1. Skip to Menu
  2. Skip to Content
  3. Skip to Footer>

Ростовое оборудование ГКМП

Установка для выращивания монокристаллов кремния

Установка для выращивания монокристаллов кремния

Назначение: Предназначена для производства в автоматическом режиме (кроме затравления) монокристаллов кремния диаметром до 250 мм общей длиной до 1600 мм  методом Чохральского из тигля ø 508 мм.

Установка для выращивания монокристаллов кремния

Наименование параметра Значение

Диаметр кристалла, мм, не более

250

Длина кристалла, мм, не более

1600

Скорость перемещения затравки, мм/мин

0,1 - 8,0

Частота вращения затравки, об/мин

1,0- 30,0

Погрешность поддержания скорости перемещения  и частоты вращения затравки, %

±1

Рабочий ход тигля, мм

400

Скорость перемещения тигля, мм/мин

0,01- 2,0

Частота вращения тигля, об/мин

1,0- 20,0

Диаметр тигля, мм

508

Предельное остаточное давление, мм рт.ст.

5х10-3

Максимальная скорость откачки, л/с

150

Расход охлаждающей воды, м3/ч

10

Давление охлаждающей воды на входе, МПа, не менее

0,3

Расход аргона, л/ч, не более

3600
Рекомендуемое давление на входе в газовую систему, М 0,25

Рекомендуемое давление сжатого воздуха, МПа

0,6

Расход сжатого воздуха на процесс, м3, не более

0,1
Питание:
напряжение,В
частота, Гц
3х380+N
50
Максимальная мощность на нагревателе, кВА 150

Напряжение питания нагревателя , В

0 - 60
Габаритные размеры, мм 4000х2700х6200
Масса, кг 6000

Заказ продукции

Каталог Продукции ГКМП 2016 (ред. 2)

Каталог Электротермической продукции ГКМП 2016 (Скачать 25,8 Мб)