Установки вакуумного напыления
Установки вакуумного напыления используются в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также в оптическом и электронном приборостроении. Они применяются для нанесения тонких пленок различных материалов на подложки. Это позволяет создавать слои с различными свойствами, такими как проводимость, оптическая прозрачность или отражающая способность.
Процесс вакуумного напыления происходит в условиях глубокого вакуума, что обеспечивает чистоту и качество наносимых пленок. Установки состоят из следующих основных компонентов:
- Источник материалов - это могут быть катушки с проволокой, лотки с порошком или другие источники материалов для напыления.
- Система подачи материалов - включает в себя механизмы для перемещения материалов от источника к подложке.
- Камера для напыления - представляет собой вакуумный сосуд, оборудованный напылительными головками и подложкодержателями.
- Напылительные головки - это устройства, которые создают поток напыляемого материала и направляют его на подложку.
- Система управления - контролирует все параметры процесса напыления, такие как температура подложки, давление в камере, скорость напыления и другие.
- Вакуумная система - обеспечивает создание и поддержание глубокого вакуума в камере для напыления. Она включает в себя насосы, клапаны, датчики давления и другие элементы.
Установки вакуумного напыления могут быть различных размеров и конфигураций, в зависимости от требуемой производительности и типа наносимых материалов. Некоторые из них способны работать с несколькими подложками одновременно, что позволяет увеличить производительность и снизить стоимость процесса.
ООО «НПО «ГКМП» производит установки вакуумного напыления преимущественно резистивного и магнетронного типов. По предварительному согласованию с заказчиком возможно изготовление УВН с электронно-лучевым испарением. Благодаря собственному производству нагревательных элементов, магнетронов, вакуумных камер, герметичных вводов, транспортных боксов, механизмов передачи усилия и прочих высокотехнологичных элементов, заказчик имеет возможность получить установку вакуумного напыления необходимой ему конфигурации.
Процессы нанесения тонких плёнок в вакууме лежат в основе большинства технологий современной микроэлектроники, авиастроения, приборостроения, металлообработки, медицины, атомной энергетики. Подавляющее большинство передовых конструкционных материалов, используемых в самых ответственных изделиях, созданы при помощи установок вакуумного напыления.
Преимущества установок, производимых ООО «НПО «ГКМП»:
- отсутствие модельного ряда, индивидуальное производство;
- разнообразие подколпачной и внутрикамерной механики;
- возможность двустороннего напыления с нити в малом объёме;
- возможность создания гибридных установок;
- подбор основных комплектующих согласованно с заказчиком;
- производство на территории Российской Федерации;
- уникальная культура производства;
- безусловные гарантии производителя.
Область применения: основные процессы при производстве современных электронных микросхем, конденсаторов, полупроводниковых элементов, электровакуумных приборов, нанесение защитного покрытия на металлообрабатывающий инструмент, нанесение антифрикционного покрытия на детали машин, медицина, декоративные покрытия и пр.
В ООО "НПО "ГКМП" вы можете купить установку вакуумного напыления с нестандартными габаритами рабочей зоны по спецификации заказчика.
Установки вакуумного напыления типа УВН-71, УВН-74
Во времена Советского Союза для собственных нужд электронной, авиакосмической, атомной промышленности было произведено много установок типа УВН-71 (цилиндрическая камера с вертикальным подъёмом колпака), УВН-74 (цилиндрическая горизонтальная камера с открывающейся круглой фланцевой дверью), РЭ-70, ВУ-1, ВУ-2, Оратория (камера с прямоугольной фланцевой дверью) и пр. Несмотря на то, что данные установки морально (а зачастую и физически) устарели, многие из них используются в современном производстве, а с учётом отлаженных технологических процессов переход на современные установки потребует колоссальных вложений и займёт много времени.
ООО "НПО "ГКМП" предлагает создание аналогичных установок вакуумного напыления УВН с габаритными характеристиками камеры и подколпачной оснастки полностью идентичными существующим, но при этом оснащённых новейшей автоматизированной системой управления, откачной вакуумной системой, системой контроля параметров процесса напыления. Данные установки заменят имеющиеся без необходимости изменения техпроцесса, а применяемые современные комплектующие и материалы позволят увеличить срок службы и упростить обслуживание и ремонтопригодность. Также возможен вариант глубокой модернизации имеющихся установок, в процессе которого изменению подвергнутся только те системы, замена которых востребована заказчиком.
Почему мы?
ООО «НПО «ГКМП» специализируется на индивидуальной разработке и производстве промышленных установок вакуумного напыления. Работаем по согласованному техническому заданию, с использованием установленных норм и требований.
Сотрудничество с ООО «НПО «ГКМП», это:
- Единичное производство «под заказ». Разрабатываем и производим оборудование по техническому заданию заказчика и соответствующее техническим нормам и требованиям.
