Термическая диффузия - физико-химический процесс, изменяющий структуру поверхности обрабатываемого изделия в условиях термостабилизации и контролируемой атмосферы.

В настоящее время ООО «НПО «ГКМП» является единственным отечественным производителем термодиффузионных установок типа СД.ОМ, предназначенных для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 100 мм. Возможно изготовление установок для обработки пластин диаметром до 150 мм, а так же в процессе разработки установки для термодиффузии пластин диаметром 200 мм и 300 мм.

В зависимости от требований заказчика, в термодиффузионных установках возможна реализация процессов окисления (в том числе и пирогенного) и диффузии с применением различных окислителей и диффузантов (азота, хлора, мышьяка, фосфора, бора и пр.)

Нагревательные элементы, применяемые в установках типа СД.ОМ имеют уникальную конструкцию и наматываются из проволоки специальных марок высокотемпературных сплавов (еврофехраль, фехраль). Намотка производится в горячем состоянии по специально разработанному технологическому циклу, что значительно уменьшает остаточную деформацию полученного нагревателя и продлевает срок его службы.

Особенности установок типа СД.ОМ:

• количество нагревательных камер: 2 или 3;
• максимальная температура процесса: 1250°С;
• длина рабочей тепловой зоны: 600 мм;
• погрешность распределения температурного поля: ±1°С;
• погрешность воспроизведения температуры: ±1°С;
• материал нагревательных элементов: Kanthal или еврофехраль;
• загрузка и выгрузка: ручная или с помощью встроенных загрузчиков;
• современная автоматизированная система управления процессом;
• независимая работа каждого реактора;
• энергоэффективная система силового питания нагревателей;
• точная система регулирования расхода окислителей и диффузантов.

Термокомпрессия - способ соединения металлов с металлами и неметаллами давлением с подогревом при относительно невысоких удельных давлениях.

Термокомпрессионная сварка - процесс сваривания деталей из разнородных материалов, проводимый с нагревом под давлением. Суть процесса заключается в следующем: при воздействии на обрабатываемую поверхность давления и температуры материал одной детали оседает и начинает течь по второй детали. В результате этого происходит нагрев места контакта, его очистка от оксидной пленки и других посторонних образований, максимально тесное сближение поверхностей и получение плотного сварного шва. К достоинствам описанного процесса можно отнести малую чувствительность к изменению рабочих параметров, стабильность всего процесса сварки и управляемость процессом путём контроля за давлением и температурой.

Термокомпрессионная технология применяется в порошковой металлургии для создания изделий из тугоплавких материалов, разнородных металлов и композитов. Варьируя параметры процесса можно получить детали сложной формы с идентичным составом, но разными физико-химическими свойствами.

Процессы горячего кернения и дорнования используются на ответственных участках производства сложных изделий в том случае, когда другие технологии производства не позволяют получить изделие надлежащего качества.

Термокомпрессионные установки производства НПО «ГКМП» изготавливаются по предоставленной технологической карте заказчика или строго в соответствии с техническим заданием. Благодаря наличию собственного производства электротермического оборудования, а также большого опыта в создании герметичных камер, герметичных вводов, управляемых гидроцилиндров, пневмоцилиндров и компрессионных маслостанций, возможно изготовление термокомпрессионных установок с различными значениями рабочих давлений - от нескольких килограмм до десятков тонн, и температур – до 2200°С.

Термокомпрессионные установки производства НПО «ГКМП» полностью автоматизированы. Система управления чётко отрабатывает обратные связи по температуре сварного соединения и прилагаемому усилию. Состав атмосферы или степень вакуума внутри камеры непрерывно поддерживаются на заданном уровне. Система управления полностью отрабатывает все известные аварийные и нештатные ситуации, а в случае некритического сбоя поможет успешно и безаварийно завершить техпроцесс.