Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки N₂, л/с

Быстрота откачки H₂, л/с

Быстрота откачки Ar, л/с

Степерь сжатия N₂

Степерь сжатия H₂

Max. газовый поток N₂, sccm

Max. газовый поток Ar, sccm

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

STP-iX455

ISO100-K

300

300

-

>1*10⁸

>1*10⁴

^-

^-

6.5×10^-6 (5×10^-8)

DN100CF

1×10^-8 (7.5×10^-11)

ISO160-K

450

460

-

>1*10⁸

>1*10⁴

^-

^-

6.5×10^-6 (5×10^-8)

DN160CF

1×10^-8 (7.5×10^-11)

STP-iXR1606

ISO160-F

900

600

-

>1*10⁸

1*10³

4700

1800

1×10^-7 (7.5×10^-10)

VG150

ISO200-F/

ISO250-F

1600

1200

-

>1*10⁸

1*10³

4700

1800

1×10^-7 (7.5×10^-10)

VG200

STP-iXA2206C

ISO250-F

2200

-

1900

>1*10⁸

1*10⁴

3000

1400

1×10^-7 (7.5×10^-10)

DN250CF

STP-iXA3306C

ISO250-F

2650

-

2300

>1*10⁸

2*10³

4000

2100

1×10^-7 (7.5×10^-10)

DN250CF

ISO320-F

3200

-

2800

>1*10⁸

2*10³

4000

2100

1×10^-7 (7.5×10^-10)

DN320CF

STP-iXA4506C

ISO320-F

4000

2700

-

>1*10⁸

1*10³

4300

2600

1×10^-7 (7.5×10^-10)

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки (N₂), л/с

Быстрота откачки (H₂), л/с

Степерь сжатия N₂

Степерь сжатия H₂

Max. газовый поток N₂, sccm

Max. газовый поток Ar, sccm

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

STP301 / STP301C

ISO100-K

300

300

>1*10⁸

>2*10⁴

2500

-

6.5×10^-6 (5×10^-8)

DN100CF

1×10^-8 (7.5×10^-11)

STPH451 / STPH451C

ISO160-F

480

300

>1*10⁸

10³

2500

-

6.5×10^-6 (5×10^-8)

DN160CF

1×10^-8 (7.5×10^-11)

STP603 / STP603C

ISO160-F

650

550

>1*10⁸

>1*10⁵

130

-

1×10^-7 (7.5×10^-10)

DN160CF

1×10^-8 (7.5×10^-11)

STP1003 / STP1003C

ISO200-F

1000

800

>1*10⁸

>1*10⁵

130

-

1×10^-7 (7.5×10^-10)

DN200CF

1×10^-8 (7.5×10^-11)

STPA803C

ISO160-F

800

520

>1*10⁸

1*10³

1500

-

1×10^-7 (7.5×10^-10)

DN160CF

STPA1303C

ISO200-F

1300

800

>1*10⁸

1*10³

1500

-

1×10^-7 (7.5×10^-10)

DN200CF

STPA1603C

ISO200-F

1600

1200

>1*10⁸

>7*10³

2500

-

1×10^-7 (7.5×10^-10)

DN200CF

STPA2203C

ISO250-F

2200

1700

>1*10⁸

>2,5*10⁴

1500

-

1×10^-6 (7.5×10^-9)

DN250CF

STP-XA2703C

ISO250-F

2650

2050

>1*10⁸

>6*10³

2300

1900

1×10^-7 (7.5×10^-10)

DN250CF

STP-XA3203C

ISO320-F

3200

2300

>1*10⁸

>6*10³

2300

1900

1×10^-7 (7.5×10^-10)

DN320CF

STP-XA4503C

ISO320-F

4000

2500

>1*10⁸

>6*10³

2800

2150

1×10^-7 (7.5×10^-10)

Модель

HiPace 300 M

HiPace 700 M

HiPace 800 M

Фланец
- всасывания, ISO-K, ISO-F, CF
- выхлопа, ISO-KF
- напуска атмосферы

DN100
DN16
G1/8"

DN160
DN25
G1/8"

DN200
DN25
G1/8"

Скорость откачки, л/с
- по Азоту (N₂)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н₂)
- по Аргону (Ar)

255
215
170
250

685
600
480
660

790
625
500
775

Степень сжатия
- по Азоту (N₂)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н₂)
- по Аргону (Ar)

>1*10¹¹
>1*10⁸
5*10⁵
>1*10¹¹

>1*10¹¹
>1*10⁷
2*10⁵
>1*10¹¹

>1*10¹¹
>1*10⁷
2*10⁵
>1*10¹¹

Предельное разряжение, Па (Торр)

< 1*10^-5 (7.5*10^-8)

< 1*10^-5 (7.5*10^-8)

< 1*10^-5 (7.5*10^-8)

Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр)

2000 (15)

800 (6)

800 (6)

