Турбомолекулярные насосы с интегрированным контроллером и на магнитном подвесе STP-iXA4506C
Модель насоса |
Входной фланец |
Быстрота откачки N2, л/с |
Быстрота откачки H2, л/с |
Быстрота откачки Ar, л/с |
Степерь сжатия N2 |
Степерь сжатия H2 |
Max. газовый поток N2, sccm |
Max. газовый поток Ar, sccm |
Предельное остаточное давление, Па (Торр) |
STP-iX455 |
ISO100-K |
300 |
300 |
- |
>1*108 |
>1*104 |
- |
- |
6.5×10-6 (5×10-8) |
DN100CF |
1×10-8 (7.5×10-11) |
||||||||
ISO160-K |
450 |
460 |
- |
>1*108 |
>1*104 |
- |
- |
6.5×10-6 (5×10-8) |
|
DN160CF |
1×10-8 (7.5×10-11) |
||||||||
STP-iXR1606 |
ISO160-F |
900 |
600 |
- |
>1*108 |
1*103 |
4700 |
1800 |
1×10-7 (7.5×10-10) |
VG150 |
|||||||||
ISO200-F/ ISO250-F |
1600 |
1200 |
- |
>1*108 |
1*103 |
4700 |
1800 |
1×10-7 (7.5×10-10) |
|
VG200 |
|||||||||
STP-iXA2206C |
ISO250-F |
2200 |
- |
1900 |
>1*108 |
1*104 |
3000 |
1400 |
1×10-7 (7.5×10-10) |
DN250CF |
|||||||||
STP-iXA3306C |
ISO250-F |
2650 |
- |
2300 |
>1*108 |
2*103 |
4000 |
2100 |
1×10-7 (7.5×10-10) |
DN250CF |
|||||||||
ISO320-F |
3200 |
- |
2800 |
>1*108 |
2*103 |
4000 |
2100 |
1×10-7 (7.5×10-10) |
|
DN320CF |
|||||||||
STP-iXA4506C |
ISO320-F |
4000 |
2700 |
- |
>1*108 |
1*103 |
4300 |
2600 |
1×10-7 (7.5×10-10) |
Турбомоле-кулярные насосы на магнитном подвесе с вынесенным контроллером STP-iXA3306C
Модель насоса |
Входной фланец |
Быстрота откачки (N2), л/с |
Быстрота откачки (H2), л/с |
Степерь сжатия N2 |
Степерь сжатия H2 |
Max. газовый поток N2, sccm |
Max. газовый поток Ar, sccm |
Предельное остаточное давление, Па (Торр) |
STP301 / STP301C |
ISO100-K |
300 |
300 |
>1*108 |
>2*104 |
2500 |
- |
6.5×10-6 (5×10-8) |
DN100CF |
1×10-8 (7.5×10-11) |
|||||||
STPH451 / STPH451C |
ISO160-F |
480 |
300 |
>1*108 |
103 |
2500 |
- |
6.5×10-6 (5×10-8) |
DN160CF |
1×10-8 (7.5×10-11) |
|||||||
STP603 / STP603C |
ISO160-F |
650 |
550 |
>1*108 |
>1*105 |
130 |
- |
1×10-7 (7.5×10-10) |
DN160CF |
1×10-8 (7.5×10-11) |
|||||||
STP1003 / STP1003C |
ISO200-F |
1000 |
800 |
>1*108 |
>1*105 |
130 |
- |
1×10-7 (7.5×10-10) |
DN200CF |
1×10-8 (7.5×10-11) |
|||||||
STPA803C |
ISO160-F |
800 |
520 |
>1*108 |
1*103 |
1500 |
- |
1×10-7 (7.5×10-10) |
DN160CF |
||||||||
STPA1303C |
ISO200-F |
1300 |
800 |
>1*108 |
1*103 |
1500 |
- |
1×10-7 (7.5×10-10) |
DN200CF |
||||||||
STPA1603C |
ISO200-F |
1600 |
1200 |
>1*108 |
>7*103 |
2500 |
- |
1×10-7 (7.5×10-10) |
DN200CF |
||||||||
STPA2203C |
ISO250-F |
2200 |
1700 |
>1*108 |
>2,5*104 |
1500 |
- |
1×10-6 (7.5×10-9) |
DN250CF |
||||||||
STP-XA2703C |
ISO250-F |
2650 |
2050 |
>1*108 |
>6*103 |
2300 |
1900 |
1×10-7 (7.5×10-10) |
DN250CF |
||||||||
STP-XA3203C |
ISO320-F |
3200 |
2300 |
>1*108 |
>6*103 |
2300 |
1900 |
1×10-7 (7.5×10-10) |
DN320CF |
||||||||
STP-XA4503C |
ISO320-F |
4000 |
2500 |
>1*108 |
>6*103 |
2800 |
2150 |
1×10-7 (7.5×10-10) |
Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии HiPace M (HiPace 800 M)
Модель |
HiPace 300 M |
HiPace 700 M |
HiPace 800 M |
Фланец |
|
|
|
Скорость откачки, л/с |
|
|
|
Степень сжатия |
|
|
|
Предельное разряжение, Па (Торр) |
< 1*10-5 (7.5*10-8) |
< 1*10-5 (7.5*10-8) |
< 1*10-5 (7.5*10-8) |
Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр) |
2000 (15) |
