатые форвакуумные насосы серии UnoLine Plus (скорость откачки от 250 до 500 м3/ч)

Модель

BA 251

BA 501

Фланец
- всасывания, ISO-F
- выхлопа, ISO-K


DN63
DN63


DN100
DN100

Скорость откачки, л/мин (м3/ч)

4167 (250)

8333 (500)

Предельное давление, без газобалласта, Па (Торр)

6 (0.05)

6 (0.05)

Предельное давление, с газобалластом, Па (Торр)

100 (0.75)

100 (0.75)

Объем масла, л

17

45

Уровень шума, дБА

63

65

Производительность по парам воды, г/ч

7000

14000

Скорость вращения ротора, об/мин, при 50 Гц

1500

1500

Тип охлаждения

водяное

водяное

Питание

3ф 380-420 В

3ф 380-420 В

Потребляемая мощность, кВт

11

15

Масса, кг

570

1100

Насос серии EM (пример - E2M18)Насос серии EM (пример - E2M18)

Модель
насоса

Быстрота
действия,
л/мин (м3/ч)

Кол-во
ступеней
откачки

Полное предельное давление

Максимальная
быстрота
откачки
паров воды, кг/ч

Без газобалласта,
Па (Торр)

С газобалластом,
Па (Торр)

E2M0.7

12.5  (0.75)

2

0.3 (2.3 х 10−3)

20 (0.15)

0.008

E2M1.5

26.7 (1.6)

2

0.25 (1.8 х 10−3)

2.5 (1.9 х 10−2)

0.016

RV3

55 (3.3)

2

0.2 (1.5 х 10−3)

3 (2.3 х 10−2)

0.22

RV5

85 (5.1)

2

0.2 (1.5 х 10−3)

3 (2.3 х 10−2)

0.22

RV8

142 (8.5)

2

0.2 (1.5 х 10−3)

3.0 (2.3 х 10−2)

0.22

RV12

200 (12.0)

2

0.2 (1.5 х 10−3)

3.0 (2.3 х 10−2)

0.29

E1M18

283 (17.0)

1

3.0 (2.2 х 10−2)

65 (4.8 х 10−1)

0.65

E2M18

283 (17.0)

2

0.1 (7.5 х 10−4)

1.5 (1.1 х 10−2)

0.30

E2M28

458.3 (27.5)

2

0.1 (7.5 х 10−4)

1.5 (1.1 х 10−2)

0.70

E2M40

708.3 (42.5)

2

0.1 (7.7 х 10−4)

0.7 (5.4 х 10−3)

0.2

E2M80

1 333 (80)

2

0.1 (7.7 х 10−4)

0.7 (5.4 х 10−3)

0.3

E2M175

2 967 (178)

2

0.1 (7.7 х 10−4)

0.7 (5.4 х 10−3)

0.3

E2M275

4 867 (292 )

2

0.1 (7.7 х 10−4)

0.7 (5.4 х 10−3)

2.3

ES65

983.3 (59)

1

15 (0.11)

100 (0.8)

1.3

ES100

1 500 (90)

1

 

200 (1.5)

2.6

ES200

3 167 (190)

1

8 (0.06)

100 (0.8)

2.2

ES300

4 583 (275)

1

 

200 (1.5)

2.3

ES630

9 583 (575)

1

10 (0.08)

100 (0.8)

5.6

Насос серии ES (ES300 - пример)Насос серии ES (ES300 - пример)

Внешний вид насосов RVPВнешний вид насосов RVP

Параметры

RVP-6

RVP12

RVP-24

RVP-36

RVP-48

RVP-60

RVP-90

Производительность, л/мин. (м3/ч)

90 (5.4)

180 (10.8)

360 (21.6)

540 (32.4)

840 (50.4)

1 080 (64.8)

1 500 (90)

Предельный вакуум

Парциальное

Давление, Па (Торр)

4×10-2 (3×10-4)

4×10-2 (3×10-4)

4×10-2 (3×10-4)

4×10-2 (3×10-4)

4×10-2 (3×10-4)

4×10-2 (3×10-4)

4×10-2 (3×10-4)

Полное

Давление, Па (Торр)

4×10-1 (3×10-3)

4×10-1 (3×10-3)

4×10-1 (3×10-3)

4×10-1 (3×10-3)

4×10-1 (3×10-3)

4×10-1 (3×10-3)

4×10-1 (3×10-3)

Объём масла, л

1.3

1.1

1.4

1.8

3.8

5.5

6.5

Входное соединение

KF25

KF25

KF25

KF40

KF40

KF40

KF40

Выходное соединение

KF25

KF25

KF25

KF25

KF40

KF40

KF40

Мощность двигателя, кВт

0.4

0.4

0.75

0.75

1.5

2.2

2.5

Напряжение питания, В

220-240

220-240

380-415

220-240

380-415

380-415

380-415

380-415

380-415

Скорость вращения вала, об/мин

1 450

1 450

1 450

1 450

1 450

1 450

1 450

Масса, кг

23

25

37

39

64

83

88

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе

Вакуумные насосы

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе

Турбомолекулярные насосы Edwards
Турбомолекулярные насосы с интегрированным контроллером и на магнитном подвесе STP-iXA4506C

Турбомолекулярные насосы с интегрированным контроллером и на магнитном подвесе STP-iXA4506C

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки N2, л/с

Быстрота откачки H2, л/с

Быстрота откачки Ar, л/с

Степерь сжатия N2

Степерь сжатия H2

Max. газовый поток N2, sccm

Max. газовый поток Ar, sccm

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

STP-iX455

ISO100-K

300

300

-

>1*108

>1*104

-

-

6.5×10-6 (5×10-8)

