ООО «НПО «ГКМП» производит установки вакуумного напыления преимущественно резистивного и магнетронного типов. По предварительному согласованию с заказчиком возможно изготовление УВН с электронно-лучевым испарением. Благодаря собственному производству нагревательных элементов, магнетронов, вакуумных камер, герметичных вводов, транспортных боксов, механизмов передачи усилия и прочих высокотехнологичных элементов, заказчик имеет возможность получить установку вакуумного напыления необходимой ему конфигурации.
Процессы нанесения тонких плёнок в вакууме лежат в основе большинства технологий современной микроэлектроники, авиастроения, приборостроения, металлообработки, медицины, атомной энергетики. Подавляющее большинство передовых конструкционных материалов, используемых в самых ответственных изделиях, созданы при помощи установок вакуумного напыления.
Преимущества установок, производимых ООО «НПО «ГКМП»:
Область применения: основные процессы при производстве современных электронных микросхем, конденсаторов, полупроводниковых элементов, электровакуумных приборов, нанесение защитного покрытия на металлообрабатывающий инструмент, нанесение антифрикционного покрытия на детали машин, медицина, декоративные покрытия и пр.
Во времена Советского Союза для собственных нужд электронной, авиакосмической, атомной промышленности было произведено много установок типа УВН-71 (цилиндрическая камера с вертикальным подъёмом колпака), УВН-74 (цилиндрическая горизонтальная камера с открывающейся круглой фланцевой дверью), РЭ-70, ВУ-1, ВУ-2, Оратория (камера с прямоугольной фланцевой дверью) и пр. Несмотря на то, что данные установки морально (а зачастую и физически) устарели, многие из них используются в современном производстве, а с учётом отлаженных технологических процессов переход на современные установки потребует колоссальных вложений и займёт много времени.
НПО «ГКМП» предлагает создание аналогичных установок с габаритными характеристиками камеры и подколпачной оснастки полностью идентичными существующим, но при этом оснащённых новейшей автоматизированной системой управления, откачной вакуумной системой, системой контроля параметров процесса напыления. Данные установки заменят имеющиеся без необходимости изменения техпроцесса, а применяемые современные комплектующие и материалы позволят увеличить срок службы и упростить обслуживание и ремонтопригодность. Также возможен вариант глубокой модернизации имеющихся установок, в процессе которого изменению подвергнутся только те системы, замена которых востребована заказчиком.
- диаметр, мм:
- длина, мм:
150...600
200...1000
Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.
Современные технологические процессы требуют современных высокотехнологичных решений. Так, с целью создания уникальных материалов, на одном из предприятий авиакосмической промышленности при участии ведущих специалистов ряда отечественных предприятий в 1995 году была создана современная установка для нанесения покрытий МАП-1. В последствии данная установка подвергалась неоднократной модернизации, что привело к созданию модификаций МАП-2 и МАП-3.
НПО «ГКМП» изготавливает подобные установки с 2012 года. Опираясь на имеющийся опыт изготовления вакуумных камер, подвижных механизмов в вакууме, герметичных вводов, откачных систем, можно смело заявить, что на данный момент возможно изготовление установок нанесения покрытий в вакууме практически любой конфигурации, требующейся заказчику. Собственное высокотехнологическое производство, вакуумная лаборатория, оснащённая современным оборудованием, а также опыт конструкторских разработок в данном направлении позволяют создать требуемую установку в достаточно сжатые сроки, не завышая при этом стоимости готового оборудования.
При необходимости имеется возможность создания установки с боксовой загрузкой. Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.
300...1500
500...2000
Ваше письмо отправлено!
