Термическая диффузия - физико-химический процесс, изменяющий структуру поверхности обрабатываемого изделия в условиях термостабилизации и контролируемой атмосферы.

В настоящее время ООО «НПО «ГКМП» является единственным отечественным производителем термодиффузионных установок типа СД.ОМ, предназначенных для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 100 мм. Возможно изготовление установок для обработки пластин диаметром до 150 мм, а так же в процессе разработки установки для термодиффузии пластин диаметром 200 мм и 300 мм.

В зависимости от требований заказчика, в термодиффузионных установках возможна реализация процессов окисления (в том числе и пирогенного) и диффузии с применением различных окислителей и диффузантов (азота, хлора, мышьяка, фосфора, бора и пр.)

Нагревательные элементы, применяемые в установках типа СД.ОМ имеют уникальную конструкцию и наматываются из проволоки специальных марок высокотемпературных сплавов (еврофехраль, фехраль). Намотка производится в горячем состоянии по специально разработанному технологическому циклу, что значительно уменьшает остаточную деформацию полученного нагревателя и продлевает срок его службы.

Особенности установок типа СД.ОМ:

• количество нагревательных камер: 2 или 3;
• максимальная температура процесса: 1250°С;
• длина рабочей тепловой зоны: 600 мм;
• погрешность распределения температурного поля: ±1°С;
• погрешность воспроизведения температуры: ±1°С;
• материал нагревательных элементов: Kanthal или еврофехраль;
• загрузка и выгрузка: ручная или с помощью встроенных загрузчиков;
• современная автоматизированная система управления процессом;
• независимая работа каждого реактора;
• энергоэффективная система силового питания нагревателей;
• точная система регулирования расхода окислителей и диффузантов.

Почему мы?

ООО «НПО «ГКМП» специализируется на индивидуальной разработке и производстве промышленных термодиффузионных установок. Работаем по согласованному техническому заданию, с использованием установленных норм и требований.

Сотрудничество с ООО «НПО «ГКМП», это:

• Единичное производство «под заказ». Разрабатываем и производим оборудование по техническому заданию заказчика и соответствующее техническим нормам и требованиям.
• Широкий ассортимент продукции. Благодаря многолетнему опыту и налаженному сотрудничеству с предприятиями, мы регулярно расширяем спектр решенных задач.
• Полный спектр услуг. Мы не только производим оборудование, но и предоставляем дополнительные услуги: от пуско-наладочных работ до последующего сервисного обслуживания.
• Высокое качество. Работаем только с качественным сырьем, соблюдаем установленные технологии.
• Квалифицированный персонал. Опытные специалисты выполнят заказ любой сложности.
• Доступный ценовой сегмент. Стоимость рассчитывается в зависимости от требований, указанных в техническом задании.

В ООО «НПО «ГКМП» можно купить термодиффузионную установку, а также другие типы термического оборудования с нестандартными габаритами рабочей зоны, с учетом спецификации заказчика.