Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе Shimadzu

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе

Стандартная линейка ТМН с магнитным подвесом

Стандартная линейка ТМН с магнитным подвесом

Модель

TMP-203

TMP-303

TMP-403

TMP-803

TMP-1003

TMP-2003

TMP-3203

Охлаждение

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

Предельный вакуум, Па (Торр)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

Максимальное  давление на входе (вода/воздух), Па (Торр)

200/1,3 (1,5/0,01)

200/1,3 (1,5/0,01)

200/1,3 (1,5/0,01)

400/1,3 (3/0,01)

400/1,3 (3/0,01)

67/0,4 (0,5/ 0,003)

40/0,4 (0,3/ 0,003)

Максимальное  давление на выходе (вода/воздух), Па (Торр)

400/40 (3/0,3)

400/40 (3/0,3)

400/40 (3/0,3)

667/40 (5/0,3)

667/40 (5/0,3)

267/40 (2/0,3)

267/40 (2/0,3)

Быстрота действия, л/с :

по азоту

190

320

420

800

1080

2000

3200

по гелию

140

340

360

800

930

1800

3000

по водороду

120

320

340

700

790

1600

2400

Степень сжатия:

по азоту

1*109

1*109

1*109

1*109

>1*109

1*109

1*109

по гелию

6*104

8*104

8*104

8*104

8*104

7*105

3*105

по водороду

4*103

1*104

1*104

4*103

4*103

1,4*104

1*104

Время выхода на режим, мин

Не более 5

Не более 9

Не более 13

Рабочая ориентация

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Температура прогрева на входном фланце, оС

<120

<120

<120

<120

<120

<120

<120

Входной фланец стандартов ISO, ConFlat

Ду100

Ду100

Ду160

Ду160

Ду200

Ду250

Ду320

Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса, л/мин (м3/ч)

>200 (>12)

>200 (>12)

>200 (>12)

>500 (>30)

>500 (>30)

>500 (>30)

>1500 (>90)

Масса, кг

9

14

14

31

32

55

70

Насосы с высокой степенью сжатия для откачки легких газовНасосы с высокой степенью сжатия для откачки легких газов

Модель

TMP-1103MP

TMP-1103LMP

TMP-1103LMPC

TMP-W2403LMC

FT-3500D

H3153LMC

Охлаждение

воздушное

водяное

водяное

водяное

водяное

водяное

Предельный вакуум, Па (Торр)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-7 (10-9)

10-7 (7,5*10-10)

1.3*10-5 (10-7)

Максималь- ное давлен. на входе, Па (Торр)

1,3 (0,01)

6,7 (0,05)

66,7 (0,5)

40 (0,3)

По Ar: 2,1 (1,6*10-2)

1,33 (10-2)

Максим. давление на выходе, Па (Торр)

267 (2)

800 (6)

800 (6)

267 (2)

По Ar: 1330 (10)

270 (2)

Быстрота действия, л/с :

по азоту

1080

1080

1080

2100

2300

3270

2950

по аргону

1040

1040

1040

2000

-

-

-

по водороду

800

800

800

1770

-

-

3000

по гелию

-

-

-

2240

-

-

3000

Степень сжатия:

по азоту

>109

>109

>109

1*1011

5*109

>107

по аргону

107

107

107

По He: 4*106

-

-

по водороду

106

106

106

1*105

1*106

105 (по H2 и He)

Время  выхода на режим, мин

менее 5

менее 5

менее 5

менее 12

менее 18

менее 18

Рабочая ориентация

любая

любая

любая

любая

любая

любая

Темпера- тура прогрева на входном фланце, оС

<120

<120

<120

<120

40

<120

Входной
фланец стандартов ISO, ConFlat

Ду 200

Ду 200

Ду 200

Ду 250

JIS VG250

JIS VG350

ДУ 320

Масса, кг

32

32

32

72

88

80

Насос с интегрированным контроллеромНасосы с интегрированным контроллером (LM – водяное охлаждение, LMC – водяное охлаждение, коррозионная стойкость)

Модель

TMP-V1704LM

TMP-V2304LM

TMP-V3304LM (F)

TMP-V3304LMC (F)

Охлаждение

Водяное

Предельный вакуум, Па (Торр)

10-7 (10-9)

10-6 (10-8)

10-7 (10-9)

10-7 (10-9)

Максимальное давление на входе, Па (Торр)

4,5 (0,03)

7 (0,05)

Максимальное давление на выходе, Па (Торр)

200 (1,5)

270 (2,0)

Быстрота действия, л/с

по азоту

1400

2100

3200

по аргону

1350

2000

3100

Степень сжатия

по азоту

108

109

по гелию

103

105

по водороду

102

103

Номинальная скорость, об/мин

33700

27600

Время выхода на режим, мин

менее 9

менее 16

Максимальный поток аргона, sccm

600

1900

Рабочая ориентация

любая

Максимальная температура на входном фланце, oС

< 120

Входной фланец

ISO200B

ISO250B

ISO320B

Выходной фланец

KF40

Масса, кг

60

56

94

Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса в случае продувки, л/мин (м3/ч)

>1500 (90)

Документы

Лицензии Патенты Сертификаты Справочная информация Каталоги продукции
Лицензия на конструирование ядерных установок
Лицензия на изготовление оборудования для ядерных установок
Лицензия на изготовление оборудования для ядерных установок
Лицензия на проектирование и конструирование ядерных установок
Лицензия на изготовление оборудования для радиационных источников
Лицензия на использование источников ионизирующего излучения
Лицензия на конструирование оборудования для ядерных установок
+7 (4832) 58-19-66