Установки вакуумного напыления используются в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также в оптическом и электронном приборостроении. Они применяются для нанесения тонких пленок различных материалов на подложки. Это позволяет создавать слои с различными свойствами, такими как проводимость, оптическая прозрачность или отражающая способность.


Процесс вакуумного напыления происходит в условиях глубокого вакуума, что обеспечивает чистоту и качество наносимых пленок. Установки состоят из следующих основных компонентов:

 

  • Источник материалов - это могут быть катушки с проволокой, лотки с порошком или другие источники материалов для напыления.
  • Система подачи материалов - включает в себя механизмы для перемещения материалов от источника к подложке.
  • Камера для напыления - представляет собой вакуумный сосуд, оборудованный напылительными головками и подложкодержателями.
  • Напылительные головки - это устройства, которые создают поток напыляемого материала и направляют его на подложку.
  • Система управления - контролирует все параметры процесса напыления, такие как температура подложки, давление в камере, скорость напыления и другие.
  • Вакуумная система - обеспечивает создание и поддержание глубокого вакуума в камере для напыления. Она включает в себя насосы, клапаны, датчики давления и другие элементы.

Установки вакуумного напыления могут быть различных размеров и конфигураций, в зависимости от требуемой производительности и типа наносимых материалов. Некоторые из них способны работать с несколькими подложками одновременно, что позволяет увеличить производительность и снизить стоимость процесса.

ООО «НПО «ГКМП» производит установки вакуумного напыления преимущественно резистивного и магнетронного типов. По предварительному согласованию с заказчиком возможно изготовление УВН с электронно-лучевым испарением. Благодаря собственному производству нагревательных элементов, магнетронов, вакуумных камер, герметичных вводов, транспортных боксов, механизмов передачи усилия и прочих высокотехнологичных элементов, заказчик имеет возможность получить установку вакуумного напыления необходимой ему конфигурации.


Процессы нанесения тонких плёнок в вакууме лежат в основе большинства технологий современной микроэлектроники, авиастроения, приборостроения, металлообработки, медицины, атомной энергетики. Подавляющее большинство передовых конструкционных материалов, используемых в самых ответственных изделиях, созданы при помощи установок вакуумного напыления.


Преимущества установок, производимых ООО «НПО «ГКМП»:


  • отсутствие модельного ряда, индивидуальное производство;
  • разнообразие подколпачной и внутрикамерной механики;
  • возможность двустороннего напыления с нити в малом объёме;
  • возможность создания гибридных установок;
  • подбор основных комплектующих согласованно с заказчиком;
  • производство на территории Российской Федерации;
  • уникальная культура производства;
  • безусловные гарантии производителя.

Область применения: основные процессы при производстве современных электронных микросхем, конденсаторов, полупроводниковых элементов, электровакуумных приборов, нанесение защитного покрытия на металлообрабатывающий инструмент, нанесение антифрикционного покрытия на детали машин, медицина, декоративные покрытия и пр.


В ООО "НПО "ГКМП" вы можете купить установку вакуумного напыления с нестандартными габаритами рабочей зоны по спецификации заказчика.

Установки вакуумного напыления типа УВН-71, УВН-74

Установки вакуумного напыления

Установки вакуумного напыления типа УВН-71, УВН-74

Установки типа УВН-71, УВН-74

Во времена Советского Союза для собственных нужд электронной, авиакосмической, атомной промышленности было произведено много установок типа УВН-71 (цилиндрическая камера с вертикальным подъёмом колпака), УВН-74 (цилиндрическая горизонтальная камера с открывающейся круглой фланцевой дверью), РЭ-70, ВУ-1, ВУ-2, Оратория (камера с прямоугольной фланцевой дверью) и пр. Несмотря на то, что данные установки морально (а зачастую и физически) устарели, многие из них используются в современном производстве, а с учётом отлаженных технологических процессов переход на современные установки потребует колоссальных вложений и займёт много времени.


ООО "НПО "ГКМП" предлагает создание аналогичных установок вакуумного напыления УВН с габаритными характеристиками камеры и подколпачной оснастки полностью идентичными существующим, но при этом оснащённых новейшей автоматизированной системой управления, откачной вакуумной системой, системой контроля параметров процесса напыления. Данные установки заменят имеющиеся без необходимости изменения техпроцесса, а применяемые современные комплектующие и материалы позволят увеличить срок службы и упростить обслуживание и ремонтопригодность. Также возможен вариант глубокой модернизации имеющихся установок, в процессе которого изменению подвергнутся только те системы, замена которых востребована заказчиком.



Почему мы?


ООО «НПО «ГКМП» специализируется на индивидуальной разработке и производстве промышленных установок вакуумного напыления. Работаем по согласованному техническому заданию, с использованием установленных норм и требований.