Скорость вращения ротора, об/мин

60 000

49 200

49 200

Тип охладения

водяное

водяное

водяное

Питание/потребляемая мощность

48В/300Вт

48В/300Вт

48В/300Вт

Масса, кг

13.1 - 17.2

15.7 - 20.8

17.1 - 21.5

Хар-ка

ATH
500M

ATH
1300M

ATH
1300MT*

ATH
1603M

ATH
1600MT*

ATH
2303M

ATH
2300MT*

ATH
2800M

ATH
2800MТ*

ATH
3200M

ATH
3200MТ*

Скорость вращения ротора,  об/мин

50 000

39 000

39 000

31 000

31 000

31 000

31 000

25 000

25 000

25 000

25 000

Входной фланец

DN 
100

DN 
160

DN 
160

DN 
200

DN 
160

DN 
200

DN
200

DN 
250

DN
200

DN
250

DN 
200

DN
250

DN 
200

DN 
200

DN 
250

DN 
250

DN 
320

DN 
320

Скорость откачки,  л/с

N₂

340

500

920

1250

920

1250

1200

1220

1230

1270

1250

1850

1250

1850

2050

2050

2600

2600

Ar

270

500

920

1250

920

1250

1100

1150

1130

1180

1200

1750

1200

1750

2000

2000

2400

2400

He

270

340

810

850

810

850

960

960

960

960

1500

1600

1500

1600

2150

2150

2400

2400

H₂

170

190

490

550

490

550

550

550

580

580

1200

1200

1200

1200

1750

1750

1800

1800

Степень сжатия

N₂

2*10⁷

10⁷

10⁷

6*10⁷

6*10⁷

>10⁸

>10⁸

>10⁸

>10⁸

>10⁸

>10⁸

Ar

8*10⁶

10⁷

10⁷

6*10⁷

6*10⁷

>10⁸

>10⁸

>10⁸

>10⁸

>10⁸

>10⁸

He

10⁴

10³

10³

8*10³

8*10³

>3*10⁴

>3*10⁴

>3*10⁴

>3*10⁴

>3*10⁴

>3*10⁴

H₂

2*10²

10²

10²

3*10²

3*10²

>10³

>2*10³

>2*10³

>2*10³

>2*10³

>2*10³

Предельное давление, Па (Торр)

<10^-6 (7,5 *10^-10)

<6*10^-7 (4,5 *10^-9)

<6*10^-7 (4,5 *10^-9)

<6*10^-7 (4,5 *10^-9)

<6*10^-7 (4,5 *10^-9)

<6*10^-7 (4,5 *10^-9)

<6*10^-7 (4,5 *10^-9)

<6*10^-7 (4,5 *10^-9)

<6*10^-7 (4,5 *10^-9)

<6*10^-7 (4,5 *10^-9)

<6*10^-7 (4,5 *10^-9)

Макс. давление  на всасыван., Па (Торр)

130 (1)

50 (0,4)

50 (0,4)

40 (0,3)

2 (1,5 *10^-2)

30 (0,2)

14 (0,1)

26 (0,2)

1 (7,5 *10^-3)

26 (0,2)

1  (7,5 *10^-3)

Макс. давление  на выхлопе, Па (Торр)

270 (2)

150 (1,1)

150 (1,1)

150 (1,1)

100 (0,8)

200 (1,5)

150 (1,1)

150 (1,1)

100 (0,8)

150 (1,1)

100 (0,8)

Макс. откачи-ваемый поток,  ст.см³/
мин.

2500

3000

3000

4000

1000

4000

1000

5000

1000

5000

1000

Охлажден.

Водяное

Рабочее положение

Любое

Выхлопной / Фланец продувки

DN40 / продувка - DN16

Время запуска,  мин

<2,5

<5

<5

6

6

8

8

10

10

10

10

Масса турбины, кг

17

34

34

34

34

60

60

85

85

85

85

Контрол- лер

Integrated

ACT1300M

ACT1300M

Mag- power/
OBC

ACT1300M/
OBC

Mag- power/
OBC

Mag- power/
OBC

Mag- power

Mag- power

Mag- power

Mag- power

Масса контрол- лера, кг

8

8

8

8

8,7

8,7

8,7

8,7

8,7

8,7

Питание контрол.

От 100 до 240В - 50/60Гц – однофазное

Характеристика

ATP 2300M

Присоединительный фланец

DN200, ISO F, CF

DN250, ISO F, CF

Скорость откачки, л/с

N₂

1250

1750

Ar

1200

1650

He

1700

1800

H₂

1700

1700

Степень сжатия

N₂

10⁸

Ar

10⁸

He

10⁵

H₂

7*10³

Частота вращения, об/мин

31 000

Минимальное остаточное давление, Па (Торр)

10^-7 (7,5*10^-10)

Макс. давление на входе, Па (Торр)

5 (0,04)

Макс. давление на выхлопе, Па (Торр)

150 (1,13)

Габаритные размеры, мм

Высота

290

Диаметр

315

Масса, кг

52

Модель

TMP-203

TMP-303

TMP-403

TMP-803

TMP-1003

TMP-2003

TMP-3203

Охлаждение

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

Предельный вакуум, Па (Торр)

1,3*10^-8 (10^-10)

1,3*10^-8 (10^-10)

1,3*10^-8 (10^-10)

1,3*10^-9 (10^-11)

