Термодиффузионные установки

Термодиффузионные и термокомпрессионные установки

Термодиффузионные установки

Назначение: Система предназначена для автоматической групповой газотермической прецизионной обработки пластин кремния диаметром 100 мм при производстве изделий полупроводниковой электроники.
Термодиффузионные установки

СДОМТермическая диффузия - физико-химический процесс, изменяющий структуру поверхности обрабатываемого изделия в условиях термостабилизации и контролируемой атмосферы.

В настоящее время ООО «НПО «ГКМП» является единственным отечественным производителем термодиффузионных установок типа СДОМ, предназначенных для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 100 мм. Возможно изготовление установок для обработки пластин диаметром до 150 мм, в перспективе разрабатываются установки для термодиффузии пластин диаметром 200 мм и 300 мм.

В зависимости от требований заказчика, в термодиффузионных установках возможна реализация процессов окисления (в том числе и пирогенного) и диффузии с применением различных окислителей и диффузантов (азота, хлора, мышьяка, фосфора, бора и пр.)

Нагревательные элементы, применяемые в установках типа СД.ОМ имеют уникальную конструкцию и наматываются из проволоки специальных марок высокотемпературных сплавов (еврофехраль, kanthal, kanthal A1). Намотка производится в горячем состоянии по специально разработанному технологическому циклу, что значительно уменьшает остаточную деформацию полученного нагревателя и продлевает его срок службы.

Особенности установок типа СД.ОМ:

  • количество нагревательных камер: 2 или 3;
  • максимальная температура процесса: 1250°С;
  • длина рабочей тепловой зоны: 600 мм;
  • погрешность распределения температурного поля: ±1°С;
  • погрешность воспроизведения температуры: ±1°С;
  • материал нагревательных элементов: Kanthal или еврофехраль;
  • загрузка и выгрузка: ручная или с помощью встроенных загрузчиков;
  • современная автоматизированная система управления процессом;
  • независимая работа каждого реактора;
  • энергоэффективная система силового питания нагревателей;
  • точная система регулирования расхода окислителей и диффузантов.
Наименование параметра Значение
Количество камер в установке: 1, 2, 3 или 4
Форма рабочей камеры: цилиндрическая
Габариты рабочей зоны камеры:

- диаметр, мм:

- длина, мм:

100, 150 (200 и 300 в разработке)

600* (по требованию заказчика)

Диапазон рабочих температур в камере нагрева, оС: 100...1250
Способ нагрева: резистивный
Допустимая масса садки с деталями, кг: 1...15
Диапазон скоростей нагрева/охлаждения, оС/мин: 1…20
Проводимые процессы: диффузия, окисление (в т.ч. пирогенное)
Количество входов для рабочих газов: 2...8
Доступные операции с рабочими газами: смешение, увлажнение
Минимальное процентное содержание каждого газа при смешении: 5%
Диапазон автоматической регулировки расхода каждого газа, л/мин: 20...600
Возможность установки дополнительных барбатёров с жидким диффузантом: имеется
Возможность установки системы загрузки-выгрузки с возможностью встряхивания: имеется
Равномерность температуры в рабочем пространстве без загрузки электропечи при автоматическом контроле поддержания температуры в установившемся режиме, оС, не хуже: ±1±0,0005t
Стабильность поддержания рабочей температуры в рабочей зоне при управлении нагревом в автоматическом режиме, оС, не хуже: ±1±0,0005t

Термокомпрессионные установки

Термодиффузионные и термокомпрессионные установки

Термокомпрессионные установки

Термокомпрессионные установки

utds.pngТермокомпрессия - физический процесс, совмещающий в себе нагрев изделия или группы изделий, с приложением регулируемого усилия, порождающего определённый физический процесс.

Термокомпрессионная сварка - процесс сваривания деталей из разнородных материалов, проводимый с нагревом под давлением. Суть процесса заключается в следующем: при воздействии на обрабатываемую поверхность давления и температуры материал одной детали оседает и начинает течь по второй детали. В результате этого происходит нагрев места контакта, его очистка от оксидной пленки и других посторонних образований, максимально тесное сближение поверхностей и получение плотного сварного шва. К достоинствам описанного процесса можно отнести малую чувствительность к изменению рабочих параметров, стабильность всего процесса сварки и управляемость процессом путём контроля за давлением и температурой.

Термокомпрессионная технология применяется в порошковой металлургии для создания изделий из тугоплавких материалов, разнородных металлов и композитов. Варьируя параметрами процесса можно получить детали сложной формы с идентичным составом, но разными физико-химическими свойствами.

Процессы горячего кернения и дорнования используются на ответственных участках производства сложных изделий в том случае, когда другие технологии производства не позволяют получить изделие надлежащего качества.

Термокомпрессионные установки производства НПО «ГКМП» изготавливаются по предоставленной технологической карте заказчика или строго в соответствии с техническим заданием. Благодаря наличию собственного производства электротермического оборудования, а также большого опыта в создании герметичных камер, герметичных вводов, управляемых гидроцилиндров, пневмоцилиндров и компрессионных маслостанций, возможно изготовление термокомпрессионных установок с различными значениями рабочих давлений - от нескольких килограмм до десятков тонн, и температур – до 2200°С.

Термокомпрессионные установки производства НПО «ГКМП» полностью автоматизированы. Система управления чётко отрабатывает обратные связи по температуре сварного соединения и прилагаемому усилию. Состав атмосферы или степень вакуума внутри камеры непрерывно поддерживаются на заданном уровне. Система управления полностью отрабатывает все известные аварийные и нештатные ситуации, а в случае некритического сбоя поможет успешно и безаварийно завершить техпроцесс.

Наименование параметра Значение
Количество камер в установке: 1 или 2
Форма рабочей камеры: цилиндрическая или прямоугольная
Габариты рабочей зоны камеры:

- диаметр, мм:

- длина, мм:

100...400

120...600

Диапазон рабочих температур в камере нагрева, оС: 100...1850
Способ нагрева: резистивный
Допустимая масса садки с деталями, кг: 10...150
Диапазон скоростей нагрева/охлаждения, оС/мин: 1…20
Передаваемое усилие, кН: 0,1...630 и более
Количество входов для рабочих газов: 1...4
Доступные операции с рабочими газами: смешение, увлажнение
Минимальное процентное содержание каждого газа при смешении: 5%
Диапазон автоматической регулировки расхода каждого газа, л/мин: 20...600
Возможность обработки в среде форвакуума и высокого вакуума: имеется
Возможность последовательной термообработки в том же рабочем пространстве: имеется
Равномерность температуры в рабочем пространстве без загрузки электропечи при автоматическом контроле поддержания температуры в установившемся режиме, оС, не хуже: ±5±0,0005t
Стабильность поддержания рабочей температуры в рабочей зоне при управлении нагревом в автоматическом режиме, оС, не хуже: ±5±0,0003t

Высокотемпературные печи высокого давления

Термодиффузионные и термокомпрессионные установки

Высокотемпературные печи высокого давления

Документы

Декларации Раскрытие информации Патенты Свидетельства Сертификаты Уведомления Справочная информация Каталоги продукции
Декларация ТР ТС печи автоматизированные колпаковые
Декларация ТР ТС электропечь сопротивления ЭОН.702
Декларация ТР ТС на ПЭВ
Декларация ТР ТС на УТДС
Декларация ТР ТС на СДОМ
+7 (4832) 58-19-66