DN100CF

1×10-8 (7.5×10-11)

ISO160-K

450

460

-

>1*108

>1*104

-

-

6.5×10-6 (5×10-8)

DN160CF

1×10-8 (7.5×10-11)

STP-iXR1606

ISO160-F

900

600

-

>1*108

1*103

4700

1800

1×10-7 (7.5×10-10)

VG150

ISO200-F/

ISO250-F

1600

1200

-

>1*108

1*103

4700

1800

1×10-7 (7.5×10-10)

VG200

STP-iXA2206C

ISO250-F

2200

-

1900

>1*108

1*104

3000

1400

1×10-7 (7.5×10-10)

DN250CF

STP-iXA3306C

ISO250-F

2650

-

2300

>1*108

2*103

4000

2100

1×10-7 (7.5×10-10)

DN250CF

ISO320-F

3200

-

2800

>1*108

2*103

4000

2100

1×10-7 (7.5×10-10)

DN320CF

STP-iXA4506C

ISO320-F

4000

2700

-

>1*108

1*103

4300

2600

1×10-7 (7.5×10-10)

Турбомоле-кулярные насосы на магнитном подвесе с вынесенным контроллером STP-iXA3306CТурбомоле-кулярные насосы на магнитном подвесе с вынесенным контроллером STP-iXA3306C

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки (N2), л/с

Быстрота откачки (H2), л/с

Степерь сжатия N2

Степерь сжатия H2

Max. газовый поток N2, sccm

Max. газовый поток Ar, sccm

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

STP301 / STP301C

ISO100-K

300

300

>1*108

>2*104

2500

-

6.5×10-6 (5×10-8)

DN100CF

1×10-8 (7.5×10-11)

STPH451 / STPH451C

ISO160-F

480

300

>1*108

103

2500

-

6.5×10-6 (5×10-8)

DN160CF

1×10-8 (7.5×10-11)

STP603 / STP603C

ISO160-F

650

550

>1*108

>1*105

130

-

1×10-7 (7.5×10-10)

DN160CF

1×10-8 (7.5×10-11)

STP1003 / STP1003C

ISO200-F

1000

800

>1*108

>1*105

130

-

1×10-7 (7.5×10-10)

DN200CF

1×10-8 (7.5×10-11)

STPA803C

ISO160-F

800

520

>1*108

1*103

1500

-

1×10-7 (7.5×10-10)

DN160CF

STPA1303C

ISO200-F

1300

800

>1*108

1*103

1500

-

1×10-7 (7.5×10-10)

DN200CF

STPA1603C

ISO200-F

1600

1200

>1*108

>7*103

2500

-

1×10-7 (7.5×10-10)

DN200CF

STPA2203C

ISO250-F

2200

1700

>1*108

>2,5*104

1500

-

1×10-6 (7.5×10-9)

DN250CF

STP-XA2703C

ISO250-F

2650

2050

>1*108

>6*103

2300

1900

1×10-7 (7.5×10-10)

DN250CF

STP-XA3203C

ISO320-F

3200

2300

>1*108

>6*103

2300

1900

1×10-7 (7.5×10-10)

DN320CF

STP-XA4503C

ISO320-F

4000

2500

>1*108

>6*103

2800

2150

1×10-7 (7.5×10-10)

Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии HiPace M

Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии HiPace M (HiPace 800 M)

Модель

HiPace 300 M

HiPace 700 M

HiPace 800 M

Фланец
- всасывания, ISO-K, ISO-F, CF
- выхлопа, ISO-KF
- напуска атмосферы


DN100
DN16
G1/8"


DN160
DN25
G1/8"


DN200
DN25
G1/8"

Скорость откачки, л/с
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)


255
215
170
250


685
600
480
660


790
625
500
775

Степень сжатия
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)


>1*1011
>1*108
5*105
>1*1011


>1*1011
>1*107
2*105
>1*1011


>1*1011
>1*107
2*105
>1*1011

Предельное разряжение, Па (Торр)

< 1*10-5 (7.5*10-8)

< 1*10-5 (7.5*10-8)

< 1*10-5 (7.5*10-8)

Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр)

2000 (15)

800 (6)

800 (6)

Скорость вращения ротора, об/мин

60 000

49 200

49 200

Тип охладения

водяное

водяное

водяное

Питание/потребляемая мощность

48В/300Вт

48В/300Вт

48В/300Вт

Масса, кг

13.1 - 17.2

15.7 - 20.8

17.1 - 21.5

Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии ATH-M (ATH2300M)Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии ATH-M (ATH2300M)

Хар-ка

ATH
500M

ATH
1300M

ATH
1300MT*

ATH
1603M

ATH
1600MT*

ATH
2303M

ATH
2300MT*

ATH
2800M

ATH
2800MТ*

ATH
3200M

ATH
3200MТ*

Скорость вращения ротора,  об/мин

50 000

39 000

39 000

31 000

31 000

31 000

31 000

25 000

25 000

25 000

25 000

Входной фланец

DN 
100

DN 
160

DN 
160

DN 
200

DN 
160

DN 
200

DN
200

DN 
250

DN
200

DN
250

DN 
200

DN
250

DN 
200

DN 
200

DN 
250

DN 
250

DN 
320

DN 
320

Скорость откачки,  л/с

N2

340

500

920

1250

920

1250

1200

1220

1230

1270

1250

1850

1250

1850

2050

2050

2600

2600

Ar

270

500

920

1250

920

1250

1100

1150

1130

1180

1200

1750

1200

1750

2000

2000

2400

2400

He

270

340

810

850

810

850

960

960

960

960

1500

1600

1500

1600

2150

2150

2400

2400

H2

170

190

490

550

490

550

550

550

580

580

1200

1200

1200

1200

1750

1750

1800

1800

Степень сжатия

N2

2*107

107

107

6*107

6*107

>108

>108

>108

>108

>108

>108

Ar

8*106

107

107

6*107

6*107

>108

>108

>108

>108

>108

>108

He

104

103

103

8*103

8*103

>3*104

>3*104

>3*104

>3*104

>3*104

>3*104

H2

2*102

102

102

3*102

3*102

>103

>2*103

>2*103

>2*103

>2*103

>2*103

Предельное давление, Па (Торр)

