Установки вакуумного напыления
Установки вакуумного напыления
Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.
Современные технологические процессы требуют современных высокотехнологичных решений. Так, с целью создания уникальных материалов, на одном из предприятий авиакосмической промышленности при участии ведущих специалистов ряда отечественных предприятий в 1995 году была создана современная установка для нанесения покрытий. В последствии данная установка подвергалась неоднократной модернизации, что привело к созданию модификаций.
«НПО «ГКМП» изготавливает подобные установки с 2012 года. Опираясь на имеющийся опыт изготовления вакуумных камер, подвижных механизмов в вакууме, герметичных вводов, откачных систем, можно смело заявить, что на данный момент возможно изготовление установок нанесения покрытий в вакууме практически любой конфигурации, требующейся заказчику. Собственное высокотехнологическое производство, вакуумная лаборатория, оснащённая современным оборудованием, а также опыт конструкторских разработок в данном направлении позволяют создать требуемую установку в достаточно сжатые сроки, не завышая при этом стоимости готового оборудования.
При необходимости имеется возможность создания установки с боксовой загрузкой. Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.
Почему мы?
ООО «НПО «ГКМП» специализируется на индивидуальной разработке и производстве промышленных установок вакуумного напыления. Работаем по согласованному техническому заданию, с использованием установленных норм и требований.
Сотрудничество с ООО «НПО «ГКМП», это:
- Единичное производство «под заказ». Разрабатываем и производим оборудование по техническому заданию заказчика и соответствующее техническим нормам и требованиям.
- Широкий ассортимент продукции. Благодаря многолетнему опыту и налаженному сотрудничеству с предприятиями, мы регулярно расширяем спектр решенных задач.
- Полный спектр услуг. Мы не только производим оборудование, но и предоставляем дополнительные услуги: от пуско-наладочных работ до последующего сервисного обслуживания.
- Высокое качество. Работаем только с качественным сырьем, соблюдаем установленные технологии.
- Квалифицированный персонал. Опытные специалисты выполнят заказ любой сложности.
- Доступный ценовой сегмент. Стоимость рассчитывается в зависимости от требований, указанных в техническом задании.
В ООО «НПО «ГКМП» можно купить установку вакуумного напыления, а также другие типы термического оборудования с нестандартными габаритами рабочей зоны, с учетом спецификации заказчика.
Количество камер в установке |
1 |
Форма рабочей камеры |
цилиндрическая, прямоугольная |
Габариты рабочей зоны камеры:
диаметр, мм высота, мм |
300-1500 500-2000 |
Температура подогрева подложек, оС |
50-400 |
Метод распыления материала |
резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление |
Материалы подложек |
металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины |
Материалы нанесения |
металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения |
Толщина наносимого покрытия, мкм |
0.001-500 (определяется технологией) |
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом |
имеется |
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе |
имеется |
Типы применяемых откачных систем |
масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы) |
Типы датчиков контроля толщины напыления |
вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный |
Расположение подложек в камере |
произвольное, определяется техпроцессом |
Возможность карусельной обработки подложек |
имеется |
Возможность двустороннего нанесения |
имеется |