Вакуумные датчики серии Active (с цифровым выходным сигналом) |
|
![]() |
![]() |
Датчик Пирани APG100-XM |
Широкодиапазонный датчик WRG |
Модели датчиков |
Тепловые |
Ионизационные |
Широкодиапазонные |
Мембранные |
||||
APG100-XM, APG-100-XLC |
APGX-H |
AIM |
AIGX |
WRG |
Barocel |
ASG2 |
||
Диапазон измерения, мбар |
атм…10-3, атм…10-4 |
атм…3·10-4 |
10-2…10-9 |
6,6·10-2… 6,6·10-10 |
атм…10-9 |
0…1, 0…10, 0…100, 0…1000 |
1…1000, 1…2000 |
|
Погрешность, % |
±15 |
±30 |
±10 |
±15 при p = атм…10-3, ±30 при p = 10-3…10-9 |
±0,15 |
0,2 |
||
Входной фланец |
NW16, NW25 |
NW16, NW25, резьба 1/8” |
NW25, CF40 |
NW25, CF16, CF40 |
NW25, CF40 |
NW16, NW25, CF16, патрубок нар.диам.1/2”, резьба 1/8” |
NW16, резьба 1/8” |
|
Потребляемая мощность, Вт |
1 |
1,5 |
2 |
7 |
2 |
7 |
0,1 |
|
Электрическое соединение |
RJ45 |
RJ45 |
RJ45, D-SUB 9 |
D-SUB 15, D-SUB 9 |
4-х контактный разъем |
|||
Размеры, мм |
83 × 25 × 41 |
75 × 56 × 56 |
125 × 79 × 79 |
96 × 70 × 70 |
106 × 65 × 65 |
150 × 76 × 76 |
116 × 45 × 25 |
|
Масса, г |
100 |
170 |
810 |
300 |
800 |
550 |
150 |
Контроллеры вакуумных датчиков |
|
![]() |
![]() |
Инверсно-магнетронный датчик AIM |
Контроллер TIC |
Модели контроллеров |
ADC |
ADC Enhanced |
TAG |
TIC Instruments Controller |
TIC Turbo & Instruments Controller |
1575 |
|
Количество каналов |
1 |
2 |
1 |
3, 6 |
3 |
1 |
|
Индикация |
LED-дисплей (3 значения + степень) |
LCD-дисплей |
LED-дисплей (5 значений) |
||||
Поддерживаемые датчики |
APG100, APGX-H, WRG |
APG100, APGX-H, WRG, AIM, ASG |
APG100, APGX-H, WRG, AIM, ASG |
APG100, APGX-H, ASG, AIM, WRG, AIGX, Barocel |
APG100, APGX-H, ASG, AIM, WRG, AIGX |
Barocel |
|
Реле |
- |
2 |
- |
3, 6 |
3 |
4 |
|
Интерфейс |
- |
RS232, 2 аналоговых выходных сигнала 0-10 В |
- |
RS232, RS485, 3 или 6 аналоговых выходных сигналов 0-10 В |
RS232, RS485, 3 аналоговых выходных сигналов 0-10 В |
RS232, 1 аналоговый выходной сигнал с датчика |
|
Размеры, мм |
159 × 96 × 43 |
165 × 96 × 48 |
125 × 79 × 79 |
250 × 106 × 128 |
120 × 91 × 44 |
||
Масса, кг |
0,33 |
0,3 |
1,7 |
1,8 |
1 |
Вакуумметры серии ActiveLine
Контроллеры вакуумметров серии ActiveLine
Вакуумметры Pfeiffer Vacuum серии DigiLine
Вакуумметры серии ModulLine
Вакуумметры серии ActiveLine | ||||||||
Серия |
Серия APR |
Серии CMR |
Серия PCR |
Серия TPR |
Серия IKR |
Серия PKR |
Серия IMR |
Серия PBR |
Тип сенсора |
Пьезо |
Мембранно-ёмкостные |
Пирани / Ёмкостные |
Пирани |
Холодный |
Пирани / Холодный |
Горячий катод |
Пирани / Горячий катод |
Диапазон измерений, мбар |
10-1 - 55 000 |
10-5 - 1 100 |
5*10-5 - 1500 |
5*10-4 - 1000 |
5*10-11 - 0,01 |