<10-6 (7,5 *10-10)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

Макс. давление  на всасыван., Па (Торр)

130 (1)

50 (0,4)

50 (0,4)

40 (0,3)

2 (1,5 *10-2)

30 (0,2)

14 (0,1)

26 (0,2)

1 (7,5 *10-3)

26 (0,2)

1  (7,5 *10-3)

Макс. давление  на выхлопе, Па (Торр)

270 (2)

150 (1,1)

150 (1,1)

150 (1,1)

100 (0,8)

200 (1,5)

150 (1,1)

150 (1,1)

100 (0,8)

150 (1,1)

100 (0,8)

Макс. откачи-ваемый поток,  ст.см3/
мин.

2500

3000

3000

4000

1000

4000

1000

5000

1000

5000

1000

Охлажден.

Водяное

Рабочее положение

Любое

Выхлопной / Фланец продувки

DN40 / продувка - DN16

Время запуска,  мин

<2,5

<5

<5

6

6

8

8

10

10

10

10

Масса турбины, кг

17

34

34

34

34

60

60

85

85

85

85

Контрол- лер

Integrated

ACT1300M

ACT1300M

Mag- power/
OBC

ACT1300M/
OBC

Mag- power/
OBC

Mag- power/
OBC

Mag- power

Mag- power

Mag- power

Mag- power

Масса контрол- лера, кг

8

8

8

8

8,7

8,7

8,7

8,7

8,7

8,7

Питание контрол.

От 100 до 240В - 50/60Гц – однофазное

*MT - прогреваемая версия. Для особо химически активных сред применяются насосы ATH-MT, которые имеют встроенную нагревательную рубашку, предотварщающую осаждение на внутренней поверхности насосов.

Гибридный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе серии ATP-M для откачки легких газовГибридный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе серии ATP-M для откачки легких газов

Двухступенчатый форвакуумный насос серии PentaLine (скорость откачки от 22 до 34 м3/ч)

Характеристика

ATP 2300M

Присоединительный фланец

DN200, ISO F, CF

DN250, ISO F, CF

Скорость откачки, л/с

N2

1250

1750

Ar

1200

1650

He

1700

1800

H2

1700

1700

Степень сжатия

N2

108

Ar

108

He

105

H2

7*103

Частота вращения, об/мин

31 000

Минимальное остаточное давление, Па (Торр)

10-7 (7,5*10-10)

Макс. давление на входе, Па (Торр)

5 (0,04)

Макс. давление на выхлопе, Па (Торр)

150 (1,13)

Габаритные размеры, мм

Высота

290

Диаметр

315

Масса, кг

52

Стандартная линейка ТМН с магнитным подвесом

Стандартная линейка ТМН с магнитным подвесом

Модель

TMP-203

TMP-303

TMP-403

TMP-803

TMP-1003

TMP-2003

TMP-3203

Охлаждение

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

Предельный вакуум, Па (Торр)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

Максимальное  давление на входе (вода/воздух), Па (Торр)

200/1,3 (1,5/0,01)

200/1,3 (1,5/0,01)

200/1,3 (1,5/0,01)

400/1,3 (3/0,01)

400/1,3 (3/0,01)

67/0,4 (0,5/ 0,003)

40/0,4 (0,3/ 0,003)

Максимальное  давление на выходе (вода/воздух), Па (Торр)

400/40 (3/0,3)

400/40 (3/0,3)

400/40 (3/0,3)

667/40 (5/0,3)

667/40 (5/0,3)

267/40 (2/0,3)

267/40 (2/0,3)

Быстрота действия, л/с :

по азоту

190

320

420

800

1080

2000

3200

по гелию

140

340

360

800

930

1800

3000

по водороду

120

320

340

700

790

1600

2400

Степень сжатия:

по азоту

1*109

1*109

1*109

1*109

>1*109

1*109

1*109

по гелию

6*104

8*104

8*104

8*104

8*104

7*105

3*105

по водороду

4*103

1*104

1*104

4*103

4*103

1,4*104

1*104

Время выхода на режим, мин

Не более 5

Не более 9

Не более 13

Рабочая ориентация

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Температура прогрева на входном фланце, оС

<120

<120

<120

<120

<120

<120

<120

Входной фланец стандартов ISO, ConFlat

Ду100

Ду100

Ду160

Ду160

Ду200

Ду250

Ду320

Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса, л/мин (м3/ч)

>200 (>12)

>200 (>12)

>200 (>12)

>500 (>30)

>500 (>30)

>500 (>30)

>1500 (>90)

Масса, кг

9

14

14

31

32

55

70

Насосы с высокой степенью сжатия для откачки легких газовНасосы с высокой степенью сжатия для откачки легких газов

