1. Skip to Menu
  2. Skip to Content
  3. Skip to Footer>

Электротермическое оборудование ГКМП

Система диффузионная однозонная многотрубная, СДОМ

Система диффузионная однозонная многотрубнаяНазначение: Система предназначена для автоматической групповой газотермической  прецизионной обработки пластин кремния диаметром 100 мм при производстве изделий полупроводниковой электроники.

Тип печи: Трехтрубная (двухтрубная) газонаполненная электропечь периодического действия с однозонным прецизионным регулированием температуры и горизонтально-расположенным загрузочным устройством.

Основные преимущества:

  • Устройство загрузочное
  • Электропечь диффузионная однозонная (двухтрубная/трехтрубная)
  • Устройство газораспределения
  • Устройство программного управления
Наименование параметра Значение
Диапазон рабочих температур в тепловой зоне реактора, °С
700-1300

Количество реакторов (труб), шт

2 (для СД.ОМ-2/100-2М)
3 (для СД.ОМ-3/100-2М)

Диаметр кварцевого реактора (трубы), мм, не более

150

Диаметр обрабатываемых пластин, мм, не более

100

Длина рабочей тепловой зоны, мм, не менее

600
Нестабильность поддержания температуры по опорной точке в пределах длины рабочей тепловой зоны при статическом режиме в реакторе (среднеквадратическое отклонение) в течение 24 часов, °С, не более 0,25
Максимальная потребляемая электрическая мощность, кВт, не более 100

Заказ продукции

Каталог Продукции ГКМП 2016 (ред. 2)

Каталог Электротермической продукции ГКМП 2016 (Скачать 25,8 Мб)

Электронный билет