5*10-9 - 1000 |
2*10-6 - 1000 |
5*10-10 - 1000 |
Контроллеры вакуумметров серии ActiveLine | ||||
Модель |
TPG 201 |
TPG 261 |
TPG 262 |
TPG 265F |
Количество |
1 встроенный датчик Пирани |
1 |
2 |
6 |
Интерфейс |
- |
RS232C, 2 реле, аналоговый выход |
RS232C, по 2 реле на канал, аналоговый выход |
RS232C или RS232C, RS422, RS422 изолир., RS485 изолир., по 2 реле на канал, аналоговый выход |
Вакуумметры Pfeiffer Vacuum серии DigiLine | |||||
Модель |
CPT 200 |
RPT 200 |
PPT 200 |
MPT 200 |
HPT 200 |
Тип сенсора |
Пьезо |
Пьезо/Пирани |
Пирани |
Пирани/Холодный катод |
Пирани/Горяий катод (иридиевый с иттриевым покрытием) |
Фланцы |
DN16KF |
DN16KF |
DN16KF |
DN25KF |
DN40KF |
Интерфейс |
|
|
|
|
|
Диапазон измерения, мбар |
1-2 000 |
10-4-1 200 |
10-4-1 000 |
5*10-9-1 000 |
5*10-10-1 000 |
Точность |
±0,1% полной шкалы в диапазоне |
фактор 2 в диапазоне |
фактор 2 в диапазоне |
±25% от считываемого значения в диапазоне 10-8..2*10-3 мбар |
±10% от считываемого значения в диапазоне 10-8..1 мбар |
Воспроизводимость |
|
±1% от считываемого значения в диапазоне 2*10-3..10 мбар |
±2% от считываемого значения в диапазоне |
±7% от считываемого значения в диапазоне |
±5% от считываемого значения в диапазоне |
Питание, В |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
Материалы, обращённые в вакуум |
Керамика, нержавеющая сталь, FPM |
Вольфрам, нержавеющая сталь, оксид кремния, стекло |
Вольфрам, нержавеющая сталь, стекло |
Вольфрам, нержавеющая сталь, никель, молибден, стекло |
Вольфрам, нержавеющая сталь, никель, стекло, керамика |
Максимальное давление, атм |
4 |
4 |
4 |
4 |
4 |
Температутра отжига, оС |
70 |
125 |
125 |
180 на фланце |
180 на фланце |
Рабочая температура, оС |
5-60 |
5-60 |
5-60 |
5-60 |
5-60 |
Максимальная длина кабеля, м |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
Потребляемая мощность, Вт |
1,5 |
2,5 |
2,5 |
3,0 |
7,5 |
Масса, кг |
0,19 |
0,195 |
0,19 |
0,555 |
0,475 |
Цикл измерения, мс |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
Вакуумметры серии ModulLine | ||||||
Модель |
TPR 010 |
TPR 017 |
TPR 018 |
IKR 050 |
IKR 060 |
IKR 070 |
Тип сенсора |
Пирани |
Пирани |
Пирани |
Холодный катод |
Холодный катод |
Холодный катод |
Фланцы |
DN10 ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
DN 25 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
Диапазон измерения, мбар |
8*10-4 - 1 000 |
8*10-4 - 1 000 |
8*10-4 - 1 000 |
2*10-9 - 5*10-3 |
10-10 - 5*10-3 |
10-11 - 5*10-3 |
Точность |
±10% от считываемого |
±10% от считываемого |
|
|
|
|
Радиационная стойкость, Грэй |
- |
104 |
104 |
107 |
107 |