Модель

TMP-1103MP

TMP-1103LMP

TMP-1103LMPC

TMP-W2403LMC

FT-3500D

H3153LMC

Охлаждение

воздушное

водяное

водяное

водяное

водяное

водяное

Предельный вакуум, Па (Торр)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-7 (10-9)

10-7 (7,5*10-10)

1.3*10-5 (10-7)

Максималь- ное давлен. на входе, Па (Торр)

1,3 (0,01)

6,7 (0,05)

66,7 (0,5)

40 (0,3)

По Ar: 2,1 (1,6*10-2)

1,33 (10-2)

Максим. давление на выходе, Па (Торр)

267 (2)

800 (6)

800 (6)

267 (2)

По Ar: 1330 (10)

270 (2)

Быстрота действия, л/с :

по азоту

1080

1080

1080

2100

2300

3270

2950

по аргону

1040

1040

1040

2000

-

-

-

по водороду

800

800

800

1770

-

-

3000

по гелию

-

-

-

2240

-

-

3000

Степень сжатия:

по азоту

>109

>109

>109

1*1011

5*109

>107

по аргону

107

107

107

По He: 4*106

-

-

по водороду

106

106

106

1*105

1*106

105 (по H2 и He)

Время  выхода на режим, мин

менее 5

менее 5

менее 5

менее 12

менее 18

менее 18

Рабочая ориентация

любая

любая

любая

любая

любая

любая

Темпера- тура прогрева на входном фланце, оС

<120

<120

<120

<120

40

<120

Входной
фланец стандартов ISO, ConFlat

Ду 200

Ду 200

Ду 200

Ду 250

JIS VG250

JIS VG350

ДУ 320

Масса, кг

32

32

32

72

88

80

Насос с интегрированным контроллеромНасосы с интегрированным контроллером (LM – водяное охлаждение, LMC – водяное охлаждение, коррозионная стойкость)

Модель

TMP-V1704LM

TMP-V2304LM

TMP-V3304LM (F)

TMP-V3304LMC (F)

Охлаждение

Водяное

Предельный вакуум, Па (Торр)

10-7 (10-9)

10-6 (10-8)

10-7 (10-9)

10-7 (10-9)

Максимальное давление на входе, Па (Торр)

4,5 (0,03)

7 (0,05)

Максимальное давление на выходе, Па (Торр)

200 (1,5)

270 (2,0)

Быстрота действия, л/с

по азоту

1400

2100

3200

по аргону

1350

2000

3100

Степень сжатия

по азоту

108

109

по гелию

103

105

по водороду

102

103

Номинальная скорость, об/мин

33700

27600

Время выхода на режим, мин

менее 9

менее 16

Максимальный поток аргона, sccm

600

1900

Рабочая ориентация

любая

Максимальная температура на входном фланце, oС

< 120

Входной фланец

ISO200B

ISO250B

ISO320B

Выходной фланец

KF40

Масса, кг

60

56

94

Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса в случае продувки, л/мин (м3/ч)

>1500 (90)

Турбомолекулярные насосы с ротором на подшипниках

Вакуумные насосы

Турбомолекулярные насосы с ротором на подшипниках

Турбомолекулярные насосы Edwards (Англия)
Турбомолекуляр. насосы с магнитным верхним и необслуживаемым нижним подшипником - EXT75DX

Турбомолекуляр. насосы с магнитным верхним и необслуживаемым нижним подшипником - EXT75DX

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки (N2), л/с

Быстрота откачки (He), л/с

Быстрота откачки (H2), л/с

Степерь сжатия (N2)

Степерь сжатия (He)

Степерь сжатия (H2)

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

EXT75Dx

NW40

42

49

48

>1*1011

1*106

5*104

5×10-6 (3.7×10-8)

ISO63-K

61

57

53

5×10-6 (3.7×10-8)

ISO100-K

66

59

54

5×10-6 (3.7×10-8)

DN63CF

61

57

53

5×10-7 (3.7×10-9)

EXT556H

ISO160-K

540

580

500

>1*1010

1*108

1*106

2×10-7 (1.5×10-9)

DN160CF

1×10-8 (7.5×10-11)

Турбомолекуляр. насосы с магнитным верхним и обслуживаемым нижним подшипником - nEXT300Турбомолекуляр. насосы с магнитным верхним и обслуживаемым нижним подшипником - nEXT300

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки (N2), л/с

Быстрота откачки (He), л/с

Быстрота откачки (H2), л/с

Степерь сжатия (N2)

Степерь сжатия (He)

Степерь сжатия (H2)

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

nEXT240

ISO100-K

240

230

165

>1*1011

3*105

1*104

6×10-6 (4.5×10-8)

DN100CF

5×10-8 (3.7×10-10)

nEXT300

ISO100-K

300

340

280

>1*1011

1*106

5*104

6×10-6 (4.5×10-8)

DN100CF

5×10-8 (3.7×10-10)

nEXT400

ISO160-K

400

390

325

>1*1011

1*108

5*105

1×10-6 (7.5×10-9)

DN160CF

1×10-8 (7.5×10-11)

Турбомолекулярные насосы с магнитным верхним и необслуживаемым нижним подшипникомТурбомолекулярные насосы с магнитным верхним и необслуживаемым нижним подшипником

Гибридные ТМН

PT-150

PT-300

PT-500

Размеры фланца

Вход

JIS VG 100

JIS VG 100

JIS VG 150

Выход

NW 25

NW 25

NW 40

Скорость откачки, л/с

Азот

190

300

550

Гелий

160

260

500

Max. коэффициент сжатия

Азот

108

108

108

Гелий

104

104

105

Предельное давление, Па (Торр)