- Широкий ассортимент продукции. Благодаря многолетнему опыту и налаженному сотрудничеству с предприятиями, мы регулярно расширяем спектр решенных задач.
- Полный спектр услуг. Мы не только производим оборудование, но и предоставляем дополнительные услуги: от пуско-наладочных работ до последующего сервисного обслуживания.
- Высокое качество. Работаем только с качественным сырьем, соблюдаем установленные технологии.
- Квалифицированный персонал. Опытные специалисты выполнят заказ любой сложности.
- Доступный ценовой сегмент. Стоимость рассчитывается в зависимости от требований, указанных в техническом задании.
В ООО «НПО «ГКМП» можно купить установку вакуумного напыления, а также другие типы термического оборудования с нестандартными габаритами рабочей зоны, с учетом спецификации заказчика.
Количество камер в установке |
1 |
Форма рабочей камеры |
цилиндрическая |
Габариты рабочей зоны камеры:
диаметр, мм высота, мм |
150-600 200-1000 |
Температура подогрева подложек, оС |
50-400 |
Метод распыления материала |
резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление |
Материалы подложек |
металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины |
Материалы нанесения |
металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения |
Толщина наносимого покрытия, мкм |
0.001-500 (определяется технологией) |
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом |
имеется |
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе |
имеется |
Типы применяемых откачных систем |
масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы) |
Типы датчиков контроля толщины напыления |
вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный |
Расположение подложек в камере |
вертикальное, горизонтальное |
Возможность карусельной обработки подложек |
имеется |
Возможность двустороннего нанесения |
имеется |
Возможность нанесения в ограниченном объёме |
имеется |
Установки вакуумного напыления
Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.
Современные технологические процессы требуют современных высокотехнологичных решений. Так, с целью создания уникальных материалов, на одном из предприятий авиакосмической промышленности при участии ведущих специалистов ряда отечественных предприятий в 1995 году была создана современная установка для нанесения покрытий. В последствии данная установка подвергалась неоднократной модернизации, что привело к созданию модификаций.
«НПО «ГКМП» изготавливает подобные установки с 2012 года. Опираясь на имеющийся опыт изготовления вакуумных камер, подвижных механизмов в вакууме, герметичных вводов, откачных систем, можно смело заявить, что на данный момент возможно изготовление установок нанесения покрытий в вакууме практически любой конфигурации, требующейся заказчику. Собственное высокотехнологическое производство, вакуумная лаборатория, оснащённая современным оборудованием, а также опыт конструкторских разработок в данном направлении позволяют создать требуемую установку в достаточно сжатые сроки, не завышая при этом стоимости готового оборудования.
При необходимости имеется возможность создания установки с боксовой загрузкой. Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.
Почему мы?
ООО «НПО «ГКМП» специализируется на индивидуальной разработке и производстве промышленных установок вакуумного напыления. Работаем по согласованному техническому заданию, с использованием установленных норм и требований.
Сотрудничество с ООО «НПО «ГКМП», это:
- Единичное производство «под заказ». Разрабатываем и производим оборудование по техническому заданию заказчика и соответствующее техническим нормам и требованиям.
- Широкий ассортимент продукции. Благодаря многолетнему опыту и налаженному сотрудничеству с предприятиями, мы регулярно расширяем спектр решенных задач.
- Полный спектр услуг. Мы не только производим оборудование, но и предоставляем дополнительные услуги: от пуско-наладочных работ до последующего сервисного обслуживания.
- Высокое качество. Работаем только с качественным сырьем, соблюдаем установленные технологии.
- Квалифицированный персонал. Опытные специалисты выполнят заказ любой сложности.
- Доступный ценовой сегмент. Стоимость рассчитывается в зависимости от требований, указанных в техническом задании.
В ООО «НПО «ГКМП» можно купить установку вакуумного напыления, а также другие типы термического оборудования с нестандартными габаритами рабочей зоны, с учетом спецификации заказчика.
Количество камер в установке |
1 |
Форма рабочей камеры |
цилиндрическая, прямоугольная |
Габариты рабочей зоны камеры:
диаметр, мм высота, мм |
300-1500 500-2000 |
Температура подогрева подложек, оС |
50-400 |
Метод распыления материала |
резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление |
Материалы подложек |
металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины |
Материалы нанесения |
металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения |
Толщина наносимого покрытия, мкм |
0.001-500 (определяется технологией) |
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом |
имеется |
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе |
имеется |
Типы применяемых откачных систем |
масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы) |
Типы датчиков контроля толщины напыления |
вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный |
Расположение подложек в камере |
произвольное, определяется техпроцессом |
Возможность карусельной обработки подложек |
имеется |
Возможность двустороннего нанесения |
имеется |