Вакуумметрическое оборудование

Модели датчиков

Тепловые

Ионизационные

Широкодиапазонные

Мембранные

APG100-XM, APG-100-XLC

APGX-H

AIM

AIGX

WRG

Barocel

ASG2

Диапазон измерения, мбар

атм…10^-3, атм…10^-4

атм…3·10^-4

10^-2…10^-9

6,6·10^-2… 6,6·10^-10

атм…10^-9

0…1, 0…10,

0…100,

0…1000

1…1000,

1…2000

Погрешность, %

±15

±30

±10

±15 при p = атм…10^-3, ±30 при p = 10^-3…10^-9

±0,15

0,2

Входной фланец

NW16, NW25

NW16, NW25, резьба 1/8”

NW25, CF40

NW25, CF16, CF40

NW25, CF40

NW16, NW25, CF16, патрубок нар.диам.1/2”, резьба 1/8”

NW16, резьба 1/8”

Потребляемая мощность, Вт

1

1,5

2

7

2

7

0,1

Электрическое соединение

RJ45

RJ45

RJ45, D-SUB 9

D-SUB 15,

D-SUB 9

4-х контактный разъем

Размеры, мм

83 × 25 × 41

75 × 56 × 56

125 × 79 × 79

96 × 70 × 70

106 × 65 × 65

150 × 76 × 76

116 × 45 × 25

Масса, г

100

170

810

300

800

550

150

Модели контроллеров

ADC

ADC Enhanced

TAG

TIC Instruments Controller

TIC Turbo & Instruments Controller

1575

Количество каналов

1

2

1

3, 6

3

1

Индикация

LED-дисплей (3 значения + степень)

LCD-дисплей

LED-дисплей (5 значений)

Поддерживаемые датчики

APG100, APGX-H, WRG

APG100, APGX-H, WRG, AIM, ASG

APG100, APGX-H, WRG, AIM, ASG

APG100, APGX-H, ASG, AIM, WRG, AIGX, Barocel

APG100, APGX-H, ASG, AIM, WRG, AIGX

Barocel

Реле

-

2

-

3, 6

3

4

Интерфейс

-

RS232, 2 аналоговых выходных сигнала 0-10 В

-

RS232, RS485, 3 или 6 аналоговых выходных сигналов 0-10 В

RS232, RS485, 3 аналоговых выходных сигналов 0-10 В

RS232, 1 аналоговый выходной сигнал с датчика

Размеры, мм

159 × 96 × 43

165 × 96 × 48

125 × 79 × 79

250 × 106 × 128

120 × 91 × 44

Масса, кг

0,33

0,3

1,7

1,8

1

Серия

Серия APR

Серии CMR
и CCR

Серия PCR

Серия TPR

Серия IKR

Серия PKR

Серия IMR

Серия PBR

Тип сенсора

Пьезо

Мембранно-ёмкостные

Пирани / Ёмкостные

Пирани

Холодный
катод

Пирани / Холодный
катод

Горячий катод

Пирани / Горячий катод

Диапазон измерений, мбар

10^-1 - 55 000

10^-5 - 1 100

5*10^-5 - 1500

5*10^-4 - 1000

5*10^-11 - 0,01

5*10^-9 - 1000

2*10^-6 - 1000

5*10^-10 - 1000

Модель

TPG 201

TPG 261

TPG 262

TPG 265F

Количество
подключаемых датчиков

1 встроенный датчик Пирани
с фланцем DN 16 ISO-KF,
работает от батареек

1

2

6

Интерфейс

-

RS232C, 2 реле, аналоговый выход

RS232C, по 2 реле на канал, аналоговый выход

RS232C или RS232C, RS422, RS422 изолир., RS485 изолир., по 2 реле на канал, аналоговый выход

Модель

CPT 200

RPT 200

PPT 200

MPT 200

HPT 200

Тип сенсора

Пьезо

Пьезо/Пирани

Пирани

Пирани/Холодный катод

Пирани/Горяий катод (иридиевый с иттриевым покрытием)

Фланцы

DN16KF
G 1/4”

DN16KF
DN16CF

DN16KF
DN16CF

DN25KF
DN40KF
DN40CF

DN40KF
DN40CF

Интерфейс

Диапазон измерения, мбар

1-2 000

10-4-1 200

10-4-1 000

5*10^-9-1 000

5*10^-10-1 000

Точность

±0,1% полной шкалы в диапазоне
1-1200 мбар,
±1% полной шкалы при давлении > 1200 мбар

фактор 2 в диапазоне
< 2*10-3 мбар,
±5% от считываемого значения в диапазоне 2*10-3-10 мбар 
±0,3% полной шкалы в диапазоне 10-1200 мбар

фактор 2 в диапазоне
< 2*10-3 мбар,
±10% от считываемого значения в диапазоне 2*10-3-20 мбар 
±30% от считываемого значения в диапазоне 20-1000 мбар

±25% от считываемого значения в диапазоне 10-8..2*10-3 мбар
±10% от считываемого значения в диапазоне 2*10-3..10 мбар
±30% от считываемого значения в диапазоне 10-1000 мбар

±10% от считываемого значения в диапазоне 10-8..1 мбар
±30% от считываемого значения в диапазоне 1-1000 мбар

Воспроизводимость

±1% от считываемого значения в диапазоне 2*10-3..10 мбар
±0,1% полной шкалы в диапазоне 10 - 1200 мбар