10-8 (7,5*10-11)

10-8 (7,5*10-11)

10-8 (7,5*10-11)

Max давление, вход/выход, Па (Торр)

0,13/13 (9,8*10-4 / 9,8*10-2)

0,13/13 (9,8*10-4 / 9,8*10-2)

0,13/13 (9,8*10-4 / 9,8*10-2)

Скорость вращения, об/мин

72,000

54,000

40,200

Время разгона/торможения, мин

3/4

4/7

8/8

Смазка, объем

фтор, 10 мл

фтор, 10 мл

фтор, 10 мл

Охлаждение

воздушное/
водяное

воздушное/
водяное

воздушное/
водяное

Масса, кг

6

10

16

Гибридные турбомолекулярные насосы серии HiPace (10-800 лс)-HiPace 700Гибридные турбомолекулярные насосы серии HiPace (10-800 лс)-HiPace 700

Модель

HiPace 10

HiPace 60P

HiPace 80

HiPace 300

HiPace 400

HiPace 700

HiPace 800

Фланец
- всасывания, ISO-K, ISO-F, CF
- выхлопа, ISO-KF
- напуска атмосферы


DN25
DN16


DN63
DN16
G1/8"


DN63
DN16
G1/8"


DN100
DN16
G1/8"


DN100
DN25
G1/8"


DN160
DN25
G1/8"


DN200
DN25
G1/8"

Скорость откачки, л/с
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)


10
6
3,7
11,5


64
48
28
63


67
58
48
66


260
255
220
255


355
470
445
320


685
655
555
665


790
700
580
780

Степень сжатия
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)


3*106
3*103
3*102
2,5*107


106
3,5*102
2*102
2*106


>1*1011
1,3*107
1,4*105
>1*1011


>1*1011
1*108
9*105
>1*1011


>1*1011
3*107
4*105
>1*1011


>1*1011
3*107
4*105
>1*1011


>1*1011
3*107
4*105
>1*1011

Предельное разряжение, Па (Торр)

< 10-3 (7,5*10-6)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр)

2500 (18,8)

400 (3)

2200 (16,5)

2000 (15)

1100 (8,3)

1100 (8,3)

1100 (8,3)

Скорость вращения ротора, об/мин

90 000

90 000

90 000

60 000

49 200

49 200

49 200

Тип охлаждения
- стандартный
- опционально


естественное
воздушное


естественное
воздушное


воздушное
водяное


водяное
воздушное


водяное
воздушное


водяное
воздушное


водяное
воздушное

Питание/потребляемая мощность

24В/28,8 Вт

24В/110Вт

24В/110Вт

24В/300Вт

48В/420Вт

48В/420Вт

48В/420Вт

Масса, кг

1,8

2,2

2,4

5,8 - 8,7

11,6 - 17,5

11,5 - 17,4

12,8 - 19,1

Гибридные турбомолекулярные насосы серии HiPace (1000-2000 лс)-HiPace 2300Гибридные турбомолекулярные насосы серии HiPace (1000-2000 лс)-HiPace 2300

Модель

HiPace 1200

HiPace 1500

HiPace 1800

HiPace 2300

Фланец
- всасывания, ISO-K, ISO-F, CF
- выхлопа, ISO-KF
- напуска атмосферы


DN200
DN40
G1/8"


DN250
DN40
G1/8"


DN200
DN40
G1/8"


DN250
DN40
G1/8"

Скорость откачки, л/с
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)
- по Тетрахлорометану (CF4)


1 250
1 300
1 100
1 200
950


1 450
1 350
1 150
1 400
1 100


1 450
1 650
1 700
1 370
1 050


1 900
2 050
1 850
1 850
1 850

Степень сжатия
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)
- по Тетрахлорометану (CF4)


>1*108
2*105
6*103
>1*108
>1*108


>1*108
2*105
6*103
>1*108
>1*108


>1*108
3*105
2*104
>1*108
>1*108


>1*108
3*105
2*104
>1*108
>1*108

Предельное разряжение, Па (Торр)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр)

200 (1,5)

200 (1,5)

180 (1,4)

180 (1,4)

Скорость вращения ротора, об/мин

37 800

37 800

31 500

31 500

Тип охлаждения

водяное

водяное

водяное

водяное

Питание/потребляемая мощность

220В/1,3кВт

220В/1,3кВт

220В/1,3кВт

220В/1,3кВт

Масса, кг

27 - 40

29 - 41

33 - 34

34 - 47

Молекулярные высоковакуумные насосы серии MDP-MDP5011Молекулярные высоковакуумные насосы серии MDP-MDP5011

Характеристика

MDP 5011

MDP 5011СР
(хим. стойкий)

Скорость откачки, л/с

N2

7,5

He

4

H2

3

Степень сжатия

N2

1∙109

1∙106

2∙104

250

H2

1∙103

50

Минимальное остаточное давление, 
при работе без азотной продувки 
(Pneurop), Па (Торр)

При любом типе охлаждения насоса

1∙10-4

Максимальное давление на входе N2, Па (Торр)

Естественное охлаждение

10

Принудительное воздушное охлаждение

1000

Водяное охлаждение

1000

Максимальное давление на выхлопе, Па (Торр)

При любом типе охлаждения насоса

4000 (30)

500 (3,8)

Время запуска, мин

<1

Скорость ротора, об/мин.