800 (6) |
800 (6) |
Скорость вращения ротора, об/мин |
60 000 |
49 200 |
49 200 |
Тип охладения |
водяное |
водяное |
водяное |
Питание/потребляемая мощность |
48В/300Вт |
48В/300Вт |
48В/300Вт |
Масса, кг |
13.1 - 17.2 |
15.7 - 20.8 |
17.1 - 21.5 |
Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии ATH-M (ATH2300M)
Хар-ка |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
||||||||
Скорость вращения ротора, об/мин |
50 000 |
39 000 |
39 000 |
31 000 |
31 000 |
31 000 |
31 000 |
25 000 |
25 000 |
25 000 |
25 000 |
||||||||
Входной фланец |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
|
Скорость откачки, л/с |
N2 |
340 |
500 |
920 |
1250 |
920 |
1250 |
1200 |
1220 |
1230 |
1270 |
1250 |
1850 |
1250 |
1850 |
2050 |
2050 |
2600 |
2600 |
Ar |
270 |
500 |
920 |
1250 |
920 |
1250 |
1100 |
1150 |
1130 |
1180 |
1200 |
1750 |
1200 |
1750 |
2000 |
2000 |
2400 |
2400 |
|
He |
270 |
340 |
810 |
850 |
810 |
850 |
960 |
960 |
960 |
960 |
1500 |
1600 |
1500 |
1600 |
2150 |
2150 |
2400 |
2400 |
|
H2 |
170 |
190 |
490 |
550 |
490 |
550 |
550 |
550 |
580 |
580 |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
1750 |
1750 |
1800 |
1800 |
|
Степень сжатия |
N2 |
2*107 |
107 |
107 |
6*107 |
6*107 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
|||||||
Ar |
8*106 |
107 |
107 |
6*107 |
6*107 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
||||||||
He |
104 |
103 |
103 |
8*103 |
8*103 |
>3*104 |
>3*104 |
>3*104 |
>3*104 |
>3*104 |
>3*104 |
||||||||
H2 |
2*102 |
102 |
102 |
3*102 |
3*102 |
>103 |
>2*103 |
>2*103 |
>2*103 |
>2*103 |
>2*103 |
||||||||
Предельное давление, Па (Торр) |
<10-6 (7,5 *10-10) |
<6*10-7 (4,5 *10-9) |
<6*10-7 (4,5 *10-9) |
<6*10-7 (4,5 *10-9) |
<6*10-7 (4,5 *10-9) |
<6*10-7 (4,5 *10-9) |
<6*10-7 (4,5 *10-9) |
<6*10-7 (4,5 *10-9) |
<6*10-7 (4,5 *10-9) |
<6*10-7 (4,5 *10-9) |
<6*10-7 (4,5 *10-9) |
||||||||
Макс. давление на всасыван., Па (Торр) |
130 (1) |
50 (0,4) |
50 (0,4) |
40 (0,3) |
2 (1,5 *10-2) |
30 (0,2) |
14 (0,1) |
26 (0,2) |
1 (7,5 *10-3) |
26 (0,2) |
1 (7,5 *10-3) |
||||||||
Макс. давление на выхлопе, Па (Торр) |
270 (2) |
150 (1,1) |
150 (1,1) |
150 (1,1) |
100 (0,8) |
200 (1,5) |
150 (1,1) |
150 (1,1) |
100 (0,8) |
150 (1,1) |
100 (0,8) |
||||||||
Макс. откачи-ваемый поток, ст.см3/ |
2500 |
3000 |
3000 |
4000 |
1000 |
4000 |
1000 |
5000 |
1000 |
5000 |
1000 |
||||||||
Охлажден. |
Водяное |
||||||||||||||||||
Рабочее положение |
Любое |
||||||||||||||||||
Выхлопной / Фланец продувки |
DN40 / продувка - DN16 |
||||||||||||||||||
Время запуска, мин |
<2,5 |
<5 |
<5 |
6 |
6 |
8 |
8 |
10 |
10 |
10 |
10 |
||||||||
Масса турбины, кг |
17 |
34 |
34 |
34 |
34 |
60 |
60 |
85 |
85 |
85 |
85 |
||||||||
Контрол- лер |
Integrated |
ACT1300M |
ACT1300M |
Mag- power/ |
ACT1300M/ |
Mag- power/ |
Mag- power/ |
Mag- power |
Mag- power |
Mag- power |
Mag- power |
||||||||
Масса контрол- лера, кг |
8 |
8 |
8 |
8 |
8,7 |
8,7 |
8,7 |
8,7 |
8,7 |
8,7 |
|||||||||
Питание контрол. |
От 100 до 240В - 50/60Гц – однофазное |
*MT - прогреваемая версия. Для особо химически активных сред применяются насосы ATH-MT, которые имеют встроенную нагревательную рубашку, предотварщающую осаждение на внутренней поверхности насосов.