1,3*10^-9 (10^-11)

1,3*10^-9 (10^-11)

1,3*10^-9 (10^-11)

Максимальное  давление на входе (вода/воздух), Па (Торр)

200/1,3 (1,5/0,01)

200/1,3 (1,5/0,01)

200/1,3 (1,5/0,01)

400/1,3 (3/0,01)

400/1,3 (3/0,01)

67/0,4 (0,5/ 0,003)

40/0,4 (0,3/ 0,003)

Максимальное  давление на выходе (вода/воздух), Па (Торр)

400/40 (3/0,3)

400/40 (3/0,3)

400/40 (3/0,3)

667/40 (5/0,3)

667/40 (5/0,3)

267/40 (2/0,3)

267/40 (2/0,3)

Быстрота действия, л/с :

по азоту

190

320

420

800

1080

2000

3200

по гелию

140

340

360

800

930

1800

3000

по водороду

120

320

340

700

790

1600

2400

Степень сжатия:

по азоту

1*10⁹

1*10⁹

1*10⁹

1*10⁹

>1*10⁹

1*10⁹

1*10⁹

по гелию

6*10⁴

8*10⁴

8*10⁴

8*10⁴

8*10⁴

7*10⁵

3*10⁵

по водороду

4*10³

1*10⁴

1*10⁴

4*10³

4*10³

1,4*10⁴

1*10⁴

Время выхода на режим, мин

Не более 5

Не более 9

Не более 13

Рабочая ориентация

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Температура прогрева на входном фланце, ^оС

<120

<120

<120

<120

<120

<120

<120

Входной фланец стандартов ISO, ConFlat

Ду100

Ду100

Ду160

Ду160

Ду200

Ду250

Ду320

Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса, л/мин (м³/ч)

>200 (>12)

>200 (>12)

>200 (>12)

>500 (>30)

>500 (>30)

>500 (>30)

>1500 (>90)

Масса, кг

9

14

14

31

32

55

70

Модель

TMP-1103MP

TMP-1103LMP

TMP-1103LMPC

TMP-W2403LMC

FT-3500D

H3153LMC

Охлаждение

воздушное

водяное

водяное

водяное

водяное

водяное

Предельный вакуум, Па (Торр)

1,3*10^-9 (10^-11)

1,3*10^-9 (10^-11)

1,3*10^-8 (10^-10)

1,3*10^-7 (10^-9)

10^-7 (7,5*10^-10)

1.3*10^-5 (10^-7)

Максималь- ное давлен. на входе, Па (Торр)

1,3 (0,01)

6,7 (0,05)

66,7 (0,5)

40 (0,3)

По Ar: 2,1 (1,6*10^-2)

1,33 (10^-2)

Максим. давление на выходе, Па (Торр)

267 (2)

800 (6)

800 (6)

267 (2)

По Ar: 1330 (10)

270 (2)

Быстрота действия, л/с :

по азоту

1080

1080

1080

2100

2300

3270

2950

по аргону

1040

1040

1040

2000

-

-

-

по водороду

800

800

800

1770

-

-

3000

по гелию

-

-

-

2240

-

-

3000

Степень сжатия:

по азоту

>10⁹

>10⁹

>10⁹

1*10¹¹

5*10⁹

>10⁷

по аргону

10⁷

10⁷

10⁷

По He: 4*10⁶

-

-

по водороду

10⁶

10⁶

10⁶

1*10⁵

1*10⁶

10⁵ (по H₂ и He)

Время  выхода на режим, мин

менее 5

менее 5

менее 5

менее 12

менее 18

менее 18

Рабочая ориентация

любая

любая

любая

любая

любая

любая

Темпера- тура прогрева на входном фланце, ^оС

<120

<120

<120

<120

40

<120

Входной
фланец стандартов ISO, ConFlat

Ду 200

Ду 200

Ду 200

Ду 250

JIS VG250

JIS VG350

ДУ 320

Масса, кг

32

32

32

72

88

80

Модель

TMP-V1704LM

TMP-V2304LM

TMP-V3304LM (F)

TMP-V3304LMC (F)

Охлаждение

Водяное

Предельный вакуум, Па (Торр)

10^-7 (10^-9)

10^-6 (10^-8)

10^-7 (10^-9)

10^-7 (10^-9)

Максимальное давление на входе, Па (Торр)

4,5 (0,03)

7 (0,05)

Максимальное давление на выходе, Па (Торр)

200 (1,5)

270 (2,0)

Быстрота действия, л/с

по азоту

1400

2100

3200

по аргону

1350

2000

3100

Степень сжатия

по азоту

10⁸

10⁹

по гелию

10³

10⁵

по водороду

10²

10³

Номинальная скорость, об/мин

33700

27600

Время выхода на режим, мин

менее 9

менее 16

Максимальный поток аргона, sccm

600

1900

Рабочая ориентация

любая

Максимальная температура на входном фланце, ^oС

< 120

Входной фланец

ISO200B

ISO250B

ISO320B

Выходной фланец

KF40

Масса, кг

60

56

94

Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса в случае продувки, л/мин (м³/ч)

>1500 (90)