27 000

Выхлопной фланец

DN16

Совместимый контроллер

ACT100

Масса насоса, кг

Естественное охлаждение

2,3

Принудительное воздушное охлаждение

3

Водяное охлаждение

2,5

Масса контроллера, кг

2

Эл. питание, В / Гц

220/50

Потребляемая мощность, Вт

75

Турбомолекулярные насосы с подшипниками KYKY- FF-160/700E

Турбомолекулярные насосы с подшипниками KYKY- FF-160/700E

Характеристики

FF-100/110E

FF-160/700E

FF-160/700FE

FF-200/1300E

FF-200/1300FE

FF-250/2000E

Быстрота действия, л/с

150

700

700

1300

1300

2000

Степень сжатия

N2

108

109

109

109

109

109

H2

5х102

6х106

6х106

6х103

6х103

6х103

Предельный вакуум, не хуже, Па (Торр)

ISO

4.5х10-7 (3,4*10-9)

6х10-7 (4,5*10-9)

6х10-7 (4,5*10-9)

6х10-6 (4,5*10-8)

6х10-6 (4,5*10-8)

6х10-6 (4,5*10-8)

CF

4.5х10-8 (3,4*10-10)

6х10-8 (4,5*10-10)

6х10-8 (4,5*10-10)

6х10-7 (4,5*10-9)

6х10-7 (4,5*10-9)

-

Вх. фланец, Ду, мм.

ISO100

ISO160

ISO160

ISO200

ISO200

ISO250

Вых. фланец, Ду, мм.

KF25

KF40

KF40

KF40

KF40

KF50

Положение монтажа

любое

Охлаждение

вода-воздух

вода

вода-воздух

вода

вода-воздух

вода

Вакуумметрическое оборудование

Вакуумные насосы

Вакуумметрическое оборудование

Вакуумметрическое оборудование Edwards (Англия)
Вакуумные датчики серии Active (с цифровым выходным сигналом)
Датчик Пирани APG100-XM
Широкодиапазонный датчик WRG
Датчик Пирани APG100-XM
Широкодиапазонный датчик WRG

Модели датчиков

Тепловые

Ионизационные

Широкодиапазонные

Мембранные

APG100-XM, APG-100-XLC

APGX-H

AIM

AIGX

WRG

Barocel

ASG2

Диапазон измерения, мбар

атм…10-3, атм…10-4

атм…3·10-4

10-2…10-9

6,6·10-2… 6,6·10-10

атм…10-9

0…1, 0…10,

0…100,

0…1000

1…1000,

1…2000

Погрешность, %

±15

±30

±10

±15 при p = атм…10-3, ±30 при p = 10-3…10-9

±0,15

0,2

Входной фланец

NW16, NW25

NW16, NW25, резьба 1/8”

NW25, CF40

NW25, CF16, CF40

NW25, CF40

NW16, NW25, CF16, патрубок нар.диам.1/2”, резьба 1/8”

NW16, резьба 1/8”

Потребляемая мощность, Вт

1

1,5

2

7

2

7

0,1

Электрическое соединение

RJ45

RJ45

RJ45, D-SUB 9

D-SUB 15,

D-SUB 9

4-х контактный разъем

Размеры, мм

83 × 25 × 41

75 × 56 × 56

125 × 79 × 79

96 × 70 × 70

106 × 65 × 65

150 × 76 × 76

116 × 45 × 25

Масса, г

100

170

810

300

800

550

150

Контроллеры вакуумных датчиков
Инверсно-магнетронный датчик AIM
Контроллер TIC
Инверсно-магнетронный датчик AIM
Контроллер TIC

Модели контроллеров

ADC

ADC Enhanced

TAG

TIC Instruments Controller

TIC Turbo & Instruments Controller

1575

Количество каналов

1

2

1

3, 6

3

1

Индикация

LED-дисплей (3 значения + степень)

LCD-дисплей

LED-дисплей (5 значений)

Поддерживаемые датчики

APG100, APGX-H, WRG

APG100, APGX-H, WRG, AIM, ASG

APG100, APGX-H, WRG, AIM, ASG

APG100, APGX-H, ASG, AIM, WRG, AIGX, Barocel

APG100, APGX-H, ASG, AIM, WRG, AIGX

Barocel

Реле

-

2

-

3, 6

3

4

Интерфейс

-

RS232, 2 аналоговых выходных сигнала 0-10 В

-

RS232, RS485, 3 или 6 аналоговых выходных сигналов 0-10 В

RS232, RS485, 3 аналоговых выходных сигналов 0-10 В

RS232, 1 аналоговый выходной сигнал с датчика

Размеры, мм

159 × 96 × 43

165 × 96 × 48

125 × 79 × 79

250 × 106 × 128

120 × 91 × 44

Масса, кг

0,33

0,3

1,7

1,8

1

Вакуумные датчики PfeifferВакуумметры серии ActiveLine

Контроллеры вакуумметров серии ActiveLine

Вакуумметры Pfeiffer Vacuum серии DigiLine

Вакуумметры серии ModulLine

Вакуумметры серии ActiveLine

Серия

Серия APR

Серии CMR
и CCR

Серия PCR

Серия TPR

Серия IKR

Серия PKR

Серия IMR

Серия PBR

Тип сенсора

Пьезо

Мембранно-ёмкостные

Пирани / Ёмкостные

Пирани

Холодный
катод

Пирани / Холодный
катод

Горячий катод

Пирани / Горячий катод

Диапазон измерений, мбар

10-1 - 55 000

10-5 - 1 100

5*10-5 - 1500

5*10-4 - 1000

5*10-11 - 0,01

5*10-9 - 1000

2*10-6 - 1000

5*10-10 - 1000

Контроллеры вакуумметров серии ActiveLine

Модель

TPG 201

TPG 261

TPG 262

TPG 265F

Количество
подключаемых датчиков

1 встроенный датчик Пирани
с фланцем DN 16 ISO-KF,
работает от батареек

1

2

6

Интерфейс

-

RS232C, 2 реле, аналоговый выход

RS232C, по 2 реле на канал, аналоговый выход

RS232C или RS232C, RS422, RS422 изолир., RS485 изолир., по 2 реле на канал, аналоговый выход