Гибридный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе серии ATP-M для откачки легких газов
Двухступенчатый форвакуумный насос серии PentaLine (скорость откачки от 22 до 34 м3/ч)
Характеристика |
ATP 2300M |
||
Присоединительный фланец |
DN200, ISO F, CF |
DN250, ISO F, CF |
|
Скорость откачки, л/с |
N2 |
1250 |
1750 |
Ar |
1200 |
1650 |
|
He |
1700 |
1800 |
|
H2 |
1700 |
1700 |
|
Степень сжатия |
N2 |
108 |
|
Ar |
108 |
||
He |
105 |
||
H2 |
7*103 |
||
Частота вращения, об/мин |
31 000 |
||
Минимальное остаточное давление, Па (Торр) |
10-7 (7,5*10-10) |
||
Макс. давление на входе, Па (Торр) |
5 (0,04) |
||
Макс. давление на выхлопе, Па (Торр) |
150 (1,13) |
||
Габаритные размеры, мм |
Высота |
290 |
|
Диаметр |
315 |
||
Масса, кг |
52 |
Стандартная линейка ТМН с магнитным подвесом
Модель |
TMP-203 |
TMP-303 |
TMP-403 |
TMP-803 |
TMP-1003 |
TMP-2003 |
TMP-3203 |
Охлаждение |
водяное / возд. |
водяное / возд. |
водяное / возд. |
водяное / возд. |
водяное / возд. |
водяное / возд. |
водяное / возд. |
Предельный вакуум, Па (Торр) |
1,3*10-8 (10-10) |
1,3*10-8 (10-10) |
1,3*10-8 (10-10) |
1,3*10-9 (10-11) |
1,3*10-9 (10-11) |
1,3*10-9 (10-11) |
1,3*10-9 (10-11) |
Максимальное давление на входе (вода/воздух), Па (Торр) |
200/1,3 (1,5/0,01) |
200/1,3 (1,5/0,01) |
200/1,3 (1,5/0,01) |
400/1,3 (3/0,01) |
400/1,3 (3/0,01) |
67/0,4 (0,5/ 0,003) |
40/0,4 (0,3/ 0,003) |
Максимальное давление на выходе (вода/воздух), Па (Торр) |
400/40 (3/0,3) |
400/40 (3/0,3) |
400/40 (3/0,3) |
667/40 (5/0,3) |
667/40 (5/0,3) |
267/40 (2/0,3) |
267/40 (2/0,3) |
Быстрота действия, л/с : |
|||||||
по азоту |
190 |
320 |
420 |
800 |
1080 |
2000 |
3200 |
по гелию |
140 |
340 |
360 |
800 |
930 |
1800 |
3000 |
по водороду |
120 |
320 |
340 |
700 |
790 |
1600 |
2400 |
Степень сжатия: |
|||||||
по азоту |
1*109 |
1*109 |
1*109 |
1*109 |
>1*109 |
1*109 |
1*109 |
по гелию |
6*104 |
8*104 |
8*104 |
8*104 |
8*104 |
7*105 |
3*105 |
по водороду |
4*103 |
1*104 |
1*104 |
4*103 |
4*103 |
1,4*104 |
1*104 |
Время выхода на режим, мин |
Не более 5 |
Не более 9 |
Не более 13 |
||||
Рабочая ориентация |
Любая |
Любая |
Любая |
Любая |
Любая |
Любая |
Любая |
Температура прогрева на входном фланце, оС |
<120 |
<120 |
<120 |
<120 |
<120 |
<120 |
<120 |
Входной фланец стандартов ISO, ConFlat |
Ду100 |
Ду100 |
Ду160 |
Ду160 |
Ду200 |
Ду250 |
Ду320 |
Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса, л/мин (м3/ч) |
>200 (>12) |
>200 (>12) |
>200 (>12) |
>500 (>30) |
>500 (>30) |
>500 (>30) |
>1500 (>90) |
Масса, кг |
9 |
14 |
14 |
31 |
32 |
55 |
70 |