Сотрудничество с ООО «НПО «ГКМП», это:


  • Единичное производство «под заказ». Разрабатываем и производим оборудование по техническому заданию заказчика и соответствующее техническим нормам и требованиям.
  • Широкий ассортимент продукции. Благодаря многолетнему опыту и налаженному сотрудничеству с предприятиями, мы регулярно расширяем спектр решенных задач.
  • Полный спектр услуг. Мы не только производим оборудование, но и предоставляем дополнительные услуги: от пуско-наладочных работ до последующего сервисного обслуживания.
  • Высокое качество. Работаем только с качественным сырьем, соблюдаем установленные технологии.
  • Квалифицированный персонал. Опытные специалисты выполнят заказ любой сложности.
  • Доступный ценовой сегмент. Стоимость рассчитывается в зависимости от требований, указанных в техническом задании.


В ООО «НПО «ГКМП» можно купить установку вакуумного напыления, а также другие типы термического оборудования с нестандартными габаритами рабочей зоны, с учетом спецификации заказчика.


Количество камер в установке

1

Форма рабочей камеры

цилиндрическая

Габариты рабочей зоны камеры:

диаметр, мм

высота, мм

150-600

200-1000

Температура подогрева подложек, оС

50-400

Метод распыления материала

резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление

Материалы подложек

металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины

Материалы нанесения

металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения

Толщина наносимого покрытия, мкм

0.001-500 (определяется технологией)

Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом

имеется

Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе

имеется

Типы применяемых откачных систем

масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)

Типы датчиков контроля толщины напыления

вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный

Расположение подложек в камере

вертикальное, горизонтальное

Возможность карусельной обработки подложек

имеется

Возможность двустороннего нанесения

имеется

Возможность нанесения в ограниченном объёме

имеется

Установки вакуумного напыления

Установки вакуумного напыления

Установки вакуумного напыления

Установки вакуумного напыления

Установки вакуумного напыленияДанная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.


Современные технологические процессы требуют современных высокотехнологичных решений. Так, с целью создания уникальных материалов, на одном из предприятий авиакосмической промышленности при участии ведущих специалистов ряда отечественных предприятий в 1995 году была создана современная установка для нанесения покрытий. В последствии данная установка подвергалась неоднократной модернизации, что привело к созданию модификаций.


«НПО «ГКМП» изготавливает подобные установки с 2012 года. Опираясь на имеющийся опыт изготовления вакуумных камер, подвижных механизмов в вакууме, герметичных вводов, откачных систем, можно смело заявить, что на данный момент возможно изготовление установок нанесения покрытий в вакууме практически любой конфигурации, требующейся заказчику. Собственное высокотехнологическое производство, вакуумная лаборатория, оснащённая современным оборудованием, а также опыт конструкторских разработок в данном направлении позволяют создать требуемую установку в достаточно сжатые сроки, не завышая при этом стоимости готового оборудования.


При необходимости имеется возможность создания установки с боксовой загрузкой. Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.


Почему мы?


ООО «НПО «ГКМП» специализируется на индивидуальной разработке и производстве промышленных установок вакуумного напыления. Работаем по согласованному техническому заданию, с использованием установленных норм и требований.


Сотрудничество с ООО «НПО «ГКМП», это:


  • Единичное производство «под заказ». Разрабатываем и производим оборудование по техническому заданию заказчика и соответствующее техническим нормам и требованиям.
  • Широкий ассортимент продукции. Благодаря многолетнему опыту и налаженному сотрудничеству с предприятиями, мы регулярно расширяем спектр решенных задач.
  • Полный спектр услуг. Мы не только производим оборудование, но и предоставляем дополнительные услуги: от пуско-наладочных работ до последующего сервисного обслуживания.
  • Высокое качество. Работаем только с качественным сырьем, соблюдаем установленные технологии.
  • Квалифицированный персонал. Опытные специалисты выполнят заказ любой сложности.
  • Доступный ценовой сегмент. Стоимость рассчитывается в зависимости от требований, указанных в техническом задании.


В ООО «НПО «ГКМП» можно купить установку вакуумного напыления, а также другие типы термического оборудования с нестандартными габаритами рабочей зоны, с учетом спецификации заказчика.


Количество камер в установке

1

Форма рабочей камеры

цилиндрическая, прямоугольная

Габариты рабочей зоны камеры:

диаметр, мм

высота, мм

300-1500

500-2000

Температура подогрева подложек, оС

50-400

Метод распыления материала

резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление

Материалы подложек

металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины

Материалы нанесения

металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения

Толщина наносимого покрытия, мкм

0.001-500 (определяется технологией)

Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом

имеется

Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе

имеется

Типы применяемых откачных систем

масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)

Типы датчиков контроля толщины напыления

вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный

Расположение подложек в камере

произвольное, определяется техпроцессом

Возможность карусельной обработки подложек

имеется

Возможность двустороннего нанесения

имеется

Документы

Заказ продукции/услуги
Заказать обратный звонок
Подробно расскажем о наших товарах, видах и стоимости доставки, подготовим индивидуальное предложение для оптовых клиентов!