Установки типа МАП, МАП-2, МАП-3

Установки вакуумного напыления

Установки типа МАП, МАП-2, МАП-3

Установки типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Установки вакуумного напыленияСовременные технологические процессы требуют современных высокотехнологичных решений. Так, с целью создания уникальных материалов, на одном из предприятий авиакосмической промышленности при участии ведущих специалистов ряда отечественных предприятий, в 1995 году была создана современная установка для нанесения покрытий МАП-1. В последствии данная установка подвергалась неоднократной модернизации, что привело к созданию модификаций МАП-2 и МАП-3.

НПО «ГКМП» является изготовителем подобных установок с 2012 года. Опираясь на имеющийся опыт изготовления вакуумных камер, подвижных механизмов в вакууме, герметичных вводов, откачных систем, можно смело заявить, что на данный момент возможно изготовление установок нанесения покрытий в вакууме практически любой конфигурации, требуемой заказчику. Собственное высокотехнологическое производство, вакуумная лаборатория, оснащённая современным оборудованием, а также опыт конструкторских разработок в данном направлении позволяют создать требуемую установку в достаточно сжатые сроки, не завышая при этом стоимости готового оборудования.

При необходимости имеется возможность создания установки с боксовой загрузкой. Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом, возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.

Наименование параметра Значение
Количество камер в установке: 1
Форма рабочей камеры: цилиндрическая, прямоугольная
Габариты рабочей зоны камеры:

- диаметр, мм:

- длина, мм:

300...1500

500...2000

Температура подогрева подложек, оС: 50...400
Метод распыления материала: резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление
Материалы подложек: металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины
Материалы нанесения: металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения
Толщина наносимого покрытия, мкм: 0,001...500 (определяется технологией)
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом: имеется
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе: имеется
Типы применяемых откачных систем: масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)
Типы датчиков контроля толщины напыления: вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный
Расположение подложек в камере: произвольное, определяется техпроцессом
Возможность карусельной обработки подложек: имеется
Возможность двустороннего нанесения: имеется

Установки типа УВН-71, УВН-74

Установки вакуумного напыления

Установки типа УВН-71, УВН-74

УВН

Во времена Советского Союза для собственных нужд электронной, авиакосмической, атомной промышленности было произведено много установок типа УВН-71 (цилиндрическая камера с вертикальным подъёмом колпака), УВН-74 (цилиндрическая горизонтальная камера с открывающейся круглой фланцевой дверью), РЭ-70, ВУ-1, ВУ-2, Оратория (камера с прямоугольной фланцевой дверью) и пр. Несмотря на то, что данные установки морально (а зачастую и физически) устарели, многие из них используются в современном производстве, а с учётом отлаженных технологических процессов переход на современные установки потребует колоссальных вложений и займёт много времени.

НПО «ГКМП» предлагает создание аналогичных установок с габаритными характеристиками камеры и подколпачной оснастки, полностью идентичными существующим, но при этом оснащённых новейшей автоматизированной системой управления, откачной вакуумной системой, системой контроля параметров процесса напыления. Данные установки заменят имеющиеся без необходимости изменения техпроцесса, а применяемые современные комплектующие и материалы позволят увеличить срок службы и упростить обслуживание и ремонтопригодность. Также возможен вариант глубокой модернизации имеющихся установок, в процессе которого изменению подвергнутся только те системы, замена которых востребована заказчиком.


Наименование параметра Значение
Количество камер в установке: 1
Форма рабочей камеры: цилиндрическая
Габариты рабочей зоны камеры:

- диаметр, мм:

- длина, мм:

150...600

200...1000

Температура подогрева подложек, оС: 50...400
Метод распыления материала: резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление
Материалы подложек: металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины
Материалы нанесения: металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения
Толщина наносимого покрытия, мкм: 0,001...500 (определяется технологией)
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом: имеется
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе: имеется
Типы применяемых откачных систем: масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)
Типы датчиков контроля толщины напыления: вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный
Расположение подложек в камере: вертикальное, горизонтальное
Возможность карусельной обработки подложек: имеется
Возможность двустороннего нанесения: имеется
Возможность нанесения в ограниченном объёме: имеется

ООО «НПО «ГКМП» производит установки вакуумного напыления преимущественно резистивного и магнетронного типов. По предварительному согласованию с заказчиком возможно изготовление УВН с электронно-лучевым испарением. Благодаря собственному производству нагревательных элементов, магнетронов, вакуумных камер, герметичных вводов, транспортных боксов, механизмов передачи усилия и прочих высокотехнологичных элементов, заказчик имеет возможность получить установку вакуумного напыления необходимой ему конфигурации.

Преимущества установок, производимых ООО «НПО «ГКМП»:

  • отсутствие модельного ряда, индивидуальное производство;
  • разнообразие подколпачной и внутрикамерной механики;
  • возможность двустороннего напыления с нити в малом объёме;
  • возможность создания гибридных установок;
  • подбор основных комплектующих согласованно с заказчиком;
  • производство на территории Российской Федерации;
  • уникальная культура производства;
  • безусловные гарантии производителя.

Область применения: основные процессы при производстве современных электронных микросхем, конденсаторов, полупроводниковых элементов, электровакуумных приборов, нанесение защитного покрытия на металлообрабатывающий инструмент, нанесение антифрикционного покрытия на детали машин, медицина, декоративные покрытия и пр.

Документы

Декларации Раскрытие информации Патенты Свидетельства Сертификаты Уведомления Справочная информация Каталоги продукции
Декларация ТР ТС печи автоматизированные колпаковые
Декларация ТР ТС электропечь сопротивления ЭОН.702
Декларация ТР ТС на ПЭВ
Декларация ТР ТС на УТДС
Декларация ТР ТС на СДОМ
+7 (4832) 58-19-66