;

ООО «НПО «ГКМП» производит установки вакуумного напыления преимущественно резистивного и магнетронного типов. По предварительному согласованию с заказчиком возможно изготовление УВН с электронно-лучевым испарением. Благодаря собственному производству нагревательных элементов, магнетронов, вакуумных камер, герметичных вводов, транспортных боксов, механизмов передачи усилия и прочих высокотехнологичных элементов, заказчик имеет возможность получить установку вакуумного напыления необходимой ему конфигурации.

Процессы нанесения тонких плёнок в вакууме лежат в основе большинства технологий современной микроэлектроники, авиастроения, приборостроения, металлообработки, медицины, атомной энергетики. Подавляющее большинство передовых конструкционных материалов, используемых в самых ответственных изделиях, созданы при помощи установок вакуумного напыления.

Преимущества установок, производимых ООО «НПО «ГКМП»:

  • отсутствие модельного ряда, индивидуальное производство;
  • разнообразие подколпачной и внутрикамерной механики;
  • возможность двустороннего напыления с нити в малом объёме;
  • возможность создания гибридных установок;
  • подбор основных комплектующих согласованно с заказчиком;
  • производство на территории Российской Федерации;
  • уникальная культура производства;
  • безусловные гарантии производителя.

Область применения: основные процессы при производстве современных электронных микросхем, конденсаторов, полупроводниковых элементов, электровакуумных приборов, нанесение защитного покрытия на металлообрабатывающий инструмент, нанесение антифрикционного покрытия на детали машин, медицина, декоративные покрытия и пр.

Установки вакуумного напыления типа УВН-71, УВН-74

Установки выкуумного напыления

Установки вакуумного напыления типа УВН-71, УВН-74

Установки типа УВН-71, УВН-74

Во времена Советского Союза для собственных нужд электронной, авиакосмической, атомной промышленности было произведено много установок типа УВН-71 (цилиндрическая камера с вертикальным подъёмом колпака), УВН-74 (цилиндрическая горизонтальная камера с открывающейся круглой фланцевой дверью), РЭ-70, ВУ-1, ВУ-2, Оратория (камера с прямоугольной фланцевой дверью) и пр. Несмотря на то, что данные установки морально (а зачастую и физически) устарели, многие из них используются в современном производстве, а с учётом отлаженных технологических процессов переход на современные установки потребует колоссальных вложений и займёт много времени.

НПО «ГКМП» предлагает создание аналогичных установок с габаритными характеристиками камеры и подколпачной оснастки полностью идентичными существующим, но при этом оснащённых новейшей автоматизированной системой управления, откачной вакуумной системой, системой контроля параметров процесса напыления. Данные установки заменят имеющиеся без необходимости изменения техпроцесса, а применяемые современные комплектующие и материалы позволят увеличить срок службы и упростить обслуживание и ремонтопригодность. Также возможен вариант глубокой модернизации имеющихся установок, в процессе которого изменению подвергнутся только те системы, замена которых востребована заказчиком.


Наименование параметра Значение
Количество камер в установке: 1
Форма рабочей камеры: цилиндрическая
Габариты рабочей зоны камеры:

- диаметр, мм:

- длина, мм:

150...600

200...1000

Температура подогрева подложек, оС: 50...400
Метод распыления материала: резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление
Материалы подложек: металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины
Материалы нанесения: металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения
Толщина наносимого покрытия, мкм: 0,001...500 (определяется технологией)
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом: имеется
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе: имеется
Типы применяемых откачных систем: масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)
Типы датчиков контроля толщины напыления: вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный
Расположение подложек в камере: вертикальное, горизонтальное
Возможность карусельной обработки подложек: имеется
Возможность двустороннего нанесения: имеется
Возможность нанесения в ограниченном объёме: имеется

Установки вакуумного напыления типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Установки выкуумного напыления

Установки вакуумного напыления типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Установки типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Установки вакуумного напыленияДанная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки. 

Современные технологические процессы требуют современных высокотехнологичных решений. Так, с целью создания уникальных материалов, на одном из предприятий авиакосмической промышленности при участии ведущих специалистов ряда отечественных предприятий в 1995 году была создана современная установка для нанесения покрытий МАП-1. В последствии данная установка подвергалась неоднократной модернизации, что привело к созданию модификаций МАП-2 и МАП-3.

НПО «ГКМП» изготавливает подобные установки с 2012 года. Опираясь на имеющийся опыт изготовления вакуумных камер, подвижных механизмов в вакууме, герметичных вводов, откачных систем, можно смело заявить, что на данный момент возможно изготовление установок нанесения покрытий в вакууме практически любой конфигурации, требующейся заказчику. Собственное высокотехнологическое производство, вакуумная лаборатория, оснащённая современным оборудованием, а также опыт конструкторских разработок в данном направлении позволяют создать требуемую установку в достаточно сжатые сроки, не завышая при этом стоимости готового оборудования.

При необходимости имеется возможность создания установки с боксовой загрузкой. Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.

Наименование параметра Значение
Количество камер в установке: 1
Форма рабочей камеры: цилиндрическая, прямоугольная
Габариты рабочей зоны камеры:

- диаметр, мм:

- длина, мм:

300...1500

500...2000

Температура подогрева подложек, оС: 50...400
Метод распыления материала: резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление
Материалы подложек: металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины
Материалы нанесения: металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения
Толщина наносимого покрытия, мкм: 0,001...500 (определяется технологией)
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом: имеется
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе: имеется
Типы применяемых откачных систем: масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)
Типы датчиков контроля толщины напыления: вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный
Расположение подложек в камере: произвольное, определяется техпроцессом
Возможность карусельной обработки подложек: имеется
Возможность двустороннего нанесения: имеется

Документы

СМК Декларации Патенты Сертификаты Каталоги продукции Уведомления Раскрытие информации Справочная информация
Сертификат СМК. Страница 1
Сертификат СМК. Страница 2
СМК. Дорожная техника
+7 (4832) 58-19-66