1. Skip to Menu
  2. Skip to Content
  3. Skip to Footer>

Ростовое оборудование ГКМП

Установка для выращивания монокристаллов кремния

Установка для выращивания монокристаллов кремния

Назначение: Предназначена для производства в автоматическом режиме (кроме затравления) монокристаллов кремния диаметром до 250 мм общей длиной до 1600 мм  методом Чохральского из тигля ø 508 мм.

Установка для выращивания монокристаллов кремния

Наименование параметра Значение

Диаметр кристалла, мм, не более

250

Длина кристалла, мм, не более

1600

Скорость перемещения затравки, мм/мин

0,1 - 8,0

Частота вращения затравки, об/мин

1,0- 30,0

Погрешность поддержания скорости перемещения  и частоты вращения затравки, %

±1

Рабочий ход тигля, мм

400

Скорость перемещения тигля, мм/мин

0,01- 2,0

Частота вращения тигля, об/мин

1,0- 20,0

Диаметр тигля, мм

508

Предельное остаточное давление, мм рт.ст.

5х10-3

Максимальная скорость откачки, л/с

150

Расход охлаждающей воды, м3/ч

10

Давление охлаждающей воды на входе, МПа, не менее

0,3

Расход аргона, л/ч, не более

3600
Рекомендуемое давление на входе в газовую систему, М 0,25

Рекомендуемое давление сжатого воздуха, МПа

0,6

Расход сжатого воздуха на процесс, м3, не более

0,1
Питание:
напряжение,В
частота, Гц
3х380+N
50
Максимальная мощность на нагревателе, кВА 150

Напряжение питания нагревателя , В

0 - 60
Габаритные размеры, мм 4000х2700х6200
Масса, кг 6000

Заказ продукции

Каталог Продукции ГКМП 2016 (ред. 2)

Каталог Электротермической продукции ГКМП 2016 (Скачать 25,8 Мб)

Изделия из тугоплавких материалов
Металлорукава высокого давления ГКМП
Ирмаш - производство дорожно-строительной и землеройной техники