±2% от считываемого значения в диапазоне
2*10-3 – 10 мбар

±7% от считываемого значения в диапазоне
10-8 – 10-2 мбар
±2% от считываемого значения в диапазоне
10-2 – 10 мбар

±5% от считываемого значения в диапазоне
10-8 – 10-2 мбар
±2% от считываемого значения в диапазоне
10-2 – 10 мбар

Питание, В

24

24

24

24

24

Материалы, обращённые в вакуум

Керамика, нержавеющая сталь, FPM

Вольфрам, нержавеющая сталь, оксид кремния, стекло

Вольфрам, нержавеющая сталь, стекло

Вольфрам, нержавеющая сталь, никель, молибден, стекло

Вольфрам, нержавеющая сталь, никель, стекло, керамика

Максимальное давление, атм

4

4

4

4

4

Температутра отжига, ^оС

70

125

125

180 на фланце

180 на фланце

Рабочая температура, ^оС

5-60

5-60

5-60

5-60

5-60

Максимальная длина кабеля, м

100

100

100

100

100

Потребляемая мощность, Вт

1,5

2,5

2,5

3,0

7,5

Масса, кг

0,19

0,195

0,19

0,555

0,475

Цикл измерения, мс

10

10

10

10

10

Модель

TPR 010

TPR 017

TPR 018

IKR 050

IKR 060

IKR 070

Тип сенсора

Пирани

Пирани

Пирани

Холодный катод

Холодный катод

Холодный катод

Фланцы

DN10 ISO-KF

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-F

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-F
DN 40 CF-F

DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F

DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F

DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F

Диапазон измерения, мбар

8*10^-4 - 1 000

8*10^-4 - 1 000

8*10^-4 - 1 000

2*10^-9 - 5*10^-3

10^-10 - 5*10^-3

10^-11 - 5*10^-3

Точность

±10% от считываемого
значения в диапазоне
10^-2 - 100 мбар

±10% от считываемого
значения в диапазоне
10^-2 - 100 мбар

Радиационная стойкость, Грэй

-

104

104

107

107

107

Материалы, обращённые в вакуум

Нержавеющая сталь

Нержавеющая сталь

Нержавеющая сталь, Al2O3

Нержавеющая сталь, Al2O3

Нержавеющая сталь, Al2O3

Нержавеющая сталь, Al2O3

Максимальное давление, атм

9

9

9

9

9

9

Температура отжига, макс.,^оС

100

250

250

250

250

250

Рабочая температура, ^оС

0 - 70

0 - 80

0 - 120

5 - 150

5 - 250

5 - 250

Максимальная длина кабеля, м

50

50

50

100

100

100

Масса, кг

0,14

0,6

0,6

0,6

0,6

0,6

Модели датчиков

Тепловые

Ионизационные

CVG-101

IGM-400

Диапазон измерения, мбар

атм…10^-4

6,7·10^-2…1,3·10^-9

Погрешность, %

±15

±10

Входной фланец

NW16, NW25, NW40, CF16, CF40, резьба 1/8”

Потребляемая мощность, Вт

1

2

Электрическое соединение

5-контактный разъем

D-SUB 9

Размеры, мм

91 × 29 × 29

82 × 71 × 68

Масса, г

85

270

Модели датчиков

Тепловые

Ионизационные

Инверсно-магнетронные

Широкодиапазонные

CVM-201

CVM-211

IGM-401

CCM-501

IGM-402

Диапазон измерения, мбар

атм…10^-4

6,7·10^-2…1,3·10^-9

1,3·10^-2…1,3·10^-8

атм…1,3·10^-9

Погрешность, %

±15

±10

±30

±15 при p = атм…10^-4,

±10 при p = 10^-4…1,3·10^-9

Входной фланец

NW16, NW25, NW40, CF16, CF40, резьба 1/8”

Потребляемая мощность, Вт

2,1

2

3

7,2

16

Индикация

LCD-дисплей

LED-дисплей   (3-х разрядный)

LCD-дисплей

Реле

2

1

1

1

3

Интерфейсы

RS232/RS485, аналоговый выходной сигнал

Аналоговый выходной сигнал

RS485, аналоговый выходной сигнал 0-9 В

RS485, аналоговый выходной сигнал  0-8 В

RS485, 3 настраиваемых аналоговый выходных сигнала

Электрическое соединение

D-SUB 9

Размеры, мм

105 × 90 × 35

105 × 48 × 48

82 × 71 × 68

97 × 88 × 71

82 × 71 × 68

Масса, г

340

136

270

770

270

Модели контроллеров

VGC-301

B-RAX 3000/3100

FlexRax 4000

Количество каналов

1

3

1

Индикация

OLED-дисплей

3 независимых LED-дисплея + LCD-дисплей управления

LCD-дисплей

Поддерживаемые датчики

CVG-101

CVG-101, IGM-400

До 4-х IGM-400, до 4-х CVG-101, до 2-х мембранно-емкостных датчиков одновременно

Реле

2

3

До 16

Интерфейс

RS232/RS485, настраиваемый аналоговый выходной сигнал

Настраиваемый аналоговый выходной сигнал

RS232/RS485, до 8 настраиваемых аналоговых выходных сигналов

Размеры, мм

96 × 91 × 50

183 × 208 × 78

484 × 347 × 89

Масса, кг

0,25

1,62

5,5