Насосы с высокой степенью сжатия для откачки легких газов
Модель |
TMP-1103MP |
TMP-1103LMP |
TMP-1103LMPC |
TMP-W2403LMC |
FT-3500D |
H3153LMC |
|
Охлаждение |
воздушное |
водяное |
водяное |
водяное |
водяное |
водяное |
|
Предельный вакуум, Па (Торр) |
1,3*10-9 (10-11) |
1,3*10-9 (10-11) |
1,3*10-8 (10-10) |
1,3*10-7 (10-9) |
10-7 (7,5*10-10) |
1.3*10-5 (10-7) |
|
Максималь- ное давлен. на входе, Па (Торр) |
1,3 (0,01) |
6,7 (0,05) |
66,7 (0,5) |
40 (0,3) |
По Ar: 2,1 (1,6*10-2) |
1,33 (10-2) |
|
Максим. давление на выходе, Па (Торр) |
267 (2) |
800 (6) |
800 (6) |
267 (2) |
По Ar: 1330 (10) |
270 (2) |
|
Быстрота действия, л/с : |
|||||||
по азоту |
1080 |
1080 |
1080 |
2100 |
2300 |
3270 |
2950 |
по аргону |
1040 |
1040 |
1040 |
2000 |
- |
- |
- |
по водороду |
800 |
800 |
800 |
1770 |
- |
- |
3000 |
по гелию |
- |
- |
- |
2240 |
- |
- |
3000 |
Степень сжатия: |
|||||||
по азоту |
>109 |
>109 |
>109 |
1*1011 |
5*109 |
>107 |
|
по аргону |
107 |
107 |
107 |
По He: 4*106 |
- |
- |
|
по водороду |
106 |
106 |
106 |
1*105 |
1*106 |
105 (по H2 и He) |
|
Время выхода на режим, мин |
менее 5 |
менее 5 |
менее 5 |
менее 12 |
менее 18 |
менее 18 |
|
Рабочая ориентация |
любая |
любая |
любая |
любая |
любая |
любая |
|
Темпера- тура прогрева на входном фланце, оС |
<120 |
<120 |
<120 |
<120 |
40 |
<120 |
|
Входной |
Ду 200 |
Ду 200 |
Ду 200 |
Ду 250 |
JIS VG250 |
JIS VG350 |
ДУ 320 |
Масса, кг |
32 |
32 |
32 |
72 |
88 |
80 |
Насосы с интегрированным контроллером (LM – водяное охлаждение, LMC – водяное охлаждение, коррозионная стойкость)
Модель |
TMP-V1704LM |
TMP-V2304LM |
TMP-V3304LM (F) |
TMP-V3304LMC (F) |
|
Охлаждение |
Водяное |
||||
Предельный вакуум, Па (Торр) |
10-7 (10-9) |
10-6 (10-8) |
10-7 (10-9) |
10-7 (10-9) |
|
Максимальное давление на входе, Па (Торр) |
4,5 (0,03) |
7 (0,05) |
|||
Максимальное давление на выходе, Па (Торр) |
200 (1,5) |
270 (2,0) |
|||
Быстрота действия, л/с |
по азоту |
1400 |
2100 |
3200 |
|
по аргону |
1350 |
2000 |
3100 |
||
Степень сжатия |
по азоту |
108 |
109 |
||
по гелию |
103 |
105 |
|||
по водороду |
102 |
103 |
|||
Номинальная скорость, об/мин |
33700 |
27600 |
|||
Время выхода на режим, мин |
менее 9 |
менее 16 |
|||
Максимальный поток аргона, sccm |
600 |
1900 |
|||
Рабочая ориентация |
любая |
||||
Максимальная температура на входном фланце, oС |
< 120 |
||||
Входной фланец |
ISO200B |
ISO250B |
ISO320B |
||
Выходной фланец |
KF40 |
||||
Масса, кг |
60 |
56 |
94 |
||
Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса в случае продувки, л/мин (м3/ч) |
>1500 (90) |