Вакуумметры Pfeiffer Vacuum серии DigiLine

Модель

CPT 200

RPT 200

PPT 200

MPT 200

HPT 200

Тип сенсора

Пьезо

Пьезо/Пирани

Пирани

Пирани/Холодный катод

Пирани/Горяий катод (иридиевый с иттриевым покрытием)

Фланцы

DN16KF
G 1/4”

DN16KF
DN16CF

DN16KF
DN16CF

DN25KF
DN40KF
DN40CF

DN40KF
DN40CF

Интерфейс

 

 

 

 

 

Диапазон измерения, мбар

1-2 000

10-4-1 200

10-4-1 000

5*10-9-1 000

5*10-10-1 000

Точность

±0,1% полной шкалы в диапазоне
1-1200 мбар,
±1% полной шкалы при давлении > 1200 мбар

фактор 2 в диапазоне
< 2*10-3 мбар,
±5% от считываемого значения в диапазоне 2*10-3-10 мбар 
±0,3% полной шкалы в диапазоне 10-1200 мбар

фактор 2 в диапазоне
< 2*10-3 мбар,
±10% от считываемого значения в диапазоне 2*10-3-20 мбар 
±30% от считываемого значения в диапазоне 20-1000 мбар

±25% от считываемого значения в диапазоне 10-8..2*10-3 мбар
±10% от считываемого значения в диапазоне 2*10-3..10 мбар
±30% от считываемого значения в диапазоне 10-1000 мбар

±10% от считываемого значения в диапазоне 10-8..1 мбар
±30% от считываемого значения в диапазоне 1-1000 мбар

Воспроизводимость

 

±1% от считываемого значения в диапазоне 2*10-3..10 мбар
±0,1% полной шкалы в диапазоне 10 - 1200 мбар

±2% от считываемого значения в диапазоне
2*10-3 – 10 мбар

±7% от считываемого значения в диапазоне
10-8 – 10-2 мбар
±2% от считываемого значения в диапазоне
10-2 – 10 мбар

±5% от считываемого значения в диапазоне
10-8 – 10-2 мбар
±2% от считываемого значения в диапазоне
10-2 – 10 мбар

Питание, В

24

24

24

24

24

Материалы, обращённые в вакуум

Керамика, нержавеющая сталь, FPM

Вольфрам, нержавеющая сталь, оксид кремния, стекло

Вольфрам, нержавеющая сталь, стекло

Вольфрам, нержавеющая сталь, никель, молибден, стекло

Вольфрам, нержавеющая сталь, никель, стекло, керамика

Максимальное давление, атм

4

4

4

4

4

Температутра отжига, оС

70

125

125

180 на фланце

180 на фланце

Рабочая температура, оС

5-60

5-60

5-60

5-60

5-60

Максимальная длина кабеля, м

100

100

100

100

100

Потребляемая мощность, Вт

1,5

2,5

2,5

3,0

7,5

Масса, кг

0,19

0,195

0,19

0,555

0,475

Цикл измерения, мс

10

10

10

10

10

Вакуумметры серии ModulLine

Модель

TPR 010

TPR 017

TPR 018

IKR 050

IKR 060

IKR 070

Тип сенсора

Пирани

Пирани

Пирани

Холодный катод

Холодный катод

Холодный катод

Фланцы

DN10 ISO-KF

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-F

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-F
DN 40 CF-F

DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F

DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F

DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F

Диапазон измерения, мбар

8*10-4 - 1 000

8*10-4 - 1 000

8*10-4 - 1 000

2*10-9 - 5*10-3

10-10 - 5*10-3

10-11 - 5*10-3

Точность

±10% от считываемого
значения в диапазоне
10-2 - 100 мбар

±10% от считываемого
значения в диапазоне
10-2 - 100 мбар

 

 

 

 

Радиационная стойкость, Грэй

-

104

104

107

107

107

Материалы, обращённые в вакуум

Нержавеющая сталь

Нержавеющая сталь

Нержавеющая сталь, Al2O3

Нержавеющая сталь, Al2O3

Нержавеющая сталь, Al2O3

Нержавеющая сталь, Al2O3

Максимальное давление, атм

9

9

9

9

9

9

Температура отжига, макс.,оС

100

250

250

250

250

250

Рабочая температура, оС

0 - 70

0 - 80

0 - 120

5 - 150

5 - 250

5 - 250

Максимальная длина кабеля, м

50

50

50

100

100

100

Масса, кг

0,14

0,6

0,6

0,6

0,6

0,6

Вакуумный датчик IGM-400
Вакуумный датчик CVM-201
Вакуумный датчик IGM-400
Вакуумный датчик CVM-201

Вакуумные датчики без индикаторов

Модели датчиков

Тепловые

Ионизационные

CVG-101

IGM-400

Диапазон измерения, мбар

атм…10-4

6,7·10-2…1,3·10-9

Погрешность, %

±15

±10

Входной фланец

NW16, NW25, NW40, CF16, CF40, резьба 1/8”

