;

Установки типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Установки вакуумного напыления типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Установки вакуумного напыления типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Установки вакуумного напыленияДанная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки. 

Современные технологические процессы требуют современных высокотехнологичных решений. Так, с целью создания уникальных материалов, на одном из предприятий авиакосмической промышленности при участии ведущих специалистов ряда отечественных предприятий в 1995 году была создана современная установка для нанесения покрытий МАП-1. В последствии данная установка подвергалась неоднократной модернизации, что привело к созданию модификаций МАП-2 и МАП-3.

НПО «ГКМП» изготавливает подобные установки с 2012 года. Опираясь на имеющийся опыт изготовления вакуумных камер, подвижных механизмов в вакууме, герметичных вводов, откачных систем, можно смело заявить, что на данный момент возможно изготовление установок нанесения покрытий в вакууме практически любой конфигурации, требующейся заказчику. Собственное высокотехнологическое производство, вакуумная лаборатория, оснащённая современным оборудованием, а также опыт конструкторских разработок в данном направлении позволяют создать требуемую установку в достаточно сжатые сроки, не завышая при этом стоимости готового оборудования.

При необходимости имеется возможность создания установки с боксовой загрузкой. Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.

Наименование параметра Значение
Количество камер в установке: 1
Форма рабочей камеры: цилиндрическая, прямоугольная
Габариты рабочей зоны камеры:

- диаметр, мм:

- длина, мм:

300...1500

500...2000

Температура подогрева подложек, оС: 50...400
Метод распыления материала: резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление
Материалы подложек: металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины
Материалы нанесения: металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения
Толщина наносимого покрытия, мкм: 0,001...500 (определяется технологией)
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом: имеется
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе: имеется
Типы применяемых откачных систем: масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)
Типы датчиков контроля толщины напыления: вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный
Расположение подложек в камере: произвольное, определяется техпроцессом
Возможность карусельной обработки подложек: имеется
Возможность двустороннего нанесения: имеется

Документы

СМК Декларации Патенты Сертификаты Каталоги продукции Уведомления Раскрытие информации Справочная информация
Сертификат СМК. Страница 1
Сертификат СМК. Страница 2
СМК. Дорожная техника
+7 (4832) 58-19-66