107 |
Материалы, обращённые в вакуум |
Нержавеющая сталь |
Нержавеющая сталь |
Нержавеющая сталь, Al2O3 |
Нержавеющая сталь, Al2O3 |
Нержавеющая сталь, Al2O3 |
Нержавеющая сталь, Al2O3 |
Максимальное давление, атм |
9 |
9 |
9 |
9 |
9 |
9 |
Температура отжига, макс.,оС |
100 |
250 |
250 |
250 |
250 |
250 |
Рабочая температура, оС |
0 - 70 |
0 - 80 |
0 - 120 |
5 - 150 |
5 - 250 |
5 - 250 |
Максимальная длина кабеля, м |
50 |
50 |
50 |
100 |
100 |
100 |
Масса, кг |
0,14 |
0,6 |
0,6 |
0,6 |
0,6 |
0,6 |
![]() |
![]() |
Вакуумный датчик IGM-400 |
Вакуумный датчик CVM-201 |
Вакуумные датчики без индикаторов
Модели датчиков |
Тепловые |
Ионизационные |
CVG-101 |
IGM-400 |
|
Диапазон измерения, мбар |
атм…10-4 |
6,7·10-2…1,3·10-9 |
Погрешность, % |
±15 |
±10 |
Входной фланец |
NW16, NW25, NW40, CF16, CF40, резьба 1/8” |
|
Потребляемая мощность, Вт |
1 |
2 |
Электрическое соединение |
5-контактный разъем |
D-SUB 9 |
Размеры, мм |
91 × 29 × 29 |
82 × 71 × 68 |
Масса, г |
85 |
270 |
Вакуумные датчики с индикатором на корпусе
Модели датчиков |
Тепловые |
Ионизационные |
Инверсно-магнетронные |
Широкодиапазонные |
|
CVM-201 |
CVM-211 |
IGM-401 |
CCM-501 |
IGM-402 |
|
Диапазон измерения, мбар |
атм…10-4 |
6,7·10-2…1,3·10-9 |
1,3·10-2…1,3·10-8 |
атм…1,3·10-9 |
|
Погрешность, % |
±15 |
±10 |
±30 |
±15 при p = атм…10-4, ±10 при p = 10-4…1,3·10-9 |
|
Входной фланец |
NW16, NW25, NW40, CF16, CF40, резьба 1/8” |
||||
Потребляемая мощность, Вт |
2,1 |
2 |
3 |
7,2 |
16 |
Индикация |
LCD-дисплей |
LED-дисплей (3-х разрядный) |
LCD-дисплей |
||
Реле |
2 |
1 |
1 |
1 |
3 |
Интерфейсы |
RS232/RS485, аналоговый выходной сигнал |
Аналоговый выходной сигнал |
RS485, аналоговый выходной сигнал 0-9 В |
RS485, аналоговый выходной сигнал 0-8 В |
RS485, 3 настраиваемых аналоговый выходных сигнала |
Электрическое соединение |
D-SUB 9 |
||||
Размеры, мм |
105 × 90 × 35 |
105 × 48 × 48 |
82 × 71 × 68 |
97 × 88 × 71 |
82 × 71 × 68 |
Масса, г |
340 |
136 |
270 |
770 |
270 |
Модели контроллеров |
VGC-301 |
B-RAX 3000/3100 |
FlexRax 4000 |
Количество каналов |
1 |
3 |
1 |
Индикация |
OLED-дисплей |
3 независимых LED-дисплея + LCD-дисплей управления |
LCD-дисплей |
Поддерживаемые датчики |
CVG-101 |
CVG-101, IGM-400 |
До 4-х IGM-400, до 4-х CVG-101, до 2-х мембранно-емкостных датчиков одновременно |
Реле |
2 |
3 |
До 16 |
Интерфейс |
RS232/RS485, настраиваемый аналоговый выходной сигнал |
Настраиваемый аналоговый выходной сигнал |
RS232/RS485, до 8 настраиваемых аналоговых выходных сигналов |
Размеры, мм |
96 × 91 × 50 |
183 × 208 × 78 |
484 × 347 × 89 |
Масса, кг |
0,25 |
1,62 |
5,5 |