Установки типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Установки типа МАП, МАП-2, МАП-3

Установки типа МАП, МАП-2, МАП-3

Установки вакуумного напыленияСовременные технологические процессы требуют современных высокотехнологичных решений. Так, с целью создания уникальных материалов, на одном из предприятий авиакосмической промышленности при участии ведущих специалистов ряда отечественных предприятий, в 1995 году была создана современная установка для нанесения покрытий МАП-1. В последствии данная установка подвергалась неоднократной модернизации, что привело к созданию модификаций МАП-2 и МАП-3.

НПО «ГКМП» является изготовителем подобных установок с 2012 года. Опираясь на имеющийся опыт изготовления вакуумных камер, подвижных механизмов в вакууме, герметичных вводов, откачных систем, можно смело заявить, что на данный момент возможно изготовление установок нанесения покрытий в вакууме практически любой конфигурации, требуемой заказчику. Собственное высокотехнологическое производство, вакуумная лаборатория, оснащённая современным оборудованием, а также опыт конструкторских разработок в данном направлении позволяют создать требуемую установку в достаточно сжатые сроки, не завышая при этом стоимости готового оборудования.

При необходимости имеется возможность создания установки с боксовой загрузкой. Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом, возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.

Наименование параметра Значение
Количество камер в установке: 1
Форма рабочей камеры: цилиндрическая, прямоугольная
Габариты рабочей зоны камеры:

- диаметр, мм:

- длина, мм:

300...1500

500...2000

Температура подогрева подложек, оС: 50...400
Метод распыления материала: резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление
Материалы подложек: металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины
Материалы нанесения: металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения
Толщина наносимого покрытия, мкм: 0,001...500 (определяется технологией)
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом: имеется
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе: имеется
Типы применяемых откачных систем: масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)
Типы датчиков контроля толщины напыления: вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный
Расположение подложек в камере: произвольное, определяется техпроцессом
Возможность карусельной обработки подложек: имеется
Возможность двустороннего нанесения: имеется

Документы

Декларации Раскрытие информации Патенты Свидетельства Сертификаты Уведомления Справочная информация Каталоги продукции
Декларация ТР ТС печи автоматизированные колпаковые
Декларация ТР ТС электропечь сопротивления ЭОН.702
Декларация ТР ТС на ПЭВ
Декларация ТР ТС на УТДС
Декларация ТР ТС на СДОМ
+7 (4832) 58-19-66