Потребляемая мощность, Вт

1

2

Электрическое соединение

5-контактный разъем

D-SUB 9

Размеры, мм

91 × 29 × 29

82 × 71 × 68

Масса, г

85

270

Вакуумные датчики с индикатором на корпусе

Модели датчиков

Тепловые

Ионизационные

Инверсно-магнетронные

Широкодиапазонные

CVM-201

CVM-211

IGM-401

CCM-501

IGM-402

Диапазон измерения, мбар

атм…10-4

6,7·10-2…1,3·10-9

1,3·10-2…1,3·10-8

атм…1,3·10-9

Погрешность, %

±15

±10

±30

±15 при p = атм…10-4,

±10 при p = 10-4…1,3·10-9

Входной фланец

NW16, NW25, NW40, CF16, CF40, резьба 1/8”

Потребляемая мощность, Вт

2,1

2

3

7,2

16

Индикация

LCD-дисплей

LED-дисплей   (3-х разрядный)

LCD-дисплей

Реле

2

1

1

1

3

Интерфейсы

RS232/RS485, аналоговый выходной сигнал

Аналоговый выходной сигнал

RS485, аналоговый выходной сигнал 0-9 В

RS485, аналоговый выходной сигнал  0-8 В

RS485, 3 настраиваемых аналоговый выходных сигнала

Электрическое соединение

D-SUB 9

Размеры, мм

105 × 90 × 35

105 × 48 × 48

82 × 71 × 68

97 × 88 × 71

82 × 71 × 68

Масса, г

340

136

270

770

270

Контроллеры вакуумных датчиков

Модели контроллеров

VGC-301

B-RAX 3000/3100

FlexRax 4000

Количество каналов

1

3

1

Индикация

OLED-дисплей

3 независимых LED-дисплея + LCD-дисплей управления

LCD-дисплей

Поддерживаемые датчики

CVG-101

CVG-101, IGM-400

До 4-х IGM-400, до 4-х CVG-101, до 2-х мембранно-емкостных датчиков одновременно

Реле

2

3

До 16

Интерфейс

RS232/RS485, настраиваемый аналоговый выходной сигнал

Настраиваемый аналоговый выходной сигнал

RS232/RS485, до 8 настраиваемых аналоговых выходных сигналов

Размеры, мм

96 × 91 × 50

183 × 208 × 78

484 × 347 × 89

Масса, кг

0,25

1,62

5,5

Вакуумная запорная и конструкционная арматура

Вакуумные насосы

Вакуумная запорная и конструкционная арматура

Вакуумная запорная и конструкционная арматура

Вакуумная запорная арматура VAT (Швейцария)Вакуумная запорная арматура VAT (Швейцария)

Вакуумная запорная арматура VAT – это высококачественные вакуумные клапаны и затворы от ведущего мирового производителя в этой области. Вакуумные клапаны и затворы от VAT выполняются в различном исполнении, с различным приводом, включая специальные модели для сложных технологических процессов. Доступны клапаны – угловые и проходные, затворы – шиберные, маятниковые, щелевые, натекатели и прочие элементы вакуумной арматуры.

Вакуумная запорная арматура SMC (Япония)Вакуумная запорная арматура SMC (Япония)

Вакуумная арматура SMC (Япония) предназначена для использования в различных технологических процессах, таких как нанесения покрытий и получения тонкопленочных структур, выращивания монокристаллов, электронно-лучевой сварки, масс-спектрометрах, вакуумных печах и оборудовании для решения узкоспециальных задач. Арматура SMC представлена номенклатурой стандартных прямых и угловых высоковакуумных клапанов с корпусом из алюминиевого сплава или нержавеющей стали с KF, CF или ISO фланцами от 16 до 160 мм. (клапаны имеют ручное, электромагнитное или пневматическое управление), а также вакуумными затворами.

Вакуумная запорная арматура CBVAC (Китай)Вакуумная запорная арматура CBVAC (Китай)

Запорно-регулирующая арматура CBVAC представлена клапанами и затворами для применения в условиях сверхвысокого вакуума, высокого вакуума, а также для использования в условиях низкого вакуума. Арматура имеет различные типы уплотнений: медное, фторэластомерное или резиновое, различное материально исполнение, типы приводов, а также прочие конструктивные особенности, делающую арматуру CBVAC отличным решением для многих задач.

Вакуумная конструкционная арматура ведущих Азиатских и Европейских производителейВакуумная конструкционная арматура ведущих Азиатских и Европейских производителей

Доступен широкий ассортимент как стандартных, так и оригинальных (под заказ) вакуумных компонентов в различном исполнении: хомуты, кольца центрирующие, уплотнители, переходники, струбцины, полуниппели, смотровые стекла, сильфоны и прочие компоненты, необходимые для создания абсолютно любой вакуумной системы.


При создании установок в соответствии с пожеланиями Заказчика может использоваться элементная база – средства откачки, эталонные вакуумметры и запорная арматура – различных ведущих мировых производителей вакуумной техники, таких как Pfeiffer-Adixen, Edwards, Agilent, Anest Iwata, MKS и др. Также в рамках выполнения заказа по изготовлению установки проводятся испытания с целью утверждения типа установки с выдачей свидетельства о первичной поверке.

Документы

Лицензии Патенты Сертификаты Справочная информация Каталоги продукции
Лицензия на конструирование ядерных установок
Лицензия на изготовление оборудования для ядерных установок
Лицензия на изготовление оборудования для ядерных установок
Лицензия на проектирование и конструирование ядерных установок
Лицензия на изготовление оборудования для радиационных источников
Лицензия на использование источников ионизирующего излучения
Лицензия на конструирование оборудования для ядерных установок
+7 (4832) 58-19-66